氣體純化器
稀有氣體純化器
產品概述
適用於 Ar、He、Kr、Ne、Xe 的大流量純化器，提供吸附式（BSS5-A）、吸氣式（BSS5-G）與吸附＋吸氣複合式（BSS5-H）三種工藝，出口雜質可控制在 1 ppb 以下，流量涵蓋 10～1000 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：Ar、He、Kr、Ne、Xe）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS5-A 出口 (ppb) | BSS5-G 出口 (ppb) | BSS5-H 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
三種工藝的差異
BSS5-A（吸附式，ADS）
多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，使用壽命大於 20 年。流量最大，適合大宗惰性氣體供應。BSS5-G（吸氣式，GET）
單個或多個吸氣桶並聯，在高溫下純化、不可再生；飽和後吸氣桶直接現場更換，使用壽命大於 3 年。可深度去除 N₂ 與 CH₄。BSS5-H（複合式，ADS+GET）
吸附桶與吸氣桶串聯，前段兩個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作（壽命 20 年以上）；後段多個吸氣桶並聯、在高溫下純化不可再生，飽和後直接更換（壽命 5 年以上）。
選型重點
N₂ 是惰性氣體純化最難處理的雜質之一 —— 純吸附式（BSS5-A）無法有效去除，若氣源 N₂ 偏高或製程對 N₂ 敏感，必須選擇含吸氣段的 BSS5-G 或 BSS5-H。 從指標表也看得出來：BSS5-A 的 N₂ 與 CH₄ 欄位是「—」，不是數字不好看，而是這條工藝路線在物理上處理不了。氣源 N₂ 進口容許到 4 ppm，代表這正是稀有氣體供應鏈裡最常見的背景雜質。
適用製程與產業
・濺鍍（Sputtering）：氬是最主要的製程氣體，雜質直接影響靶材利用率與膜質 ・電漿蝕刻與離子佈植：氬、氙作為載氣或工作氣體 ・準分子雷射：氪、氖、氙的純度直接決定雷射輸出穩定度與壽命 ・氦氣檢漏與低溫應用：氦的雜質會影響檢漏靈敏度 ・稀有氣體回收再純化：回收氣的氮與甲烷背景高，是吸氣式的典型應用現場配置與安裝要點
・氣源成分要先分析：稀有氣體的雜質組成差異很大，尤其回收氣與新氣完全不同，直接影響工藝選型 ・惰性氣體窒息風險：設備間與管路區需有通風與含氧量監測，惰性氣體洩漏無色無味但會排開空氣 ・再生排氣路徑：高溫再生階段排氣須導至安全排放點 ・氦氣的滲漏特性：氦分子小，接頭與墊片的選用與鎖固要求比其他氣體更嚴，系統檢漏標準也要更高 ・吸氣桶更換空間：BSS5-G／BSS5-H 需預留吸氣桶的吊裝與搬運路徑 ・出口端配置氮分析能力：一般水氧分析儀看不到氮，而氮往往才是關鍵指標維護與再生
・BSS5-A：吸附桶自動再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・BSS5-G：吸氣桶不可再生，飽和後現場更換，壽命 3 年以上 ・BSS5-H：前段吸附桶自動再生（20 年以上），後段吸氣桶定期更換（5 年以上） ・更換下來的吸氣桶含反應後的化合物，須依廢棄物規範處理與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | 可否去除 N₂／CH₄ | 流量 | 耗材處理 |
|---|---|---|---|---|
| BSS5-A | ADS | 否 | 10–1000 Nm³/h | 自動再生 |
| BSS5-G | GET | 可 | 10–300 Nm³/h | 現場更換吸氣桶 |
| BSS5-H | ADS+GET | 可 | 10–300 Nm³/h | 再生＋定期更換 |
| BSS5-A-H／BSS5-G-H 高壓型 | ADS／GET | 依型號 | 10–100 Nm³/h | 依型號 |
