Thiết bị tinh chế CO₂ siêu tới hạn

Tổng quan sản phẩm

Thiết bị tinh chế thiết kế riêng cho quy trình cacbon dioxit siêu tới hạn. Nhiều bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, có chỉ tiêu khử chuyên biệt cho NO, NO₂, SO₂ và hydrocacbon không bay hơi — những tạp chất ảnh hưởng chất lượng sấy siêu tới hạn. Lưu lượng 10–700 Nm³/h.

Tính năng & Thông số kỹ thuật

Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: CO₂ siêu tới hạn)

Tạp chất	BSS32-SC đầu ra (ppb)
Công nghệ	ADS
H₂O	< 1
Tổng axit bay hơi (as SO₂)	< 0.1
NO	< 0.1
NO₂	< 0.1
SO₂	< 0.005
Tổng bazơ bay hơi (as NH₃)	< 1
NH₃	< 0.5
Hydrocacbon không bay hơi NVHC (as Toluene)	< 0.01
Hạt PARTICLES	≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)
Dải lưu lượng	10–700 Nm³/h

Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.

Yêu cầu báo giá

LINE @baisheng

WeChat

Email：sales@baisheng-tech.com

Điện thoại：+886-2-25981958

Mô tả chi tiết

Vì sao CO₂ siêu tới hạn cần chỉ tiêu tinh chế riêng

Cacbon dioxit siêu tới hạn vừa có tính khuếch tán của chất khí vừa có sức hòa tan của chất lỏng, nên đưa được chất lỏng ra khỏi cấu trúc tỉ lệ cao mà không tạo sức căng bề mặt. Vì vậy nó được dùng để sấy wafer trong quy trình tiên tiến, tránh sập cấu trúc hoa văn (Pattern Collapse). Chính vì là dung môi mạnh nên hydrocacbon không bay hơi (NVHC) trong khí nguồn sẽ bị hòa tan ở trạng thái siêu tới hạn rồi kết tủa lại trên bề mặt wafer khi xả áp; các tạp chất axit như NO, NO₂, SO₂ thì có thể gây ăn mòn lớp kim loại. Do đó CO₂ dùng cho mục đích siêu tới hạn có hạng mục kiểm soát khác với CO₂ độ tinh khiết cao thông thường — trọng tâm là NVHC và khí axit, chứ không chỉ hơi ẩm.

Giới thiệu công nghệ

Dòng BSS32-SC ghép song song nhiều bình hấp phụ, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, tuổi thọ trên 20 năm.

Đặc điểm sản phẩm

・NVHC (as Toluene) < 0.01 ppb, thiết kế theo chỉ tiêu then chốt của sấy siêu tới hạn ・SO₂ < 0.005 ppb, kìm hãm rủi ro ăn mòn kim loại ・NO và NO₂ đều < 0.1 ppb ・Vận hành tự động hoàn toàn, cấp khí liên tục 24 giờ ・Hạt ở đầu ra ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm)

Quy trình và ngành áp dụng

・Sấy siêu tới hạn ở nút công nghệ tiên tiến: sấy chống sập cho hoa văn tỉ lệ cao ・Xử lý sau làm sạch cho cấu trúc tỉ lệ cao: quy trình FinFET, GAA và 3D NAND ・Sấy giải phóng cho linh kiện MEMS: tránh dính bám (Stiction) ・Chiết siêu tới hạn và xử lý vật liệu: các ứng dụng yêu cầu ngặt về tồn dư ・Phát triển quy trình siêu tới hạn tại viện nghiên cứu

Bố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt

・Thiết kế theo hệ cao áp: áp suất làm việc của CO₂ siêu tới hạn cao hơn nhiều so với cấp khí thông thường, nên đường ống, van và thiết bị an toàn phải cùng cấp áp suất ・Kiểm soát pha: trên đường từ thể khí qua thể lỏng tới siêu tới hạn, nhiệt độ và áp suất đều phải được kiểm soát, tránh chuyển pha ngoài dự kiến gây đá khô hoặc búa nước ・Quản lý cả các nguồn NVHC khác: thiết bị tinh chế đã làm sạch khí nguồn, nhưng dầu mỡ và khí nhả từ vật liệu làm kín ở đường ống phía sau cũng đóng góp NVHC như vậy, nên toàn tuyến phải dùng vật liệu ít nhả khí ・Xả áp và thoát khí: khi xả áp đoạn siêu tới hạn, thể tích giãn nở đột ngột và nhiệt độ hạ rất nhanh, nên đường thoát phải chịu được ・Rủi ro ngạt: CO₂ đọng ở chỗ trũng, phòng thiết bị cần thông gió và giám sát nồng độ oxy ・Thống nhất phương pháp nghiệm thu trước: phân tích NVHC và khí axit mức ppb cần phương pháp và quy trình lấy mẫu chuyên dụng

Bảo trì và tái sinh

・Bình hấp phụ do PLC tự lên lịch tái sinh, vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm ・Giám sát NVHC hằng ngày nên dựa trên lấy mẫu định kỳ để dựng xu hướng; đọc một điểm đo đơn lẻ có ý nghĩa hạn chế ・Trọng tâm bảo trì hằng ngày: tác động van, hiệu chuẩn điều khiển nhiệt độ và cảm biến, tình trạng thiết bị hóa hơi và tăng áp phía trên ・Mọi chi tiết tháo ra đều phải xác nhận không còn dầu mỡ mới được lắp lại, vì ảnh hưởng trực tiếp tới chỉ tiêu NVHC

So sánh với các model lân cận

Model	Hạng mục kiểm soát chính	Chỉ tiêu NVHC	Trường hợp phù hợp
BSS32-SC (model này)	NVHC, NO / NO₂ / SO₂	< 0.01 ppb	Sấy siêu tới hạn
BSS32	Axit bazơ, hợp chất khó nóng chảy	Không kiểm soát riêng	CO₂ độ tinh khiết cao thông thường
BSS33	Như BSS32 và thêm CH₄	Không kiểm soát riêng	Khí nguồn chứa metan

Câu hỏi thường gặp

Thiết bị tinh chế CO₂ độ tinh khiết cao thông thường có dùng cho quy trình siêu tới hạn được không?

Đấu nối thì được, nhưng hạng mục kiểm soát không khớp. Model thông thường không kiểm soát riêng NVHC, mà NVHC lại chính là nguồn tồn dư dễ gây vấn đề nhất trong sấy siêu tới hạn. Hậu quả của việc chọn nhầm model thường không lộ ra ngay mà phản ánh dần qua tỉ lệ khuyết tật bề mặt wafer.

NVHC rốt cuộc là gì?

Hydrocacbon không bay hơi (Non-Volatile Hydrocarbon), chỉ chung các hydrocacbon khó bay hơi ở nhiệt độ và áp suất thường — dầu mỡ, chất hóa dẻo, sản phẩm nhả khí của một số vật liệu làm kín đều thuộc nhóm này. Ở trạng thái khí thông thường ảnh hưởng của chúng hạn chế, nhưng CO₂ siêu tới hạn sẽ hòa tan chúng rồi kết tủa lên bề mặt wafer khi xả áp.

Bản thân thiết bị có đóng góp NVHC không?

Các chi tiết tiếp xúc khí của thiết bị đều đã qua xử lý làm sạch tương ứng. Rủi ro thực sự nằm ở thi công hiện trường và bảo trì về sau — bất kỳ gioăng, chất bôi trơn hay dầu dụng cụ chưa qua xử lý nào cũng có thể đưa NVHC vào hệ, nên quy định thi công và quy trình bảo trì quan trọng ngang với việc chọn thiết bị.

Sản phẩm liên quan

Thiết bị tinh chế khí gia nhiệt

Thiết bị tinh chế khí POU nhiệt độ thường

Thiết bị tinh chế khí POU cao áp

Thiết bị tinh chế khí cao áp

Quay lại tất cả sản phẩm