Purificador de aire limpio y seco XCDA - Purificadores de gas | Baisheng Tech
Código de productoBSS22Purificadores de gasPurificadores totalmente automáticos
Purificadores de gas

Purificador de aire limpio y seco XCDA

Descripción del producto

Eleva el aire comprimido seco convencional (CDA) a XCDA de grado semiconductor. Varios lechos de adsorción trabajan en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura. El H₂O y el CO₂ descienden por debajo de 100 ppt, mientras que los compuestos orgánicos, los ácidos, las bases y los compuestos refractarios bajan de 10 ppt. Caudal de 10 a 20 000 Nm³/h.

Características y especificaciones

Tabla de índice (gas admitido: XCDA)

ImpurezaSalida BSS22
ProcesoADS
H₂O< 100 ppt
CO₂< 100 ppt
Carbono orgánico total TOC (como C₃H₈)< 10 ppt
Ácidos (como SO₂)< 10 ppt
Bases (como NH₃)< 10 ppt
Compuestos refractarios (como HMDSO)< 10 ppt
Partículas≤ 1 pcs/m³ (@0,003μm)
Rango de caudal10–20000 Nm³/h
Solo se listan las especificaciones y configuraciones de los modelos estándar. Contáctenos para requisitos especiales.
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Email:sales@baisheng-tech.com

Teléfono+886-2-25981958

Descripción detallada

CDA frente a XCDA

El aire limpio y seco ordinario (CDA) solo elimina agua y aceite; basta con cumplir un punto de rocío y una especificación de partículas. El XCDA (aire limpio y seco extremo) va más allá y reduce los contaminantes moleculares —dióxido de carbono, orgánicos, gases ácidos y básicos, compuestos refractarios— a niveles de ppt. Se emplea para purgar equipos de litografía y metrología y para entornos de transporte de obleas, evitando que el AMC (contaminación molecular en suspensión) provoque defectos en la superficie de la oblea (haze) o empañamiento de componentes ópticos.

Descripción del proceso

La serie BSS22 hace trabajar en paralelo varios lechos de adsorción, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años.

Características del producto

・H₂O y CO₂ de salida < 100 ppt; orgánicos, ácidos y bases < 10 ppt ・Funcionamiento totalmente automático con suministro ininterrumpido las 24 horas ・Alto caudal de purificación, capaz de suministrar XCDA a toda la planta

Para saber más

El XCDA se centra principalmente en la contaminación por AMC. Para la clasificación de AMC, su monitorización y la selección de filtros químicos, consulte nuestra serie de artículos técnicos sobre AMC.