가스 정제기
XCDA 청정 건조 공기 정제기
제품 개요
일반 압축 건조 공기(CDA)를 반도체급 XCDA 로 끌어올리는 정제 설비입니다. 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 H₂O 와 CO₂ 를 100 ppt 이하로, 유기물·산염기·난용성 화합물을 10 ppt 이하로 낮춥니다. 유량 10~20000 Nm³/h 입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: XCDA)
| 불순물 | BSS22 출구 농도 |
|---|---|
| 방식 | ADS |
| H₂O | < 100 ppt |
| CO₂ | < 100 ppt |
| 총유기탄소 TOC (as C₃H₈) | < 10 ppt |
| 산 (as SO₂) | < 10 ppt |
| 염기 (as NH₃) | < 10 ppt |
| 난용성 화합물 (as HMDSO) | < 10 ppt |
| 미립자 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | 10–20000 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
CDA 와 XCDA 의 차이
일반적인 압축 건조 공기(CDA, Clean Dry Air)는 제수와 제유까지만 하며 노점과 미립자가 기준을 만족하면 충분합니다. XCDA(Extreme Clean Dry Air)는 한 걸음 더 나아가 분자 수준 오염물, 즉 이산화탄소, 유기물, 산염기 가스, 난용성 화합물까지 ppt 급으로 낮춥니다. 노광기와 계측 장비의 퍼지, 웨이퍼 반송 환경에 쓰이며 AMC(기체상 분자 오염)로 인한 웨이퍼 표면 결함(헤이즈)이나 광학 부품 흐림을 방지합니다.공정 소개
BSS22 시리즈는 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다.
제품 특징
・출구 H₂O, CO₂ < 100 ppt, 유기물과 산염기 < 10 ppt ・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・정제 유량이 커서 공장 전체 XCDA 공급을 지원할 수 있음 ・출구 미립자 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) ・현장 계측기는 출구 H₂O 농도를 0.001~0.006 ppbV 수준까지 읽어냄ppb 가 아니라 ppt 인 이유
XCDA 의 규격은 일반적인 대용량 가스보다 한두 자릿수 엄격하며, 이유는 사용처에 있습니다. 노광기의 렌즈와 레티클은 퍼지 가스에 노출되어 있고, 어떤 유기물이나 난용성 화합물(예: 실록산)이든 강한 자외선 아래에서 분해되어 광학면에 쌓이면 투과율이 떨어집니다. 이런 오염은 누적적이고 되돌릴 수 없으며, 렌즈 한 세트를 교체하는 대가는 정제 설비 자체보다 훨씬 큽니다. 산염기 가스는 감광제와 반응해 현상 후 T-top 같은 결함으로 나타납니다.적용 공정과 산업
・노광기(Scanner/Stepper)의 광 경로와 웨이퍼 스테이지 퍼지 ・계측·검사 장비: 광학면 오염에 민감한 설비 ・웨이퍼 반송과 임시 보관(스토커, FOUP 퍼지) ・레티클 보관과 이송: 레티클 헤이즈의 주요 방어선 중 하나 ・패널과 선단 패키징의 고청정 건조 공기 수요현장 배치와 설치 요점
・상류 CDA 품질이 전제: 정제기는 분자 수준 오염을 다루므로, 상류에서 아직 오일이 새거나 노점이 불안정하다면 CDA 자체의 문제를 먼저 해결해야 합니다 ・배관 재질도 함께 업그레이드: 일반 탄소강이나 범용 플라스틱 배관은 탈가스로 갓 정제한 공기를 다시 오염시킵니다. XCDA 구간에는 전해연마 스테인리스나 적합한 고청정 배관재를 권장합니다 ・실록산이 든 밀봉재 회피: 실록산은 바로 XCDA 가 제거해야 할 난용성 화합물이므로, 개스킷을 잘못 고르면 스스로 오염원을 만드는 셈입니다 ・재생 배기 경로: 고온 재생 단계의 배기는 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・단계별 검수: 시공 후 먼저 출구를 확인하고 이어서 말단 사용점을 확인하십시오. 두 값의 차이가 배관의 기여분입니다 ・기존 CDA 계통 개조 시 무정지 전환을 고려: 대부분의 공장은 CDA 를 세울 수 없으므로 전환 방안을 미리 계획해야 합니다유지보수와 재생
・흡착탑은 PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・ppt 급 검증에는 전용 측정 기법(APIMS, 열탈착 GC-MS, ICP-MS 등)이 필요하며 일반적인 노점계와 파티클 카운터로는 이 수준이 보이지 않습니다 ・정기 샘플링으로 기준선 데이터를 만들고 단일 지점이 아니라 추세로 계통 상태를 판단할 것을 권장합니다 ・일상 유지보수의 핵심: 밸브 동작, 온도 제어와 센서 교정, 전단 필터 상태인접 기종과의 선택
| 기종 | 적용 가스 | 주요 관리 항목 | 유량 |
|---|---|---|---|
| BSS22 (본 기종) | XCDA | H₂O, CO₂, TOC, 산염기, 난용성 화합물 (ppt 급) | 10–20000 Nm³/h |
| BSP 상온 POU (배합 23/48) | CDA 와 불활성 가스 | H₂O, CO₂, 유기물, 산염기 (ppt 급) | 5–4000 SLPM |
| BSS14 대유량 상온형 | CDA 등 | H₂O, CO₂ (ppb 급) | 100–5000 Nm³/h |
