Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí hiếm
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế lưu lượng lớn cho Ar, He, Kr, Ne, Xe, cung cấp ba công nghệ: hấp phụ (BSS5-A), getter (BSS5-G) và kết hợp hấp phụ + getter (BSS5-H), kiểm soát tạp chất đầu ra dưới 1 ppb, lưu lượng bao phủ 10–1000 Nm³/h.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: Ar, He, Kr, Ne, Xe)
| Tạp chất | Đầu vào INLET (ppm) | BSS5-A đầu ra (ppb) | BSS5-G đầu ra (ppb) | BSS5-H đầu ra (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| Công nghệ | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| Hạt PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Dải lưu lượng | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Khác biệt giữa ba công nghệ
BSS5-A (hấp phụ, ADS)
Nhiều bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, tuổi thọ trên 20 năm. Lưu lượng lớn nhất trong ba loại, phù hợp cấp khí trơ lượng lớn.BSS5-G (getter, GET)
Một hoặc nhiều bình getter ghép song song, tinh chế ở nhiệt độ cao, không tái sinh được; sau khi bão hòa thay trực tiếp bình getter tại hiện trường, tuổi thọ trên 3 năm. Khử sâu được N₂ và CH₄.BSS5-H (kết hợp, ADS+GET)
Bình hấp phụ nối tiếp bình getter: phía trước hai bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao (tuổi thọ trên 20 năm); phía sau nhiều bình getter ghép song song, tinh chế ở nhiệt độ cao không tái sinh được, sau khi bão hòa thay trực tiếp (tuổi thọ trên 5 năm).
Điểm mấu chốt khi chọn model
N₂ là một trong những tạp chất khó xử lý nhất khi tinh chế khí trơ — loại hấp phụ thuần túy (BSS5-A) không khử hiệu quả được, nên nếu N₂ trong khí nguồn cao hoặc quy trình nhạy với N₂ thì bắt buộc phải chọn loại có đoạn getter là BSS5-G hoặc BSS5-H. Bảng chỉ tiêu cũng cho thấy điều đó: ô N₂ và CH₄ của BSS5-A ghi "—" không phải vì con số khó coi mà vì tuyến công nghệ này về mặt vật lý không xử lý được. Mức cho phép N₂ đầu vào tới 4 ppm cho thấy đây chính là tạp chất nền phổ biến nhất trong chuỗi cung ứng khí hiếm.
Quy trình và ngành áp dụng
・Phún xạ (Sputtering): argon là khí công nghệ chính, tạp chất ảnh hưởng trực tiếp hiệu suất sử dụng bia và chất lượng màng ・Ăn mòn plasma và cấy ion: argon, xenon làm khí mang hoặc khí làm việc ・Laser excimer: độ tinh khiết của krypton, neon, xenon quyết định trực tiếp độ ổn định đầu ra và tuổi thọ laser ・Dò rò bằng heli và ứng dụng nhiệt độ thấp: tạp chất trong heli ảnh hưởng độ nhạy dò rò ・Thu hồi và tái tinh chế khí hiếm: khí thu hồi có nền nitơ và metan cao, là ứng dụng điển hình của loại getterBố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Phân tích thành phần khí nguồn trước: thành phần tạp chất của khí hiếm rất khác nhau, đặc biệt khí thu hồi và khí mới hoàn toàn khác, ảnh hưởng trực tiếp tới việc chọn công nghệ ・Rủi ro ngạt do khí trơ: phòng thiết bị và khu đường ống cần thông gió và giám sát nồng độ oxy, khí trơ rò rỉ không màu không mùi nhưng đẩy không khí đi ・Đường thoát khí tái sinh: khí xả ở giai đoạn tái sinh nhiệt độ cao phải dẫn tới điểm xả an toàn ・Đặc tính thẩm thấu của heli: phân tử heli nhỏ, yêu cầu chọn và siết đầu nối cùng gioăng ngặt hơn các khí khác, tiêu chuẩn dò rò của hệ cũng phải cao hơn ・Không gian thay bình getter: BSS5-G / BSS5-H cần chừa sẵn tuyến cẩu và vận chuyển bình getter ・Bố trí năng lực phân tích nitơ ở đầu ra: máy phân tích ẩm và oxy thông thường không nhìn thấy nitơ, mà nitơ lại thường là chỉ tiêu then chốtBảo trì và tái sinh
・BSS5-A: bình hấp phụ tự tái sinh, vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm ・BSS5-G: bình getter không tái sinh được, sau khi bão hòa thay tại hiện trường, tuổi thọ trên 3 năm ・BSS5-H: bình hấp phụ phía trước tự tái sinh (trên 20 năm), bình getter phía sau thay định kỳ (trên 5 năm) ・Bình getter đã tháo chứa hợp chất sau phản ứng, phải xử lý theo quy định chất thảiSo sánh với các model lân cận
| Model | Công nghệ | Khử N₂ / CH₄ | Lưu lượng | Xử lý vật tư tiêu hao |
|---|---|---|---|---|
| BSS5-A | ADS | Không | 10–1000 Nm³/h | Tự tái sinh |
| BSS5-G | GET | Có | 10–300 Nm³/h | Thay bình getter tại hiện trường |
| BSS5-H | ADS+GET | Có | 10–300 Nm³/h | Tái sinh cộng thay định kỳ |
| BSS5-A-H / BSS5-G-H loại cao áp | ADS / GET | Tùy model | 10–100 Nm³/h | Tùy model |
