가스 정제기
이산화탄소 정제기
제품 개요
대유량 이산화탄소 정제기로, 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행합니다. 총 휘발성 산과 난용성 화합물을 0.005 ppb 이하로 제어하며 유량은 10~700 Nm³/h 입니다. 가스원에 CH₄ 가 있어 함께 제거해야 한다면 BSS33 을 선택하십시오.
제품 특성
지표표 (적용 가스: CO₂)
| 불순물 | BSS32 출구 (ppb) |
|---|---|
| 방식 | ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | — (CH₄ 제거가 필요하면 BSS33 을 선택하십시오) |
| 총 휘발성 산 (as SO₂) | < 0.005 |
| 총 휘발성 염기 (as NH₃) | < 0.5 |
| 응축성 유기물 (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 |
| 비응축성 유기물 (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 |
| 난용성 화합물 (as HMDSO) | < 0.005 |
| 미립자 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | 10–700 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
공정 소개
BSS32 시리즈는 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다. 가스원에 CH₄ 가 있고 공정이 이를 허용하지 못한다면, 앞단에 고온 촉매탑을 직렬로 배치한 BSS33 을 사용하십시오.
적용 상황
고순도 이산화탄소는 웨이퍼 세정, 초임계 건조, 일부 증착 공정에 쓰입니다. 가스원의 휘발성 산염기와 난용성 화합물은 ppb 수준에 불과해도 웨이퍼 표면에 잔류를 남기거나 부식을 일으킬 수 있으므로, 공정 측에서는 대체로 ppb 이하의 출구 지표를 요구합니다. 지표표에서도 어디에 중점이 있는지 읽힙니다. 총 휘발성 산과 난용성 화합물의 문턱값은 0.005 ppb 까지 낮춰져 수분(< 1 ppb)보다 두 자릿수 엄격합니다. CO₂ 자체의 용해력이 강해 산성 불순물과 실록산 계열 화합물을 웨이퍼 표면까지 실어 나르기 때문입니다.제품 특징
・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・맞춤 제작 흡착 재료를 사용하며 산염기와 난용성 화합물에 대한 전용 제거 설계 ・파열판과 안전밸브로 방압하고 고온 기계 인터록과 경보 기능을 갖춤 ・출구 미립자 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) ・사용 수명 20 년 이상적용 공정과 산업
・웨이퍼 세정과 건조: CO₂ 스노우 세정(극저온 에어로졸)과 후속 건조 ・초임계 건조의 가스원 전처리(초임계 단계에는 전용 기종 BSS32-SC 가 있음) ・일부 CVD/ALD 공정의 반응 가스 또는 희석 가스 ・전자급 CO₂ 의 분장과 충전 ・레이저와 분석 기기의 작동 가스현장 배치와 설치 요점
・상 관리가 핵심: CO₂ 는 일반적인 공급 압력에서 상변화가 쉬우므로 배관 설계에서 국부 교축으로 드라이아이스가 막히는 일을 피해야 합니다 ・기화 능력이 충분할 것: 액체 공급 시 상류 기화기 용량이 부족하면 유량과 압력이 흔들립니다 ・저온부 보호: 교축으로 온도가 내려가는 지점에는 착상이 생기므로 배관 표시와 인력 보호를 함께 고려해야 합니다 ・질식 위험: CO₂ 는 공기보다 무거워 낮은 곳에 고이므로 설비실에는 환기와 산소 농도 감시가 필요합니다 ・재생 배기 경로: 고온 재생 단계의 배기는 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・규소가 든 밀봉재 회피: 난용성 화합물 지표를 0.005 ppb 까지 눌러 둔 만큼, 밀봉재를 잘못 고르면 설계가 통째로 무너집니다유지보수와 재생
・흡착탑은 PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・산염기와 난용성 화합물의 검수에는 대응하는 분석 기법이 필요하며 일반적인 수분·산소 분석으로는 커버되지 않습니다 ・일상 유지보수의 핵심: 밸브 동작, 온도 제어와 센서 교정, 상류 기화기 상태 ・연차 정기 보수에는 안전밸브와 파열판 점검을 포함할 것을 권장합니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | CH₄ 제거 | 특화 지표 | 유량 |
|---|---|---|---|---|
| BSS32 (본 기종) | ADS | 불가 | 산염기, 난용성 화합물 | 10–700 Nm³/h |
| BSS33 | CAT+ADS | 가능 | 위와 동일하며 CH₄ 추가 | 10–700 Nm³/h |
| BSS32-SC 초임계형 | ADS | 불가 | NVHC, NO / NO₂ / SO₂ | 10–700 Nm³/h |
| BSP 상온 POU (배합 84) | 상온 흡착 | 불가 | H₂O, O₂, 산염기 | 5–4000 SLPM |
