Purificador de CO₂ supercrítico - Purificadores de gas | Baisheng Tech
Código de productoBSS32-SCPurificadores de gasPurificadores totalmente automáticos
Purificadores de gas

Purificador de CO₂ supercrítico

Descripción del producto

Purificador concebido para procesos de dióxido de carbono supercrítico. Varios lechos de adsorción trabajan en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con objetivos específicos de eliminación de NO, NO₂, SO₂ e hidrocarburos no volátiles, las impurezas que degradan el secado supercrítico. Caudal de 10 a 700 Nm³/h.

Características y especificaciones

Tabla de índice (gas admitido: CO₂ supercrítico)

ImpurezaSalida BSS32-SC (ppb)
ProcesoADS
H₂O< 1
Ácidos volátiles totales (como SO₂)< 0.1
NO< 0.1
NO₂< 0.1
SO₂< 0.005
Bases volátiles totales (como NH₃)< 1
NH₃< 0.5
Hidrocarburos no volátiles NVHC (como tolueno)< 0.01
Partículas≤ 1 pcs/m³ (@0,003μm)
Rango de caudal10–700 Nm³/h
Solo se listan las especificaciones y configuraciones de los modelos estándar. Contáctenos para requisitos especiales.
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Teléfono+886-2-25981958

Descripción detallada

Por qué el CO₂ supercrítico necesita una especificación propia

El dióxido de carbono supercrítico combina la difusividad de un gas con el poder disolvente de un líquido, lo que le permite arrastrar líquido fuera de estructuras de gran relación de aspecto sin tensión superficial. Por eso se emplea en el secado de obleas en nodos avanzados, donde evita el colapso del patrón. Precisamente por ser un disolvente potente, los hidrocarburos no volátiles (NVHC) del gas de origen se disuelven en condiciones supercríticas y precipitan sobre la superficie de la oblea al liberarse la presión. Las impurezas ácidas como NO, NO₂ y SO₂ pueden corroer las capas metálicas. Por eso el CO₂ para servicio supercrítico tiene una lista de control distinta a la del CO₂ de alta pureza ordinario: el foco está en el NVHC y los gases ácidos, no solo en la humedad.

Descripción del proceso

La serie BSS32-SC hace trabajar en paralelo varios lechos de adsorción, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años.

Características del producto

・NVHC (como tolueno) < 0,01 ppb, diseñado en torno al indicador clave del secado supercrítico ・SO₂ < 0,005 ppb, reduciendo el riesgo de corrosión metálica ・Funcionamiento totalmente automático con suministro ininterrumpido las 24 horas