氣體純化器
超臨界二氧化碳純化器
產品概述
針對超臨界二氧化碳製程設計的純化設備。多個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，對 NO、NO₂、SO₂ 與非揮發性烴等會影響超臨界乾燥品質的雜質有專門的去除指標。流量 10～700 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：超臨界 CO₂）
| 雜質 | BSS32-SC 出口 (ppb) |
|---|---|
| 工藝 | ADS |
| H₂O | < 1 |
| 總揮發性酸 (as SO₂) | < 0.1 |
| NO | < 0.1 |
| NO₂ | < 0.1 |
| SO₂ | < 0.005 |
| 總揮發性鹼 (as NH₃) | < 1 |
| NH₃ | < 0.5 |
| 非揮發性烴 NVHC (as Toluene) | < 0.01 |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–700 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
為什麼超臨界 CO₂ 需要專門的純化指標
超臨界二氧化碳兼具氣體的擴散性與液體的溶解力，能在不產生表面張力的情況下把液體帶出高深寬比結構，因此被用於先進製程的晶圓乾燥，避免圖形塌陷（Pattern Collapse）。 正因為它是強溶劑，氣源中的非揮發性烴（NVHC）在超臨界狀態下會被溶出、並在洩壓時析出殘留在晶圓表面；NO、NO₂、SO₂ 這類酸性雜質則可能造成金屬層腐蝕。所以超臨界用途的 CO₂，管制項目與一般高純 CO₂ 不同 —— 重點在 NVHC 與酸性氣體，而不只是水氣。工藝介紹
BSS32-SC 系列透過多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，使用壽命大於 20 年。產品特點
・NVHC (as Toluene) < 0.01 ppb，針對超臨界乾燥的關鍵指標設計 ・SO₂ < 0.005 ppb，抑制金屬腐蝕風險 ・NO、NO₂ 均 < 0.1 ppb ・全自動運行，24 小時不間斷供氣 ・出口微粒 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)適用製程與產業
・先進節點的超臨界乾燥（Supercritical Drying）：高深寬比圖形的防塌陷乾燥 ・高深寬比結構的清洗後處理：FinFET、GAA 與 3D NAND 製程 ・MEMS 元件的釋放乾燥：避免黏附（Stiction） ・超臨界萃取與材料處理：對殘留物要求嚴格的應用 ・研究機構的超臨界製程開發現場配置與安裝要點
・高壓系統設計：超臨界 CO₂ 的工作壓力遠高於一般氣體供應，管路、閥件與安全裝置的壓力等級要一致 ・相態控制：從氣態經液態到超臨界的路徑上，溫度與壓力都要受控，避免非預期相變造成乾冰或水擊 ・NVHC 的污染源要一起管：純化器把氣源顧好了，但下游管路的油脂、密封件脫氣同樣會貢獻 NVHC，全鏈都要用低脫氣材料 ・洩壓與排放：超臨界段洩壓時體積急劇膨脹且溫度驟降，排放路徑要能承受 ・窒息風險：CO₂ 積聚在低窪處，設備間需通風與含氧量監測 ・驗收方法要先談好：NVHC 與 ppb 級酸性氣體的分析需要專門方法與取樣程序維護與再生
・吸附桶由 PLC 自動排程再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・NVHC 的日常監控建議以定期取樣建立趨勢，單點數據判讀意義有限 ・日常維護重點：閥件動作、溫控與感測器校驗、上游氣化與增壓設備狀態 ・任何拆裝後的零件都要確認無油脂殘留才可裝回，否則直接影響 NVHC 指標與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 主要管制項目 | NVHC 指標 | 適用場合 |
|---|---|---|---|
| BSS32-SC（本機種） | NVHC、NO／NO₂／SO₂ | < 0.01 ppb | 超臨界乾燥 |
| BSS32 | 酸鹼、難熔化合物 | 不單獨列管 | 一般高純 CO₂ |
| BSS33 | 同 BSS32 另加 CH₄ | 不單獨列管 | 氣源含甲烷 |
