Purificadores de gas
Purificador de CO₂ supercrítico
Descripción del producto
Equipo de purificación diseñado para procesos de dióxido de carbono supercrítico. Varios lechos de adsorción en paralelo alternan entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con objetivos de eliminación específicos para NO, NO₂, SO₂ e hidrocarburos no volátiles, que afectan a la calidad del secado supercrítico. El caudal abarca de 10 a 700 Nm³/h.
Características y especificaciones
Tabla de prestaciones (gas aplicable: CO₂ supercrítico)
| Impureza | Salida BSS32-SC (ppb) |
|---|---|
| Proceso | ADS |
| H₂O | < 1 |
| Ácidos volátiles totales (as SO₂) | < 0.1 |
| NO | < 0.1 |
| NO₂ | < 0.1 |
| SO₂ | < 0.005 |
| Bases volátiles totales (as NH₃) | < 1 |
| NH₃ | < 0.5 |
| Hidrocarburos no volátiles NVHC (as tolueno) | < 0.01 |
| Partículas | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Rango de caudal | 10–700 Nm³/h |
La tabla recoge únicamente la especificación y la configuración de los modelos estándar; consulte para otros requisitos especiales.
Descripción detallada
Por qué el CO₂ supercrítico necesita su propia especificación
El dióxido de carbono supercrítico combina la difusividad de un gas con el poder disolvente de un líquido, lo que le permite extraer líquido de estructuras de elevada relación de aspecto sin tensión superficial. Por eso es el medio de secado de obleas en nodos avanzados, evitando el colapso de patrones (Pattern Collapse). Precisamente por ser un disolvente potente, los hidrocarburos no volátiles (NVHC) del gas de origen se disuelven en condiciones supercríticas y precipitan sobre la superficie de la oblea al despresurizar; las impurezas ácidas como NO, NO₂ y SO₂ pueden corroer las capas metálicas. Los parámetros controlados para el CO₂ de grado supercrítico difieren por tanto de los del CO₂ de alta pureza corriente: el énfasis está en los NVHC y en los gases ácidos, no solo en la humedad.Descripción del proceso
La serie BSS32-SC opera con varios lechos de adsorción en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años.Características del producto
・NVHC (as tolueno) < 0,01 ppb, diseñado en torno al parámetro clave del secado supercrítico ・SO₂ < 0,005 ppb, conteniendo el riesgo de corrosión metálica ・NO y NO₂ ambos < 0,1 ppb ・Operación totalmente automática con suministro ininterrumpido las 24 horas ・Partículas a la salida ≤ 1 pcs/m³ (@0,003 μm)Procesos y sectores de aplicación
・Secado supercrítico en nodos avanzados: secado sin colapso de patrones de elevada relación de aspecto ・Procesado posterior a la limpieza de estructuras de elevada relación de aspecto: FinFET, GAA y 3D NAND ・Secado de liberación de dispositivos MEMS, evitando la adhesión (stiction) ・Extracción supercrítica y procesado de materiales con requisitos estrictos de residuo ・Desarrollo de procesos supercríticos en institutos de investigaciónNotas de instalación y disposición
・Diseño de sistema de alta presión: la presión de trabajo del CO₂ supercrítico está muy por encima del suministro de gas corriente, así que tubería, válvulas y dispositivos de seguridad deben compartir la misma clase de presión ・Control de fases: temperatura y presión deben controlarse a lo largo del camino de gas a líquido y a supercrítico, evitando cambios de fase imprevistos que provoquen hielo seco o golpe de ariete ・Controle también las fuentes de NVHC: el purificador limpia el gas, pero la grasa y la desgasificación de juntas aguas abajo aportan NVHC con la misma facilidad, así que toda la cadena necesita materiales de baja desgasificación ・Alivio y descarga: despresurizar la sección supercrítica produce una expansión volumétrica rápida y una caída brusca de temperatura, así que la vía de descarga debe soportarlo ・Riesgo de asfixia: el CO₂ se acumula en zonas bajas, así que la sala de equipos necesita ventilación y monitorización de oxígeno ・Acuerde el método de verificación de antemano: el análisis de NVHC y de gases ácidos a nivel ppb exige métodos y procedimientos de muestreo dedicadosMantenimiento y regeneración
・Los lechos de adsorción se regeneran automáticamente según programación del PLC, con adsorbente diseñado para más de 20 años ・Para la vigilancia rutinaria de NVHC, construya una tendencia a partir de muestreos periódicos: un dato aislado significa poco ・El mantenimiento rutinario se centra en la actuación de válvulas, el control de temperatura, la calibración de sensores y el estado de los equipos de vaporización y presurización aguas arriba ・Toda pieza desmontada debe confirmarse libre de grasa antes de montarla, ya que afecta directamente a la cifra de NVHCCómo elegir entre modelos próximos
| Modelo | Parámetros controlados principales | Cifra de NVHC | Dónde encaja |
|---|---|---|---|
| BSS32-SC (este modelo) | NVHC, NO / NO₂ / SO₂ | < 0.01 ppb | Secado supercrítico |
| BSS32 | Ácidos, bases, compuestos refractarios | Sin control específico | CO₂ de alta pureza general |
| BSS33 | Como BSS32 más CH₄ | Sin control específico | El origen contiene metano |
