氣體純化器
二氧化碳純化器
產品概述
大流量二氧化碳純化器，多個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作。總揮發性酸與難熔化合物可控制在 0.005 ppb 以下，流量 10～700 Nm³/h。氣源含 CH₄ 需一併去除時請選 BSS33。
產品特性
指標表（適用氣體：CO₂）
| 雜質 | BSS32 出口 (ppb) |
|---|---|
| 工藝 | ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | —（需去除 CH₄ 請選 BSS33） |
| 總揮發性酸 (as SO₂) | < 0.005 |
| 總揮發性鹼 (as NH₃) | < 0.5 |
| 可凝結有機物 (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 |
| 不可凝結有機物 (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 |
| 難熔化合物 (as HMDSO) | < 0.005 |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–700 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
工藝介紹
BSS32 系列二氧化碳純化器透過多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，使用壽命大於 20 年。 若氣源含 CH₄ 且製程無法接受，請改用在前段串聯高溫催化桶的 BSS33。
應用場合
高純二氧化碳用於晶圓清洗、超臨界乾燥與部分沉積製程。氣源中的揮發性酸鹼與難熔化合物即使只有 ppb 等級，也可能在晶圓表面留下殘留或造成腐蝕，因此製程端普遍要求 ppb 甚至更低的出口指標。 從指標表可以看出重點在哪：總揮發性酸與難熔化合物的門檻壓到 0.005 ppb，比水氣（< 1 ppb）嚴兩個數量級。這是因為 CO₂ 本身溶解力強，酸性雜質與矽氧烷類化合物會被它帶到晶圓表面。產品特點
・全自動運行，24 小時不間斷供氣 ・採用定製吸附材料，對酸鹼與難熔化合物有專門的去除設計 ・配置爆破片及安全閥卸壓、高溫機械連鎖與報警功能 ・出口微粒 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) ・使用壽命 20 年以上適用製程與產業
・晶圓清洗與乾燥：CO₂ 雪清洗（Cryogenic Aerosol）與後續乾燥 ・超臨界乾燥的氣源前處理（超臨界段另有專用機型 BSS32-SC） ・部分 CVD／ALD 製程的反應或稀釋氣體 ・電子級 CO₂ 的分裝與充填 ・雷射與分析儀器的工作氣體現場配置與安裝要點
・相態管理是關鍵：CO₂ 在常見的供應壓力下容易發生相變，管路設計要避免局部節流造成乾冰堵塞 ・氣化能力要足夠：液態供應時上游氣化器容量不足會造成流量與壓力波動 ・低溫段防護：節流降溫處會結霜，管路標示與人員防護要一併考慮 ・窒息風險：CO₂ 比空氣重，會積聚在低窪處，設備間需通風與含氧量監測 ・再生排氣路徑：高溫再生階段的排氣須導至安全排放點 ・避免含矽密封材：難熔化合物指標壓到 0.005 ppb，密封件選錯會直接破功維護與再生
・吸附桶由 PLC 自動排程再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・酸鹼與難熔化合物的驗收需要對應的分析方法，不是一般水氧分析能覆蓋 ・日常維護重點：閥件動作、溫控與感測器校驗、上游氣化器狀態 ・年度歲修建議納入安全閥與爆破片檢查與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | 可否去除 CH₄ | 特化指標 | 流量 |
|---|---|---|---|---|
| BSS32（本機種） | ADS | 否 | 酸鹼、難熔化合物 | 10–700 Nm³/h |
| BSS33 | CAT+ADS | 可 | 同上，另加 CH₄ | 10–700 Nm³/h |
| BSS32-SC 超臨界型 | ADS | 否 | NVHC、NO／NO₂／SO₂ | 10–700 Nm³/h |
| BSP 常溫 POU（配方 84） | 常溫吸附 | 否 | H₂O、O₂、酸鹼 | 5–4000 SLPM |
