氣體純化器
XCDA 潔淨乾燥空氣純化器
產品概述
將一般壓縮乾燥空氣（CDA）提升為半導體級 XCDA 的純化設備。多個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，H₂O 與 CO₂ 可降至 100 ppt 以下，有機物、酸鹼與難熔化合物可降至 10 ppt 以下。流量 10～20000 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：XCDA）
| 雜質 | BSS22 出口濃度 |
|---|---|
| 工藝 | ADS |
| H₂O | < 100 ppt |
| CO₂ | < 100 ppt |
| 總有機碳 TOC (as C₃H₈) | < 10 ppt |
| 酸 (as SO₂) | < 10 ppt |
| 鹼 (as NH₃) | < 10 ppt |
| 難熔化合物 (as HMDSO) | < 10 ppt |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–20000 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
CDA 與 XCDA 的差別
一般的壓縮乾燥空氣（CDA, Clean Dry Air）只做到除水與除油，露點與微粒達標即可。XCDA（Extreme Clean Dry Air）則進一步把分子級污染物 —— 二氧化碳、有機物、酸鹼氣體、難熔化合物 —— 一併降到 ppt 等級，用於曝光機、量測機台吹掃與晶圓傳輸環境，避免 AMC（氣態分子污染）造成晶圓表面缺陷（Haze）或光學元件霧化。工藝介紹
BSS22 系列 XCDA 純化器透過多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，使用壽命大於 20 年。
產品特點
・出口 H₂O、CO₂ < 100 ppt，有機物與酸鹼 < 10 ppt ・全自動運行，24 小時不間斷供氣 ・純化流量大，可支援全廠 XCDA 供應 ・出口微粒 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) ・現場量測儀器的實際讀值可達出口 H₂O 濃度 0.001～0.006 ppbV 等級為什麼是 ppt 而不是 ppb
XCDA 的規格比一般大宗氣體嚴一到兩個數量級，原因在使用場景：曝光機的鏡頭與光罩暴露在吹掃氣中，任何有機物或難熔化合物（例如矽氧烷）在強紫外光下會裂解並沉積在光學面上，造成透光率下降。這種污染是累積且不可逆的，換一組鏡片的代價遠高於純化設備本身。酸鹼氣體則會與光阻反應，在曝光後顯影出現 T-top 等缺陷。適用製程與產業
・曝光機（Scanner／Stepper）的光學路徑與晶圓台吹掃 ・量測與檢測機台：對光學面污染敏感的設備 ・晶圓傳輸與暫存（Stocker、FOUP 吹掃） ・光罩儲存與傳送：光罩霧化（Haze）的主要防線之一 ・面板與先進封裝的高潔淨度乾燥空氣需求現場配置與安裝要點
・上游 CDA 品質是前提：純化器處理的是分子級污染，若上游還在漏油或露點不穩，應先解決 CDA 本身的問題 ・管路材質要一起升級：一般碳鋼或普通塑膠管會脫氣，把剛純化好的空氣重新污染。XCDA 段建議用電拋光不鏽鋼或適用的高潔淨管材 ・避免使用含矽氧烷的密封材：矽氧烷正是 XCDA 要去除的難熔化合物，用錯墊片等於自己製造污染源 ・再生排氣路徑：高溫再生階段的排氣須導至安全排放點 ・分段驗收：施工後先確認出口，再確認末端使用點 —— 兩者落差就是管路的貢獻 ・改造既有 CDA 系統時考慮不停線切換：多數廠區無法停掉 CDA，切換方案要事先規劃維護與再生
・吸附桶由 PLC 自動排程再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・ppt 級的驗證需要專門的量測方法（APIMS、ICP-MS、熱脫附 GC-MS 等），一般的露點儀與微粒計數器看不到這個層級 ・建議建立定期取樣的基線資料，用趨勢而非單點判斷系統狀態 ・日常維護重點：閥件動作、溫控與感測器校驗、前端過濾狀態與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 適用氣體 | 主要管制項目 | 流量 |
|---|---|---|---|
| BSS22（本機種） | XCDA | H₂O、CO₂、TOC、酸鹼、難熔化合物（ppt 級） | 10–20000 Nm³/h |
| BSP 常溫 POU（配方 23／48） | CDA 與惰性氣體 | H₂O、CO₂、有機物、酸鹼（ppt 級） | 5–4000 SLPM |
| BSS14 大流量常溫型 | CDA 等 | H₂O、CO₂（ppb 級） | 100–5000 Nm³/h |
