가스 정제기
질소 정제기 (CH₄ 제거)
제품 개요
흡착탑 앞에 고온 촉매탑을 직렬로 배치한 질소 정제기입니다. 촉매탑은 고온에서 작동하며 재생도 교체도 필요 없고, 상온 흡착으로는 처리할 수 없는 CH₄ 를 제거합니다. 후단에서는 다수의 흡착탑이 병렬로 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행합니다. 유량 10~20000 Nm³/h, 사용 수명 20 년 이상입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: N₂)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS9 출구 (ppb) |
|---|---|---|
| 방식 | — | CAT+ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–20000 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
공정 소개
BSS9 시리즈는 BSS8 의 촉매 강화 버전입니다. 가스는 먼저 앞단의 촉매탑을 통과합니다. 하나 또는 여러 개의 촉매탑이 고온에서 작동해 메탄과 다른 안정한 탄화수소를 흡착하기 쉬운 생성물로 전환하며, 이 구간은 재생도 교체도 필요 없습니다. 전환된 가스는 후단의 병렬 흡착탑으로 들어가 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 24 시간 무중단 공급을 실현합니다. 사용 수명은 BSS8 과 같은 20 년 이상입니다.메탄에 촉매 단계가 필요한 이유
메탄은 비극성 대칭 분자이고 화학적으로 상당히 불활성이라 상온 흡착제가 붙잡지 못합니다. 이는 순수 흡착(ADS)의 물리적 한계이지 설계 결함이 아닙니다. 메탄을 처리하는 길은 둘뿐입니다. 하나는 온도를 올려 먼저 반응시키는 것(촉매), 다른 하나는 온도를 내려 흡착력을 충분히 키우는 것입니다. BSS9 는 전자를 택했으며, 액체질소 같은 저온 유틸리티가 필요 없고 심냉 경로보다 운전 비용이 훨씬 낮은 것이 장점입니다. 같은 논리가 NMHC(비메탄 총탄화수소)는 순수 흡착으로 처리되는데 메탄은 안 되는 이유도 설명합니다. 분자가 클수록, 극성이 강할수록 상온 흡착이 더 효과적이기 때문입니다.시스템 구성
・가스 경로부: 앞단 촉매탑을 후단의 다수 병렬 흡착탑과 직렬로 연결하고 밸브, 배관, 열교환기를 더한 것 ・전기 제어부: PLC, 가열 소자, 온도 제어기, 압력 센서, 터치스크린 등으로 제어, 경보, 고온 인터록, 데이터 기록을 담당제품 특징
・앞단 촉매탑은 재생도 교체도 필요 없어 유지보수 부담이 후단 흡착탑에 집중됩니다 ・CH₄ 출구는 < 1 ppb 에 이르러 다른 불순물과 같은 수준입니다 ・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・파열판과 안전밸브 방압, 고온 기계 인터록과 경보 기능 ・사용 수명 20 년 이상적용 공정과 산업
・12 인치 웨이퍼 공장에서 탄소 오염에 민감한 공정용 질소 ・에피택시와 고온로 공정: 탄화수소가 고온에서 분해되어 웨이퍼 표면에 탄소 잔류를 남길 수 있는 공정 ・가스원이 공기 분리 또는 외부 구매 실린더이고 메탄 배경이 높은 사업장 ・총탄소(TC/THC)에 명확한 규격이 있는 라인현장 배치와 설치 요점
・촉매 단계는 비교적 높은 작동 온도가 필요: 설치 위치에 충분한 방열 공간을 두고 고온 인터록 동작을 확인하십시오 ・앞단 촉매를 우회하지 말 것: 바이패스를 설계할 때 유의하십시오. 촉매탑을 우회하면 BSS8 수준의 제거 능력으로 되돌아갑니다 ・재생 배기의 독립 경로: 후단 흡착탑 재생 시의 배기는 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・전력 조건을 먼저 확인: 촉매부와 흡착부를 합한 가열 수요는 순수 흡착식 기종보다 큽니다. 선정 시 현장에서 사용 가능한 전력을 알려 주십시오 ・출구 측에 총탄소 또는 메탄 분석 설치 권장: 수분·산소 분석기로는 메탄이 보이지 않으므로 검수에는 맞는 계측기가 필요합니다유지보수와 재생
・촉매탑: 설계상 재생도 교체도 필요 없으며, 일상적으로는 온도 제어와 차압이 정상인지만 확인하면 됩니다 ・흡착탑: PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며, 흡착 재료는 정상 가스원 조건에서 설계 수명 20 년 이상입니다 ・연차 정기 보수 권장 항목: 밸브 동작 시험, 온도 제어기와 센서 교정, 안전밸브와 파열판 점검인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | CH₄ 출구 | 유량 상한 | 액체질소 필요 |
|---|---|---|---|---|
| BSS9 (본 기종) | CAT+ADS | < 1 ppb | 20000 Nm³/h | 불필요 |
| BSS8 | ADS | 처리 안 함 | 50000 Nm³/h | 불필요 |
| BSS7-C 심냉형 (H₂ 용) | 심냉 ADS | < 1 ppb | 1000 Nm³/h | 필요 |
| BSH 가열형 | GET | < 1 ppb | 150 LPM | 불필요 |
