เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ก๊าซหายาก
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์อัตราไหลสูงสำหรับ Ar, He, Kr, Ne, Xe มีให้เลือกสามเทคโนโลยี ได้แก่ แบบดูดซับ (BSS5-A) แบบ getter (BSS5-G) และแบบผสมดูดซับกับ getter (BSS5-H) ควบคุมสิ่งเจือปนทางออกได้ต่ำกว่า 1 ppb ครอบคลุมอัตราการไหล 10–1000 Nm³/h
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: Ar, He, Kr, Ne, Xe)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS5-A ทางออก (ppb) | BSS5-G ทางออก (ppb) | BSS5-H ทางออก (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| เทคโนโลยี | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1.5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 4 | — | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
ความแตกต่างของสามเทคโนโลยี
BSS5-A (แบบดูดซับ, ADS)
ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อายุใช้งานกว่า 20 ปี อัตราการไหลสูงที่สุดในสามแบบ เหมาะกับการจ่ายก๊าซเฉื่อยปริมาณมากBSS5-G (แบบ getter, GET)
ถัง getter หนึ่งถังหรือหลายถังต่อขนานกัน ทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิสูง รีเจนไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนถัง getter ที่หน้างานได้เลย อายุใช้งานกว่า 3 ปี กำจัด N₂ และ CH₄ ได้ลึกBSS5-H (แบบผสม, ADS+GET)
ถังดูดซับต่ออนุกรมกับถัง getter ด้านหน้าใช้ถังดูดซับสองถังต่อขนาน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง (อายุกว่า 20 ปี) ด้านหลังใช้ถัง getter หลายถังต่อขนาน ทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิสูงและรีเจนไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนได้เลย (อายุกว่า 5 ปี)
จุดสำคัญในการเลือกรุ่น
N₂ เป็นหนึ่งในสิ่งเจือปนที่จัดการยากที่สุดในการทำบริสุทธิ์ก๊าซเฉื่อย แบบดูดซับล้วน (BSS5-A) กำจัดได้ไม่มีประสิทธิภาพ ดังนั้นหากพื้นฐาน N₂ ในแหล่งก๊าซสูงหรือกระบวนการไวต่อ N₂ จำเป็นต้องเลือกแบบที่มีช่วง getter คือ BSS5-G หรือ BSS5-H จากตารางชี้วัดก็เห็นได้ชัด ช่อง N₂ และ CH₄ ของ BSS5-A เป็น "—" ไม่ใช่เพราะตัวเลขไม่น่าดู แต่เพราะเส้นทางเทคโนโลยีนี้จัดการไม่ได้ในเชิงกายภาพ การที่ยอมให้ N₂ ทางเข้าสูงถึง 4 ppm สะท้อนว่านี่คือสิ่งเจือปนพื้นฐานที่พบบ่อยที่สุดในห่วงโซ่อุปทานก๊าซหายาก
กระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・สปัตเตอริง (Sputtering): อาร์กอนเป็นก๊าซกระบวนการหลัก สิ่งเจือปนกระทบอัตราการใช้เป้าและคุณภาพฟิล์มโดยตรง ・การกัดด้วยพลาสมาและการฝังไอออน: อาร์กอนและซีนอนเป็นก๊าซพาหรือก๊าซทำงาน ・เลเซอร์เอกไซเมอร์: ความบริสุทธิ์ของคริปทอน นีออน และซีนอน กำหนดความเสถียรของกำลังออกและอายุหลอดโดยตรง ・การตรวจรั่วด้วยฮีเลียมและงานอุณหภูมิต่ำ: สิ่งเจือปนในฮีเลียมกระทบความไวในการตรวจรั่ว ・การนำก๊าซหายากกลับมาทำบริสุทธิ์ใหม่: ก๊าซที่นำกลับมามีพื้นฐานไนโตรเจนและมีเทนสูง เป็นการใช้งานแบบฉบับของเทคโนโลยี getterการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・วิเคราะห์องค์ประกอบแหล่งก๊าซก่อน: องค์ประกอบสิ่งเจือปนของก๊าซหายากต่างกันมาก โดยเฉพาะก๊าซที่นำกลับมากับก๊าซใหม่ต่างกันโดยสิ้นเชิง และส่งผลโดยตรงต่อการเลือกเทคโนโลยี ・ความเสี่ยงขาดอากาศหายใจจากก๊าซเฉื่อย: ห้องอุปกรณ์และพื้นที่เดินท่อต้องมีการระบายอากาศและการเฝ้าระวังปริมาณออกซิเจน ก๊าซเฉื่อยรั่วไม่มีสีไม่มีกลิ่นแต่ไล่อากาศออกไป ・เส้นทางก๊าซทิ้งจากการรีเจน: ก๊าซที่ปล่อยในช่วงรีเจนอุณหภูมิสูงต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・คุณสมบัติการซึมผ่านของฮีเลียม: โมเลกุลฮีเลียมเล็ก การเลือกและการขันข้อต่อกับปะเก็นจึงเข้มงวดกว่าก๊าซอื่น และเกณฑ์การตรวจรั่วของระบบก็ต้องสูงกว่า ・พื้นที่เปลี่ยนถัง getter: BSS5-G / BSS5-H ต้องเว้นเส้นทางยกและขนย้ายถัง getter ไว้ล่วงหน้า ・ติดตั้งความสามารถวิเคราะห์ไนโตรเจนที่ทางออก: เครื่องวิเคราะห์ความชื้นและออกซิเจนทั่วไปมองไม่เห็นไนโตรเจน ทั้งที่ไนโตรเจนมักเป็นตัวชี้วัดสำคัญการบำรุงรักษาและการรีเจน
・BSS5-A: ถังดูดซับรีเจนอัตโนมัติ วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・BSS5-G: ถัง getter รีเจนไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนที่หน้างาน อายุกว่า 3 ปี ・BSS5-H: ถังดูดซับด้านหน้ารีเจนอัตโนมัติ (กว่า 20 ปี) ส่วนถัง getter ด้านหลังเปลี่ยนตามรอบ (กว่า 5 ปี) ・ถัง getter ที่ถอดออกมามีสารประกอบหลังทำปฏิกิริยา ต้องจัดการตามระเบียบของเสียเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | กำจัด N₂ / CH₄ | อัตราการไหล | การจัดการวัสดุสิ้นเปลือง |
|---|---|---|---|---|
| BSS5-A | ADS | ไม่ได้ | 10–1000 Nm³/h | รีเจนอัตโนมัติ |
| BSS5-G | GET | ได้ | 10–300 Nm³/h | เปลี่ยนถัง getter ที่หน้างาน |
| BSS5-H | ADS+GET | ได้ | 10–300 Nm³/h | รีเจนบวกการเปลี่ยนตามรอบ |
| BSS5-A-H / BSS5-G-H รุ่นแรงดันสูง | ADS / GET | ขึ้นกับรุ่น | 10–100 Nm³/h | ขึ้นกับรุ่น |
