가스 정제기
희유가스 정제기
제품 개요
Ar, He, Kr, Ne, Xe에 적용하는 대유량 정제기로, 흡착식(BSS5-A), 게터식(BSS5-G), 흡착과 게터를 결합한 복합식(BSS5-H) 세 가지 공법을 제공하며 출구 불순물을 1 ppb 이하로 제어할 수 있습니다.
제품 특성
Index Table (Applicable gas: Ar, He, Kr, Ne, Xe)
| Impurity | Inlet (ppm) | BSS5-A Outlet (ppb) | BSS5-G Outlet (ppb) | BSS5-H Outlet (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| Process | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| Particles | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Flow range | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
Only the specifications and configurations of standard models are listed. Please contact us for special requirements.
