氣體純化器
稀有氣體純化器
產品概述
適用於 Ar、He、Kr、Ne、Xe 的大流量純化器，提供吸附式（BSS5-A）、吸氣式（BSS5-G）與吸附＋吸氣複合式（BSS5-H）三種工藝，出口雜質可控制在 1 ppb 以下。
產品特性
指標表（適用氣體：Ar、He、Kr、Ne、Xe）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS5-A 出口 (ppb) | BSS5-G 出口 (ppb) | BSS5-H 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
