เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ก๊าซหายาก
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์อัตราไหลสูงสำหรับ Ar He Kr Ne และ Xe มีให้เลือกสามกระบวนการ ได้แก่ แบบดูดซับ (BSS5-A) แบบเกตเตอร์ (BSS5-G) และแบบผสมดูดซับร่วมกับเกตเตอร์ (BSS5-H) ควบคุมสิ่งเจือปนที่ทางออกให้ต่ำกว่า 1 ppb
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางค่าชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้：Ar、He、Kr、Ne、Xe)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS5-A ทางออก (ppb) | BSS5-G ทางออก (ppb) | BSS5-H ทางออก (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| กระบวนการ | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
ตารางนี้แสดงค่าชี้วัดและการจัดวางของรุ่นมาตรฐาน ความต้องการพิเศษอื่น ๆ สอบถามเพิ่มเติมได้
