Purificador de dióxido de carbono - Purificadores de gas | Baisheng Tech
Código de productoBSS32Purificadores de gasPurificadores totalmente automáticos
Purificadores de gas

Purificador de dióxido de carbono

Descripción del producto

Purificador de dióxido de carbono de gran caudal. El BSS32 es un diseño de adsorción con varios lechos en paralelo; el BSS33 añade un lecho catalítico de alta temperatura en serie aguas arriba para eliminar también CH₄. Los ácidos volátiles totales y los compuestos refractarios se mantienen por debajo de 0,005 ppb, con caudales de 10 a 700 Nm³/h.

Características y especificaciones

Tabla de índice (gas admitido: CO₂)

ImpurezaSalida BSS32 (ppb)Salida BSS33 (ppb)
ProcesoADSCAT+ADS
H₂O< 1< 1
O₂< 1< 1
CO< 1< 1
H₂< 1< 1
CH₄< 1
Ácidos volátiles totales (como SO₂)< 0.005< 0.005
Bases volátiles totales (como NH₃)< 0.5< 0.5
Orgánicos condensables (HCS>100 amu, como decano)< 0.15< 0.15
Orgánicos no condensables (HCS>58 amu, como tolueno)< 1< 1
Compuestos refractarios (como HMDSO)< 0.005< 0.005
Partículas≤ 1 pcs/m³ (@0,003μm)≤ 1 pcs/m³ (@0,003μm)
Rango de caudal10–700 Nm³/h10–700 Nm³/h
Solo se listan las especificaciones y configuraciones de los modelos estándar. Contáctenos para requisitos especiales.
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Email:sales@baisheng-tech.com

Teléfono+886-2-25981958

Descripción detallada

Descripción del proceso

La serie BSS32 hace trabajar en paralelo varios lechos de adsorción, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años. La serie BSS33 añade un lecho catalítico en serie por delante de los lechos de adsorción. El lecho catalítico funciona a alta temperatura y no necesita regeneración; los lechos de adsorción situados aguas abajo trabajan en paralelo con el mismo ciclo alterno. La diferencia es que el BSS33 elimina además CH₄.

Aplicaciones

El dióxido de carbono de alta pureza se emplea en la limpieza de obleas, el secado supercrítico y ciertos procesos de deposición. Los ácidos, las bases y los compuestos refractarios volátiles presentes en el gas de origen pueden dejar residuos o provocar corrosión en la superficie de la oblea incluso a niveles de ppb, por lo que los requisitos de proceso suelen exigir especificaciones de salida de ppb o inferiores.

Características del producto

・Funcionamiento totalmente automático con suministro ininterrumpido las 24 horas ・Materiales adsorbentes a medida con diseño de eliminación específico para ácidos, bases y compuestos refractarios ・Discos de ruptura y válvulas de alivio para la liberación de presión, enclavamiento mecánico de alta temperatura y alarmas