เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์เหนือวิกฤต - เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์ | Baisheng Tech
รหัสสินค้าBSS32-SCเครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์เครื่องทำบริสุทธิ์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์

เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์เหนือวิกฤต

รายละเอียดสินค้า

อุปกรณ์ทำบริสุทธิ์ที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการคาร์บอนไดออกไซด์เหนือวิกฤต ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับทำงานระหว่างโหมดทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับโหมดฟื้นสภาพที่อุณหภูมิสูง พร้อมเกณฑ์การกำจัดเฉพาะสำหรับ NO NO₂ SO₂ และไฮโดรคาร์บอนไม่ระเหย ซึ่งเป็นสิ่งเจือปนที่ทำให้คุณภาพการอบแห้งเหนือวิกฤตเสียไป อัตราการไหล 10–700 Nm³/h

คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ

ตารางค่าชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้:CO₂ เหนือวิกฤต)

สิ่งเจือปนBSS32-SC ทางออก (ppb)
กระบวนการADS
H₂O< 1
กรดระเหยรวม (as SO₂)< 0.1
NO< 0.1
NO₂< 0.1
SO₂< 0.005
ด่างระเหยรวม (as NH₃)< 1
NH₃< 0.5
ไฮโดรคาร์บอนไม่ระเหย NVHC (as Toluene)< 0.01
อนุภาค PARTICLES≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)
ช่วงอัตราการไหล10–700 Nm³/h
ตารางนี้แสดงค่าชี้วัดและการจัดวางของรุ่นมาตรฐาน ความต้องการพิเศษอื่น ๆ สอบถามเพิ่มเติมได้
ขอใบเสนอราคา

Email:sales@baisheng-tech.com

โทรศัพท์+886-2-25981958

คำอธิบายโดยละเอียด

Why Supercritical CO₂ Needs Its Own Specification

Supercritical carbon dioxide combines the diffusivity of a gas with the solvating power of a liquid, letting it carry liquid out of high-aspect-ratio structures without surface tension. That is why it is used for wafer drying in advanced nodes, where it prevents pattern collapse. Precisely because it is a strong solvent, non-volatile hydrocarbons (NVHC) in the source gas dissolve under supercritical conditions and precipitate onto the wafer surface when pressure is released. Acidic impurities such as NO, NO₂ and SO₂ can corrode metal layers. So CO₂ for supercritical service has a different control list from ordinary high-purity CO₂ — the focus is NVHC and acidic gases, not just moisture.

Process Description

The BSS32-SC series runs multiple adsorption beds in parallel, alternating between ambient-temperature purification and high-temperature regeneration, with a service life over 20 years.

Product Features

・NVHC (as toluene) < 0.01 ppb, designed around the key metric for supercritical drying ・SO₂ < 0.005 ppb, suppressing the risk of metal corrosion ・Fully automatic operation with 24-hour uninterrupted supply