가스 정제기
초임계 이산화탄소 정제기
제품 개요
초임계 이산화탄소 공정을 위해 설계한 정제 설비입니다. 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며, 초임계 건조 품질에 영향을 주는 NO, NO₂, SO₂ 와 비휘발성 탄화수소에 대해 전용 제거 지표를 갖추고 있습니다. 유량 10~700 Nm³/h 입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: 초임계 CO₂)
| 불순물 | BSS32-SC 출구 (ppb) |
|---|---|
| 방식 | ADS |
| H₂O | < 1 |
| 총 휘발성 산 (as SO₂) | < 0.1 |
| NO | < 0.1 |
| NO₂ | < 0.1 |
| SO₂ | < 0.005 |
| 총 휘발성 염기 (as NH₃) | < 1 |
| NH₃ | < 0.5 |
| 비휘발성 탄화수소 NVHC (as Toluene) | < 0.01 |
| 미립자 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | 10–700 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
초임계 CO₂ 에 전용 정제 지표가 필요한 이유
초임계 이산화탄소는 기체의 확산성과 액체의 용해력을 함께 지녀, 표면장력을 만들지 않고 고종횡비 구조에서 액체를 빼낼 수 있습니다. 그래서 선단 공정의 웨이퍼 건조에 쓰이며 패턴 붕괴(Pattern Collapse)를 막습니다. 강한 용매이기 때문에 가스원의 비휘발성 탄화수소(NVHC)는 초임계 상태에서 녹아 나왔다가 감압 시 웨이퍼 표면에 석출됩니다. NO, NO₂, SO₂ 같은 산성 불순물은 금속층 부식을 일으킬 수 있습니다. 따라서 초임계 용도의 CO₂ 는 관리 항목이 일반 고순도 CO₂ 와 달라, 수분만이 아니라 NVHC 와 산성 가스에 중점이 놓입니다.공정 소개
BSS32-SC 시리즈는 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다.제품 특징
・NVHC (as Toluene) < 0.01 ppb 로 초임계 건조의 핵심 지표에 맞춰 설계 ・SO₂ < 0.005 ppb 로 금속 부식 위험을 억제 ・NO 와 NO₂ 모두 < 0.1 ppb ・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・출구 미립자 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm)적용 공정과 산업
・선단 노드의 초임계 건조(Supercritical Drying): 고종횡비 패턴의 붕괴 방지 건조 ・고종횡비 구조의 세정 후 처리: FinFET, GAA, 3D NAND 공정 ・MEMS 소자의 릴리스 건조: 고착(Stiction) 회피 ・초임계 추출과 소재 처리: 잔류물 요구가 엄격한 응용 ・연구 기관의 초임계 공정 개발현장 배치와 설치 요점
・고압 계통으로 설계: 초임계 CO₂ 의 사용 압력은 일반적인 가스 공급보다 훨씬 높으므로 배관, 밸브, 안전 장치의 압력 등급을 일치시켜야 합니다 ・상 제어: 기체에서 액체를 거쳐 초임계에 이르는 경로에서 온도와 압력을 모두 제어해 예기치 않은 상변화로 드라이아이스나 수격이 생기지 않게 해야 합니다 ・NVHC 오염원도 함께 관리: 정제기가 가스원을 정돈해도 후단 배관의 유지와 밀봉재 탈가스가 똑같이 NVHC 를 더하므로, 전 계통에 저탈가스 재료를 써야 합니다 ・방압과 배출: 초임계부를 감압할 때 부피가 급격히 팽창하고 온도가 급락하므로 배출 경로가 이를 견뎌야 합니다 ・질식 위험: CO₂ 는 낮은 곳에 고이므로 설비실에는 환기와 산소 농도 감시가 필요합니다 ・검수 방법을 사전에 합의: NVHC 와 ppb 급 산성 가스 분석에는 전용 기법과 샘플링 절차가 필요합니다유지보수와 재생
・흡착탑은 PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・NVHC 의 일상 감시는 정기 샘플링으로 추세를 만들 것을 권장합니다. 단일 데이터의 판독은 의미가 제한적입니다 ・일상 유지보수의 핵심: 밸브 동작, 온도 제어와 센서 교정, 상류 기화·승압 설비 상태 ・분해한 부품은 모두 유지 잔류가 없는지 확인한 뒤 조립해야 합니다. NVHC 지표에 직접 영향을 주기 때문입니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 주요 관리 항목 | NVHC 지표 | 적합한 용도 |
|---|---|---|---|
| BSS32-SC (본 기종) | NVHC, NO / NO₂ / SO₂ | < 0.01 ppb | 초임계 건조 |
| BSS32 | 산염기, 난용성 화합물 | 개별 관리 없음 | 일반 고순도 CO₂ |
| BSS33 | BSS32 와 동일 항목에 CH₄ 추가 | 개별 관리 없음 | 가스원에 메탄이 있는 경우 |
