Purificadores de gas
Purificador de gases raros
Descripción del producto
Purificador de gran caudal para Ar, He, Kr, Ne y Xe, ofrecido en tres rutas de proceso —adsorción (BSS5-A), getter (BSS5-G) y combinada adsorción más getter (BSS5-H)—, manteniendo las impurezas de salida por debajo de 1 ppb en un rango de caudal de 10 a 1000 Nm³/h.
Características y especificaciones
Tabla de prestaciones (gases aplicables: Ar, He, Kr, Ne, Xe)
| Impureza | Entrada INLET (ppm) | Salida BSS5-A (ppb) | Salida BSS5-G (ppb) | Salida BSS5-H (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| Proceso | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| Partículas | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Rango de caudal | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
La tabla recoge únicamente la especificación y la configuración de los modelos estándar; consulte para otros requisitos especiales.
Descripción detallada
Las tres rutas de proceso
BSS5-A (adsorción, ADS)
Varios lechos de adsorción en paralelo alternan entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años. Es el de mayor caudal de los tres y encaja en el suministro de gas inerte a granel.BSS5-G (getter, GET)
Uno o varios recipientes getter en paralelo purifican a alta temperatura sin regeneración; una vez saturado, el recipiente se sustituye in situ, con una vida útil superior a 3 años. Eliminación profunda de N₂ y CH₄.BSS5-H (combinado, ADS+GET)
Lechos de adsorción en serie con recipientes getter: dos lechos de adsorción en paralelo al principio alternan entre purificación ambiente y regeneración a alta temperatura (vida superior a 20 años), mientras que varios recipientes getter en paralelo al final purifican a alta temperatura sin regeneración y se sustituyen al saturarse (vida superior a 5 años).
Punto clave de selección
El N₂ es una de las impurezas más difíciles en la purificación de gases inertes: la ruta de adsorción pura (BSS5-A) no lo elimina de forma eficaz, así que si el fondo de nitrógeno del origen es alto o el proceso es sensible al nitrógeno, hace falta una etapa getter (BSS5-G o BSS5-H). La tabla de prestaciones lo muestra con claridad: las celdas de N₂ y CH₄ del BSS5-A indican "—" no porque las cifras resulten poco favorables, sino porque esa ruta de proceso físicamente no puede tratarlas. El límite de entrada de 4 ppm para N₂ refleja que el nitrógeno es la impureza de fondo más común en la cadena de suministro de gases raros.
Procesos y sectores de aplicación
・Pulverización catódica: el argón es el gas de proceso principal, y las impurezas afectan directamente al aprovechamiento del blanco y a la calidad de la capa ・Grabado por plasma e implantación iónica: argón y xenón como gas portador o de trabajo ・Láseres excímeros: la pureza del kriptón, el neón y el xenón determina la estabilidad de salida y la vida del tubo ・Detección de fugas con helio y aplicaciones criogénicas: las impurezas del helio afectan a la sensibilidad de detección ・Recuperación y repurificación de gases raros: el gas recuperado tiene fondos altos de nitrógeno y metano, el caso clásico de la ruta getterNotas de instalación y disposición
・Analice primero la composición del origen: los perfiles de impurezas varían mucho entre gases raros, y el gas recuperado difiere por completo del gas fresco, lo que condiciona directamente la ruta de proceso ・Riesgo de asfixia por gas inerte: la sala de equipos y las zonas de tubería necesitan ventilación y monitorización de oxígeno, ya que una fuga de gas inerte es incolora e inodora pero desplaza el aire ・Conducción del venteo de regeneración: el gas de venteo de la etapa de regeneración a alta temperatura debe llevarse a un punto de vertido seguro ・Comportamiento de permeación del helio: la molécula de helio es pequeña, de modo que la selección y el apriete de racores y juntas son más exigentes que con otros gases y el criterio de estanqueidad debe ser más severo ・Espacio para sustituir el recipiente getter: BSS5-G y BSS5-H necesitan una ruta prevista de izado y transporte del recipiente ・Instale análisis de nitrógeno en la salida: los analizadores corrientes de humedad y oxígeno no ven el nitrógeno, y sin embargo el nitrógeno suele ser la cifra críticaMantenimiento y regeneración
・BSS5-A: los lechos de adsorción se regeneran automáticamente, con adsorbente diseñado para más de 20 años ・BSS5-G: el recipiente getter no se regenera y se sustituye in situ al saturarse, con una vida superior a 3 años ・BSS5-H: los lechos de adsorción delanteros se regeneran automáticamente (más de 20 años) mientras los recipientes getter traseros se sustituyen periódicamente (más de 5 años) ・Un recipiente getter usado contiene compuestos ya reaccionados y debe gestionarse conforme a la normativa de residuosCómo elegir entre modelos próximos
| Modelo | Proceso | Elimina N₂ / CH₄ | Caudal | Gestión del consumible |
|---|---|---|---|---|
| BSS5-A | ADS | No | 10–1000 Nm³/h | Regeneración automática |
| BSS5-G | GET | Sí | 10–300 Nm³/h | Recipiente getter sustituido in situ |
| BSS5-H | ADS+GET | Sí | 10–300 Nm³/h | Regeneración más sustitución periódica |
| BSS5-A-H / BSS5-G-H alta presión | ADS / GET | Según modelo | 10–100 Nm³/h | Según modelo |
