氣體純化器
XCDA 潔淨乾燥空氣純化器
產品概述
將一般壓縮乾燥空氣（CDA）提升為半導體級 XCDA 的純化設備。多個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，H₂O 與 CO₂ 可降至 100 ppt 以下，有機物、酸鹼與難熔化合物可降至 10 ppt 以下。流量 10～20000 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：XCDA）
| 雜質 | BSS22 出口濃度 |
|---|---|
| 工藝 | ADS |
| H₂O | < 100 ppt |
| CO₂ | < 100 ppt |
| 總有機碳 TOC (as C₃H₈) | < 10 ppt |
| 酸 (as SO₂) | < 10 ppt |
| 鹼 (as NH₃) | < 10 ppt |
| 難熔化合物 (as HMDSO) | < 10 ppt |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–20000 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
