เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ไนโตรเจน (กำจัด CH₄)
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์ไนโตรเจนที่มีถังเร่งปฏิกิริยาอุณหภูมิสูงต่ออนุกรมไว้หน้าถังดูดซับ ถังเร่งปฏิกิริยาทำงานที่อุณหภูมิสูง ไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน กำจัด CH₄ ที่การดูดซับอุณหภูมิปกติจัดการไม่ได้ ส่วนด้านหลังใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนาน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อัตราการไหล 10–20000 Nm³/h อายุใช้งานกว่า 20 ปี
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: N₂)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS9 ทางออก (ppb) |
|---|---|---|
| เทคโนโลยี | — | CAT+ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–20000 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
แนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS9 คือเวอร์ชันเสริมตัวเร่งปฏิกิริยาของ BSS8 ก๊าซจะผ่านถังเร่งปฏิกิริยาด้านหน้าก่อน ถังเร่งปฏิกิริยาหนึ่งถังหรือหลายถังทำงานที่อุณหภูมิสูง เปลี่ยนมีเทนและไฮโดรคาร์บอนเสถียรอื่น ๆ ให้เป็นผลิตภัณฑ์ที่ดูดซับง่าย ช่วงนี้ไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน ก๊าซที่ผ่านการเปลี่ยนรูปแล้วจึงเข้าสู่ถังดูดซับหลายถังที่ต่อขนานกันด้านหลัง ซึ่งสลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง เพื่อจ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง อายุใช้งานกว่า 20 ปี เท่ากับ BSS8ทำไมมีเทนจึงต้องมีช่วงเร่งปฏิกิริยา
มีเทนเป็นโมเลกุลสมมาตรไม่มีขั้วและค่อนข้างเฉื่อยทางเคมี สารดูดซับที่อุณหภูมิปกติจึงจับไม่อยู่ นี่คือข้อจำกัดทางกายภาพของการดูดซับล้วน (ADS) ไม่ใช่ข้อบกพร่องของการออกแบบ การกำจัดมีเทนมีเพียงสองทาง ทางหนึ่งคือเพิ่มอุณหภูมิให้มันทำปฏิกิริยาไปก่อน (เร่งปฏิกิริยา) อีกทางคือลดอุณหภูมิจนแรงดูดซับมากพอ BSS9 เดินทางแรก ข้อดีคือไม่ต้องมีระบบสาธารณูปโภคอย่างไนโตรเจนเหลว และต้นทุนเดินเครื่องต่ำกว่าทางเย็นจัดมาก ตรรกะเดียวกันนี้อธิบายด้วยว่าทำไม NMHC (ไฮโดรคาร์บอนที่ไม่ใช่มีเทน) จึงจัดการได้ด้วยการดูดซับล้วนขณะที่มีเทนทำไม่ได้ ยิ่งโมเลกุลใหญ่และมีขั้วมากเท่าไร การดูดซับที่อุณหภูมิปกติยิ่งได้ผลมากขึ้นองค์ประกอบของระบบ
・ส่วนทางเดินก๊าซ: ถังเร่งปฏิกิริยาด้านหน้าต่ออนุกรมกับถังดูดซับหลายถังที่ต่อขนานด้านหลัง พร้อมด้วยวาล์ว ท่อ และเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน ・ส่วนควบคุมไฟฟ้า: PLC ชิ้นส่วนให้ความร้อน ตัวควบคุมอุณหภูมิ เซ็นเซอร์ความดัน และหน้าจอสัมผัส รับผิดชอบการควบคุม การแจ้งเตือน อินเตอร์ล็อกอุณหภูมิสูง และการบันทึกข้อมูลจุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ถังเร่งปฏิกิริยาด้านหน้าไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน ภาระบำรุงรักษาจึงรวมอยู่ที่ถังดูดซับด้านหลัง ・CH₄ ทางออกถึง < 1 ppb เทียบเท่ากับสิ่งเจือปนอื่น ・ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ・มีแผ่นระเบิดและวาล์วนิรภัยระบายความดัน อินเตอร์ล็อกเชิงกลอุณหภูมิสูงและระบบแจ้งเตือน ・อายุใช้งานกว่า 20 ปีกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・ไนโตรเจนสำหรับกระบวนการที่ไวต่อการปนเปื้อนคาร์บอนในโรงงานเวเฟอร์ 12 นิ้ว ・อิพิแทกซีและกระบวนการเตาอุณหภูมิสูง: ไฮโดรคาร์บอนอาจสลายตัวที่อุณหภูมิสูงและทิ้งคราบคาร์บอนบนผิวเวเฟอร์ ・โรงงานที่แหล่งก๊าซมาจากการแยกอากาศหรือถังที่ซื้อจากภายนอกและมีพื้นฐานมีเทนสูง ・สายการผลิตที่มีข้อกำหนดชัดเจนเรื่องคาร์บอนรวม (TC/THC)การจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・ส่วนเร่งปฏิกิริยาต้องใช้อุณหภูมิทำงานค่อนข้างสูง: ตำแหน่งติดตั้งต้องมีพื้นที่ระบายความร้อนเพียงพอ และต้องยืนยันว่าอินเตอร์ล็อกอุณหภูมิสูงทำงานถูกต้อง ・ห้ามบายพาสส่วนเร่งปฏิกิริยาด้านหน้า: ต้องระวังตอนออกแบบบายพาส เพราะการอ้อมถังเร่งปฏิกิริยาเท่ากับถอยกลับไปเป็นความสามารถของ BSS8 ・เส้นทางแยกสำหรับก๊าซทิ้งจากการรีเจน: ก๊าซที่ปล่อยตอนรีเจนถังดูดซับด้านหลังต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・ยืนยันเงื่อนไขไฟฟ้าก่อน: ความต้องการความร้อนของส่วนเร่งปฏิกิริยารวมกับส่วนดูดซับสูงกว่ารุ่นดูดซับล้วน เมื่อเลือกรุ่นโปรดแจ้งกำลังไฟฟ้าที่หน้างานมีอยู่ ・แนะนำให้ติดตั้งการวิเคราะห์คาร์บอนรวมหรือมีเทนที่ทางออก: เครื่องวิเคราะห์ความชื้นและออกซิเจนมองไม่เห็นมีเทน การตรวจรับต้องใช้เครื่องมือให้ถูกชนิดการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังเร่งปฏิกิริยา: ตามการออกแบบไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน ประจำวันเพียงยืนยันว่าการควบคุมอุณหภูมิและความดันแตกต่างเป็นปกติ ・ถังดูดซับ: PLC จัดตารางรีเจนอัตโนมัติ วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปีในสภาพแหล่งก๊าซปกติ ・รายการแนะนำสำหรับการซ่อมบำรุงประจำปี: ทดสอบการทำงานของวาล์ว สอบเทียบตัวควบคุมอุณหภูมิและเซ็นเซอร์ ตรวจวาล์วนิรภัยและแผ่นระเบิดเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | CH₄ ทางออก | เพดานอัตราการไหล | ต้องใช้ไนโตรเจนเหลว |
|---|---|---|---|---|
| BSS9 (รุ่นนี้) | CAT+ADS | < 1 ppb | 20000 Nm³/h | ไม่ |
| BSS8 | ADS | ไม่จัดการ | 50000 Nm³/h | ไม่ |
| BSS7-C เย็นจัด (สำหรับ H₂) | ADS เย็นจัด | < 1 ppb | 1000 Nm³/h | ใช่ |
| BSH แบบให้ความร้อน | GET | < 1 ppb | 150 LPM | ไม่ |
