가스 정제기
희유가스 정제기
제품 개요
Ar, He, Kr, Ne, Xe 에 적용하는 대유량 정제기로 흡착식(BSS5-A), 게터식(BSS5-G), 흡착＋게터 복합식(BSS5-H) 세 가지 방식을 제공하며 출구 불순물을 1 ppb 이하로 제어합니다. 유량은 10~1000 Nm³/h 를 아우릅니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: Ar, He, Kr, Ne, Xe)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS5-A 출구 (ppb) | BSS5-G 출구 (ppb) | BSS5-H 출구 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 방식 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
세 가지 방식의 차이
BSS5-A (흡착식, ADS)
다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다. 세 방식 중 유량이 가장 크며 대용량 불활성 가스 공급에 적합합니다.BSS5-G (게터식, GET)
하나 또는 여러 개의 게터탑을 병렬로 배치해 고온에서 정제하며 재생은 불가능합니다. 포화 후 게터탑을 현장에서 직접 교체하며 사용 수명은 3 년 이상입니다. N₂ 와 CH₄ 를 깊이 제거할 수 있습니다.BSS5-H (복합식, ADS+GET)
흡착탑과 게터탑을 직렬로 연결합니다. 앞단은 두 개의 흡착탑을 병렬로 두어 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하고(수명 20 년 이상), 후단은 다수의 게터탑을 병렬로 두어 고온에서 정제하되 재생은 불가능하며 포화 후 직접 교체합니다(수명 5 년 이상).
선정의 요점
N₂ 는 불활성 가스 정제에서 가장 다루기 어려운 불순물 중 하나입니다. 순수 흡착식(BSS5-A)으로는 효과적으로 제거할 수 없으므로, 가스원의 N₂ 가 높거나 공정이 N₂ 에 민감하다면 게터 단계를 포함한 BSS5-G 또는 BSS5-H 를 선택해야 합니다. 지표표에서도 그 점이 드러납니다. BSS5-A 의 N₂ 와 CH₄ 칸이 「—」인 것은 숫자가 보기 나빠서가 아니라 이 방식이 물리적으로 처리할 수 없기 때문입니다. 입구 N₂ 를 4 ppm 까지 허용한다는 것은, 이것이 희유가스 공급망에서 가장 흔한 배경 불순물이라는 뜻입니다.
적용 공정과 산업
・스퍼터링(Sputtering): 아르곤이 주요 공정 가스이며 불순물이 타깃 이용률과 막질에 직접 영향을 줍니다 ・플라스마 식각과 이온 주입: 아르곤과 제논을 캐리어 가스 또는 작동 가스로 사용 ・엑시머 레이저: 크립톤, 네온, 제논의 순도가 레이저 출력 안정성과 수명을 직접 좌우합니다 ・헬륨 누설 검사와 저온 응용: 헬륨의 불순물이 누설 검지 감도에 영향을 줍니다 ・희유가스 회수 재정제: 회수 가스의 질소와 메탄 배경이 높아 게터식의 전형적인 적용 사례입니다현장 배치와 설치 요점
・가스원 조성을 먼저 분석: 희유가스의 불순물 조성은 편차가 크고 특히 회수 가스와 신규 가스는 완전히 다르므로 방식 선정에 직결됩니다 ・불활성 가스에 의한 질식 위험: 설비실과 배관 구역에는 환기와 산소 농도 감시가 필요합니다. 불활성 가스 누출은 무색무취이지만 공기를 밀어냅니다 ・재생 배기 경로: 고온 재생 단계의 배기는 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・헬륨의 투과 특성: 헬륨은 분자가 작아 피팅과 개스킷의 선정 및 체결 요구가 다른 가스보다 엄격하고 계통의 누설 시험 기준도 더 높아야 합니다 ・게터탑 교체 공간: BSS5-G / BSS5-H 는 게터탑의 인양과 반입 동선을 미리 확보해야 합니다 ・출구 측에 질소 분석 능력 배치: 일반적인 수분·산소 분석기로는 질소가 보이지 않지만, 정작 질소가 핵심 지표인 경우가 많습니다유지보수와 재생
・BSS5-A: 흡착탑 자동 재생, 흡착 재료 설계 수명 20 년 이상 ・BSS5-G: 게터탑은 재생 불가이며 포화 후 현장 교체, 수명 3 년 이상 ・BSS5-H: 앞단 흡착탑은 자동 재생(20 년 이상), 후단 게터탑은 정기 교체(5 년 이상) ・떼어 낸 게터탑에는 반응 후 화합물이 들어 있어 폐기물 규정에 따라 처리해야 합니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | N₂ / CH₄ 제거 | 유량 | 소모품 처리 |
|---|---|---|---|---|
| BSS5-A | ADS | 불가 | 10–1000 Nm³/h | 자동 재생 |
| BSS5-G | GET | 가능 | 10–300 Nm³/h | 현장에서 게터탑 교체 |
| BSS5-H | ADS+GET | 가능 | 10–300 Nm³/h | 재생＋정기 교체 |
| BSS5-A-H / BSS5-G-H 고압형 | ADS / GET | 모델에 따라 | 10–100 Nm³/h | 모델에 따라 |
