เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์เหนือวิกฤต
รายละเอียดสินค้า
อุปกรณ์ทำบริสุทธิ์ที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการคาร์บอนไดออกไซด์เหนือวิกฤตโดยเฉพาะ ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง มีตัวชี้วัดการกำจัดเฉพาะสำหรับ NO, NO₂, SO₂ และไฮโดรคาร์บอนไม่ระเหย ซึ่งกระทบคุณภาพการทำแห้งเหนือวิกฤต อัตราการไหล 10–700 Nm³/h
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: CO₂ เหนือวิกฤต)
| สิ่งเจือปน | BSS32-SC ทางออก (ppb) |
|---|---|
| เทคโนโลยี | ADS |
| H₂O | < 1 |
| กรดระเหยรวม (as SO₂) | < 0.1 |
| NO | < 0.1 |
| NO₂ | < 0.1 |
| SO₂ | < 0.005 |
| ด่างระเหยรวม (as NH₃) | < 1 |
| NH₃ | < 0.5 |
| ไฮโดรคาร์บอนไม่ระเหย NVHC (as Toluene) | < 0.01 |
| อนุภาค PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | 10–700 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
ทำไม CO₂ เหนือวิกฤตจึงต้องมีตัวชี้วัดเฉพาะของตัวเอง
คาร์บอนไดออกไซด์เหนือวิกฤตมีทั้งความสามารถในการแพร่แบบก๊าซและกำลังละลายแบบของเหลว จึงพาของเหลวออกจากโครงสร้างอัตราส่วนสูงได้โดยไม่เกิดแรงตึงผิว ด้วยเหตุนี้จึงถูกใช้ทำแห้งเวเฟอร์ในกระบวนการขั้นสูง เพื่อป้องกันการล้มของลวดลาย (Pattern Collapse) และเพราะเป็นตัวทำละลายที่แรงนี่เอง ไฮโดรคาร์บอนไม่ระเหย (NVHC) ในแหล่งก๊าซจึงถูกละลายออกมาในสภาวะเหนือวิกฤต แล้วตกผลึกกลับลงบนผิวเวเฟอร์ตอนลดความดัน ส่วนสิ่งเจือปนที่เป็นกรดอย่าง NO, NO₂, SO₂ อาจกัดกร่อนชั้นโลหะ ดังนั้น CO₂ สำหรับงานเหนือวิกฤตจึงมีรายการควบคุมต่างจาก CO₂ ความบริสุทธิ์สูงทั่วไป โดยเน้นที่ NVHC และก๊าซกรด ไม่ใช่แค่ความชื้นแนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS32-SC ใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อายุใช้งานกว่า 20 ปีจุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・NVHC (as Toluene) < 0.01 ppb ออกแบบตามตัวชี้วัดสำคัญของการทำแห้งเหนือวิกฤต ・SO₂ < 0.005 ppb ยับยั้งความเสี่ยงการกัดกร่อนโลหะ ・NO และ NO₂ ต่ำกว่า 0.1 ppb ทั้งคู่ ・ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ・อนุภาคทางออก ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm)กระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・การทำแห้งเหนือวิกฤตในโหนดเทคโนโลยีขั้นสูง: การทำแห้งที่ป้องกันการล้มของลวดลายอัตราส่วนสูง ・การจัดการหลังการล้างของโครงสร้างอัตราส่วนสูง: กระบวนการ FinFET, GAA และ 3D NAND ・การทำแห้งเพื่อปลดปล่อยชิ้นส่วน MEMS: เลี่ยงการติดยึด (Stiction) ・การสกัดเหนือวิกฤตและการแปรรูปวัสดุ: งานที่มีข้อกำหนดเรื่องสารตกค้างเข้มงวด ・การพัฒนากระบวนการเหนือวิกฤตในสถาบันวิจัยการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・ออกแบบเป็นระบบแรงดันสูง: ความดันใช้งานของ CO₂ เหนือวิกฤตสูงกว่าการจ่ายก๊าซทั่วไปมาก ท่อ วาล์ว และอุปกรณ์นิรภัยจึงต้องอยู่ในชั้นความดันเดียวกัน ・การควบคุมสถานะ: ตลอดเส้นทางจากก๊าซผ่านของเหลวไปสู่เหนือวิกฤต ต้องควบคุมทั้งอุณหภูมิและความดัน เลี่ยงการเปลี่ยนสถานะนอกแผนที่ทำให้เกิดน้ำแข็งแห้งหรือค้อนน้ำ ・ต้องคุมแหล่ง NVHC อื่นไปพร้อมกัน: เครื่องทำบริสุทธิ์จัดการแหล่งก๊าซให้เรียบร้อยแล้วก็จริง แต่ไขมันและการคายก๊าซของวัสดุซีลในท่อด้านท้ายก็ให้ NVHC ได้เช่นกัน ทั้งสายจึงต้องใช้วัสดุที่คายก๊าซต่ำ ・การระบายความดันและการปล่อยทิ้ง: ตอนลดความดันของช่วงเหนือวิกฤต ปริมาตรจะขยายตัวอย่างรวดเร็วและอุณหภูมิลดฮวบ เส้นทางปล่อยทิ้งจึงต้องรับไหว ・ความเสี่ยงขาดอากาศหายใจ: CO₂ สะสมในที่ต่ำ ห้องอุปกรณ์จึงต้องมีการระบายอากาศและการเฝ้าระวังปริมาณออกซิเจน ・ตกลงวิธีตรวจรับล่วงหน้า: การวิเคราะห์ NVHC และก๊าซกรดระดับ ppb ต้องใช้วิธีและขั้นตอนการเก็บตัวอย่างเฉพาะทางการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังดูดซับรีเจนอัตโนมัติตามตารางของ PLC วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・การเฝ้าระวัง NVHC ประจำวันแนะนำให้สร้างแนวโน้มจากการเก็บตัวอย่างเป็นระยะ ข้อมูลจุดเดียวมีความหมายจำกัด ・จุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวัน: การทำงานของวาล์ว การสอบเทียบการควบคุมอุณหภูมิและเซ็นเซอร์ และสภาพอุปกรณ์ระเหยกับอุปกรณ์เพิ่มความดันด้านต้นทาง ・ชิ้นส่วนที่ถอดออกมาทุกชิ้นต้องยืนยันว่าไม่มีคราบไขมันก่อนประกอบกลับ เพราะกระทบตัวเลข NVHC โดยตรงเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | รายการควบคุมหลัก | ตัวเลข NVHC | เหมาะกับงานใด |
|---|---|---|---|
| BSS32-SC (รุ่นนี้) | NVHC, NO / NO₂ / SO₂ | < 0.01 ppb | การทำแห้งเหนือวิกฤต |
| BSS32 | กรดด่าง สารประกอบทนไฟ | ไม่ได้ควบคุมแยก | CO₂ ความบริสุทธิ์สูงทั่วไป |
| BSS33 | เหมือน BSS32 และเพิ่ม CH₄ | ไม่ได้ควบคุมแยก | แหล่งก๊าซมีมีเทน |
