氣體純化器
超臨界二氧化碳純化器
產品概述
針對超臨界二氧化碳製程設計的純化設備。多個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，對 NO、NO₂、SO₂ 與非揮發性烴等會影響超臨界乾燥品質的雜質有專門的去除指標。流量 10～700 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：超臨界 CO₂）
| 雜質 | BSS32-SC 出口 (ppb) |
|---|---|
| 工藝 | ADS |
| H₂O | < 1 |
| 總揮發性酸 (as SO₂) | < 0.1 |
| NO | < 0.1 |
| NO₂ | < 0.1 |
| SO₂ | < 0.005 |
| 總揮發性鹼 (as NH₃) | < 1 |
| NH₃ | < 0.5 |
| 非揮發性烴 NVHC (as Toluene) | < 0.01 |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–700 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
