Purificadores de gas
Purificador de aire limpio y seco XCDA
Descripción del producto
Equipo que eleva el aire comprimido seco corriente (CDA) a XCDA de grado semiconductor. Varios lechos de adsorción en paralelo alternan entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, llevando H₂O y CO₂ por debajo de 100 ppt y los orgánicos, ácidos, bases y compuestos refractarios por debajo de 10 ppt. El caudal abarca de 10 a 20000 Nm³/h.
Características y especificaciones
Tabla de prestaciones (gas aplicable: XCDA)
| Impureza | Concentración de salida BSS22 |
|---|---|
| Proceso | ADS |
| H₂O | < 100 ppt |
| CO₂ | < 100 ppt |
| Carbono orgánico total TOC (as C₃H₈) | < 10 ppt |
| Ácidos (as SO₂) | < 10 ppt |
| Bases (as NH₃) | < 10 ppt |
| Compuestos refractarios (as HMDSO) | < 10 ppt |
| Partículas | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Rango de caudal | 10–20000 Nm³/h |
La tabla recoge únicamente la especificación y la configuración de los modelos estándar; consulte para otros requisitos especiales.
Descripción detallada
CDA frente a XCDA
El aire comprimido seco corriente (CDA, Clean Dry Air) solo elimina agua y aceite, y basta con cumplir los objetivos de punto de rocío y partículas. El XCDA (Extreme Clean Dry Air) va más allá y lleva también los contaminantes moleculares —dióxido de carbono, orgánicos, gases ácidos y básicos, compuestos refractarios— hasta nivel ppt. Se emplea para el purgado de escáneres y equipos de metrología y para entornos de transporte de obleas, evitando que la AMC (contaminación molecular aerotransportada) provoque defectos superficiales en la oblea (haze) o el velado de componentes ópticos.Descripción del proceso
La serie BSS22 opera con varios lechos de adsorción en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años.
Características del producto
・H₂O y CO₂ a la salida < 100 ppt, orgánicos y ácidos/bases < 10 ppt ・Operación totalmente automática con suministro ininterrumpido las 24 horas ・Gran caudal de purificación, capaz de soportar el suministro de XCDA de toda la planta ・Partículas a la salida ≤ 1 pcs/m³ (@0,003 μm) ・Los instrumentos de campo leen concentraciones de H₂O a la salida del orden de 0,001–0,006 ppbVPor qué ppt y no ppb
El XCDA se especifica uno o dos órdenes de magnitud más estricto que el gas a granel corriente, y la razón está en dónde se usa. Las lentes de los escáneres y las retículas quedan expuestas al gas de purga, y cualquier orgánico o compuesto refractario —siloxanos, por ejemplo— se descompone bajo luz ultravioleta intensa y se deposita sobre la superficie óptica, reduciendo la transmisión. Esa contaminación es acumulativa e irreversible, y sustituir un juego de lentes cuesta mucho más que el propio equipo de purificación. Los gases ácidos y básicos reaccionan con la fotorresina y producen defectos como el T-top tras el revelado.Procesos y sectores de aplicación
・Purgado del camino óptico y de la platina de obleas en escáneres y steppers ・Equipos de metrología e inspección sensibles a la contaminación de superficies ópticas ・Transporte y almacenamiento de obleas (stockers, purgado de FOUP) ・Almacenamiento y transporte de retículas: una de las principales defensas frente al velado de retículas ・Necesidades de aire seco de alta limpieza en display y encapsulado avanzadoNotas de instalación y disposición
・La calidad del CDA aguas arriba es un requisito previo: el purificador aborda contaminación molecular, así que si el sistema aguas arriba aún pierde aceite o tiene el punto de rocío inestable, corrija primero el propio CDA ・Actualice la tubería al mismo tiempo: el acero al carbono corriente o el plástico común desgasifican y vuelven a contaminar el aire recién purificado; para el tramo de XCDA se recomienda acero inoxidable electropulido o tubería de alta pureza adecuada ・Evite materiales de estanqueidad con siloxanos: el siloxano es justamente el compuesto refractario que el XCDA elimina, de modo que una junta equivocada equivale a incorporar una fuente de contaminación ・Conducción del venteo de regeneración: el gas de venteo de la etapa de regeneración a alta temperatura debe llevarse a un punto de vertido seguro ・Verifique por etapas: tras el montaje, confirme primero la salida y después el punto de uso; la diferencia entre ambos es la aportación de la tubería ・Planifique un cambio en caliente al reformar un CDA existente: la mayoría de plantas no pueden parar el CDA, así que el esquema de conmutación debe prepararse de antemanoMantenimiento y regeneración
・Los lechos de adsorción se regeneran automáticamente según programación del PLC, con adsorbente diseñado para más de 20 años ・La verificación a nivel ppt exige métodos de medida dedicados (APIMS, GC-MS con desorción térmica, ICP-MS y similares); los higrómetros y contadores de partículas corrientes no ven ese nivel ・Construya una línea base a partir de muestreos periódicos y juzgue el estado del sistema por la tendencia y no por un punto aislado ・El mantenimiento rutinario se centra en la actuación de válvulas, el control de temperatura, la calibración de sensores y el estado del filtro aguas arribaCómo elegir entre modelos próximos
| Modelo | Gas aplicable | Parámetros controlados principales | Caudal |
|---|---|---|---|
| BSS22 (este modelo) | XCDA | H₂O, CO₂, TOC, ácidos/bases, compuestos refractarios (nivel ppt) | 10–20000 Nm³/h |
| BSP POU ambiente (formulaciones 23 / 48) | CDA y gases inertes | H₂O, CO₂, orgánicos, ácidos/bases (nivel ppt) | 5–4000 SLPM |
| BSS14 ambiente de gran caudal | CDA y similares | H₂O, CO₂ (nivel ppb) | 100–5000 Nm³/h |
