เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์ - เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์ | Baisheng Tech
รหัสสินค้าBSS32เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์เครื่องทำบริสุทธิ์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์

เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์

รายละเอียดสินค้า

เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์อัตราไหลสูง รุ่น BSS32 เป็นแบบดูดซับที่ใช้ถังหลายถังต่อขนานกัน ส่วนรุ่น BSS33 เพิ่มถังเร่งปฏิกิริยาอุณหภูมิสูงต่ออนุกรมไว้ด้านหน้าเพื่อกำจัด CH₄ เพิ่มเติม ควบคุมกรดระเหยรวมและสารประกอบทนไฟให้ต่ำกว่า 0.005 ppb อัตราการไหล 10–700 Nm³/h

คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ

ตารางค่าชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้:CO₂)

สิ่งเจือปนBSS32 ทางออก (ppb)BSS33 ทางออก (ppb)
กระบวนการADSCAT+ADS
H₂O< 1< 1
O₂< 1< 1
CO< 1< 1
H₂< 1< 1
CH₄< 1
กรดระเหยรวม (as SO₂)< 0.005< 0.005
ด่างระเหยรวม (as NH₃)< 0.5< 0.5
สารอินทรีย์ที่ควบแน่นได้ (HCS>100 amu, as Decane)< 0.15< 0.15
สารอินทรีย์ที่ควบแน่นไม่ได้ (HCS>58 amu, as Toluene)< 1< 1
สารประกอบทนไฟ (as HMDSO)< 0.005< 0.005
อนุภาค PARTICLES≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)
ช่วงอัตราการไหล10–700 Nm³/h10–700 Nm³/h
ตารางนี้แสดงค่าชี้วัดและการจัดวางของรุ่นมาตรฐาน ความต้องการพิเศษอื่น ๆ สอบถามเพิ่มเติมได้
ขอใบเสนอราคา

Email:sales@baisheng-tech.com

โทรศัพท์+886-2-25981958

คำอธิบายโดยละเอียด

Process Description

The BSS32 series runs multiple adsorption beds in parallel, alternating between ambient-temperature purification and high-temperature regeneration, with a service life over 20 years. The BSS33 series adds a catalytic bed in series ahead of the adsorption beds. The catalytic bed operates at high temperature and needs no regeneration; the downstream adsorption beds run in parallel with the same alternating cycle. The difference is that BSS33 additionally removes CH₄.

Applications

High-purity carbon dioxide is used in wafer cleaning, supercritical drying and certain deposition processes. Volatile acids, bases and refractory compounds in the source gas can leave residues or cause corrosion on the wafer surface even at ppb levels, so process requirements commonly call for ppb or lower outlet specifications.

Product Features

・Fully automatic operation with 24-hour uninterrupted supply ・Custom adsorbent materials with dedicated removal design for acids, bases and refractory compounds ・Bursting discs and relief valves for pressure release, high-temperature mechanical interlock and alarms