Purificadores de gas
Purificador de dióxido de carbono
Descripción del producto
Purificador de dióxido de carbono de gran caudal con varios lechos de adsorción en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura. Los ácidos volátiles totales y los compuestos refractarios se mantienen por debajo de 0,005 ppb, con un rango de caudal de 10 a 700 Nm³/h. Elija BSS33 si el origen contiene CH₄ que también deba eliminarse.
Características y especificaciones
Tabla de prestaciones (gas aplicable: CO₂)
| Impureza | Salida BSS32 (ppb) |
|---|---|
| Proceso | ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | — (elija BSS33 si se requiere eliminar CH₄) |
| Ácidos volátiles totales (as SO₂) | < 0.005 |
| Bases volátiles totales (as NH₃) | < 0.5 |
| Orgánicos condensables (HCS>100 amu, as decano) | < 0.15 |
| Orgánicos no condensables (HCS>58 amu, as tolueno) | < 1 |
| Compuestos refractarios (as HMDSO) | < 0.005 |
| Partículas | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Rango de caudal | 10–700 Nm³/h |
La tabla recoge únicamente la especificación y la configuración de los modelos estándar; consulte para otros requisitos especiales.
Descripción detallada
Descripción del proceso
La serie BSS32 opera con varios lechos de adsorción en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años. Si el gas de origen contiene CH₄ y el proceso no puede admitirlo, utilice el BSS33, que añade un lecho catalítico de alta temperatura aguas arriba.
Dónde se aplica
El dióxido de carbono de alta pureza se emplea en limpieza de obleas, secado supercrítico y algunos procesos de deposición. Los ácidos y bases volátiles y los compuestos refractarios del gas de origen pueden dejar residuo sobre la oblea o provocar corrosión incluso a nivel ppb, por lo que el lado de proceso suele exigir cifras de salida en ppb o por debajo. La tabla de prestaciones muestra dónde está el énfasis: ácidos volátiles totales y compuestos refractarios se mantienen en 0,005 ppb, dos órdenes de magnitud por debajo de la humedad (< 1 ppb). Y es que el CO₂ es en sí mismo un disolvente potente que arrastra impurezas ácidas y compuestos de tipo siloxano hasta la superficie de la oblea.Características del producto
・Operación totalmente automática con suministro ininterrumpido las 24 horas ・Material adsorbente a medida con diseño específico de eliminación para ácidos, bases y compuestos refractarios ・Discos de ruptura y válvulas de seguridad para el alivio, con enclavamientos mecánicos de alta temperatura y alarmas ・Partículas a la salida ≤ 1 pcs/m³ (@0,003 μm) ・Vida útil superior a 20 añosProcesos y sectores de aplicación
・Limpieza y secado de obleas: limpieza con nieve de CO₂ (aerosol criogénico) y secado posterior ・Preparación del gas de alimentación para el secado supercrítico (la etapa supercrítica tiene su propio modelo, BSS32-SC) ・Gas de reacción o dilución en algunos procesos de CVD y ALD ・Trasvase y llenado de CO₂ de grado electrónico ・Gas de trabajo para láseres e instrumentos analíticosNotas de instalación y disposición
・La gestión de fases es crítica: el CO₂ cambia de fase con facilidad a las presiones de suministro habituales, así que la tubería debe evitar estrangulamientos locales que provoquen obstrucción por hielo seco ・Capacidad de vaporización suficiente: con suministro líquido, un vaporizador infradimensionado aguas arriba provoca oscilaciones de caudal y presión ・Protección de la sección fría: se forma escarcha donde el estrangulamiento enfría el gas, así que hay que considerar la señalización y la protección del personal ・Riesgo de asfixia: el CO₂ es más pesado que el aire y se acumula en zonas bajas, así que la sala de equipos necesita ventilación y monitorización de oxígeno ・Conducción del venteo de regeneración: el gas de venteo de la etapa de regeneración a alta temperatura debe llevarse a un punto de vertido seguro ・Evite materiales de estanqueidad con silicona: con los compuestos refractarios limitados a 0,005 ppb, una junta equivocada echa por tierra todo el sistemaMantenimiento y regeneración
・Los lechos de adsorción se regeneran automáticamente según programación del PLC, con adsorbente diseñado para más de 20 años ・Verificar ácidos, bases y compuestos refractarios exige métodos analíticos acordes; el análisis corriente de humedad y oxígeno no los cubre ・El mantenimiento rutinario se centra en la actuación de válvulas, el control de temperatura, la calibración de sensores y el estado del vaporizador aguas arriba ・La revisión anual debe incluir la inspección de válvulas de seguridad y discos de rupturaCómo elegir entre modelos próximos
| Modelo | Proceso | Elimina CH₄ | Parámetros especializados | Caudal |
|---|---|---|---|---|
| BSS32 (este modelo) | ADS | No | Ácidos, bases, compuestos refractarios | 10–700 Nm³/h |
| BSS33 | CAT+ADS | Sí | Los anteriores, más CH₄ | 10–700 Nm³/h |
| BSS32-SC supercrítico | ADS | No | NVHC, NO / NO₂ / SO₂ | 10–700 Nm³/h |
| BSP POU ambiente (formulación 84) | Adsorción ambiente | No | H₂O, O₂, ácidos y bases | 5–4000 SLPM |
