เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์อัตราไหลสูง ใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง ควบคุมกรดระเหยรวมและสารประกอบทนไฟได้ต่ำกว่า 0.005 ppb อัตราการไหล 10–700 Nm³/h หากแหล่งก๊าซมี CH₄ ที่ต้องกำจัดด้วย โปรดเลือก BSS33
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: CO₂)
| สิ่งเจือปน | BSS32 ทางออก (ppb) |
|---|---|
| เทคโนโลยี | ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | — (หากต้องกำจัด CH₄ โปรดเลือก BSS33) |
| กรดระเหยรวม (as SO₂) | < 0.005 |
| ด่างระเหยรวม (as NH₃) | < 0.5 |
| สารอินทรีย์ควบแน่นได้ (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 |
| สารอินทรีย์ควบแน่นไม่ได้ (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 |
| สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) | < 0.005 |
| อนุภาค PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | 10–700 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
แนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS32 ใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อายุใช้งานกว่า 20 ปี หากแหล่งก๊าซมี CH₄ และกระบวนการรับไม่ได้ ให้ใช้ BSS33 ซึ่งมีถังเร่งปฏิกิริยาอุณหภูมิสูงต่ออนุกรมไว้ด้านหน้า
สถานการณ์ที่เหมาะสม
คาร์บอนไดออกไซด์ความบริสุทธิ์สูงใช้ในการล้างเวเฟอร์ การทำแห้งเหนือวิกฤต และกระบวนการเคลือบบางประเภท กรดด่างระเหยและสารประกอบทนไฟในแหล่งก๊าซแม้อยู่เพียงระดับ ppb ก็อาจทิ้งคราบบนผิวเวเฟอร์หรือทำให้เกิดการกัดกร่อน ฝ่ายกระบวนการจึงมักกำหนดตัวเลขทางออกที่ระดับ ppb หรือต่ำกว่า จากตารางชี้วัดเห็นได้ว่าจุดเน้นอยู่ตรงไหน เกณฑ์ของกรดระเหยรวมและสารประกอบทนไฟถูกกดลงถึง 0.005 ppb ซึ่งเข้มกว่าความชื้น (< 1 ppb) ถึงสองลำดับขนาด เพราะ CO₂ เองมีกำลังละลายสูง จะพาสิ่งเจือปนที่เป็นกรดและสารประกอบกลุ่มไซล็อกเซนไปถึงผิวเวเฟอร์จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ・ใช้วัสดุดูดซับที่สั่งทำเฉพาะ มีการออกแบบการกำจัดเฉพาะสำหรับกรดด่างและสารประกอบทนไฟ ・มีแผ่นระเบิดและวาล์วนิรภัยระบายความดัน อินเตอร์ล็อกเชิงกลอุณหภูมิสูงและระบบแจ้งเตือน ・อนุภาคทางออก ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) ・อายุใช้งานกว่า 20 ปีกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・การล้างและการทำแห้งเวเฟอร์: การล้างด้วยหิมะ CO₂ (ละอองลอยเย็นจัด) และการทำแห้งต่อเนื่อง ・การเตรียมแหล่งก๊าซสำหรับการทำแห้งเหนือวิกฤต (ช่วงเหนือวิกฤตมีรุ่นเฉพาะคือ BSS32-SC) ・ก๊าซทำปฏิกิริยาหรือก๊าซเจือจางในกระบวนการ CVD/ALD บางประเภท ・การแบ่งบรรจุและบรรจุ CO₂ เกรดอิเล็กทรอนิกส์ ・ก๊าซทำงานของเลเซอร์และเครื่องมือวิเคราะห์การจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・การจัดการสถานะเป็นกุญแจสำคัญ: CO₂ เปลี่ยนสถานะได้ง่ายที่ความดันจ่ายทั่วไป การออกแบบท่อจึงต้องเลี่ยงการหรี่เฉพาะจุดที่ทำให้น้ำแข็งแห้งอุดตัน ・กำลังการระเหยต้องเพียงพอ: เมื่อจ่ายในรูปของเหลว ความจุของเครื่องระเหยด้านต้นทางที่ไม่พอจะทำให้อัตราการไหลและความดันแกว่ง ・การป้องกันส่วนอุณหภูมิต่ำ: จุดที่หรี่แล้วอุณหภูมิลดจะเกิดน้ำแข็งเกาะ ต้องคำนึงถึงป้ายกำกับท่อและการป้องกันบุคลากรไปด้วย ・ความเสี่ยงขาดอากาศหายใจ: CO₂ หนักกว่าอากาศและสะสมในที่ต่ำ ห้องอุปกรณ์จึงต้องมีการระบายอากาศและการเฝ้าระวังปริมาณออกซิเจน ・เส้นทางก๊าซทิ้งจากการรีเจน: ก๊าซที่ปล่อยในช่วงรีเจนอุณหภูมิสูงต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・เลี่ยงวัสดุซีลที่มีซิลิคอน: ตัวเลขสารประกอบทนไฟกดไว้ที่ 0.005 ppb การเลือกวัสดุซีลผิดจึงทำให้การออกแบบทั้งหมดพังการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังดูดซับรีเจนอัตโนมัติตามตารางของ PLC วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・การตรวจรับกรดด่างและสารประกอบทนไฟต้องใช้วิธีวิเคราะห์ที่สอดคล้องกัน การวิเคราะห์ความชื้นและออกซิเจนทั่วไปครอบคลุมไม่ถึง ・จุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวัน: การทำงานของวาล์ว การสอบเทียบการควบคุมอุณหภูมิและเซ็นเซอร์ และสภาพเครื่องระเหยด้านต้นทาง ・การซ่อมบำรุงประจำปีควรรวมการตรวจวาล์วนิรภัยและแผ่นระเบิดเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | กำจัด CH₄ | ตัวชี้วัดเฉพาะทาง | อัตราการไหล |
|---|---|---|---|---|
| BSS32 (รุ่นนี้) | ADS | ไม่ได้ | กรดด่าง สารประกอบทนไฟ | 10–700 Nm³/h |
| BSS33 | CAT+ADS | ได้ | เหมือนข้างต้นและเพิ่ม CH₄ | 10–700 Nm³/h |
| BSS32-SC รุ่นเหนือวิกฤต | ADS | ไม่ได้ | NVHC, NO / NO₂ / SO₂ | 10–700 Nm³/h |
| BSP POU อุณหภูมิปกติ (สูตร 84) | ดูดซับที่อุณหภูมิปกติ | ไม่ได้ | H₂O, O₂, กรดด่าง | 5–4000 SLPM |
