氣體純化器
二氧化碳純化器
產品概述
大流量二氧化碳純化器。BSS32 為多個吸附桶並聯的吸附式；BSS33 在前段串聯高溫催化桶，可額外去除 CH₄。總揮發性酸與難熔化合物可控制在 0.005 ppb 以下，流量 10～700 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：CO₂）
| 雜質 | BSS32 出口 (ppb) | BSS33 出口 (ppb) |
|---|---|---|
| 工藝 | ADS | CAT+ADS |
| H₂O | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | < 1 |
| CH₄ | — | < 1 |
| 總揮發性酸 (as SO₂) | < 0.005 | < 0.005 |
| 總揮發性鹼 (as NH₃) | < 0.5 | < 0.5 |
| 可凝結有機物 (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 | < 0.15 |
| 不可凝結有機物 (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 | < 1 |
| 難熔化合物 (as HMDSO) | < 0.005 | < 0.005 |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–700 Nm³/h | 10–700 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
