เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์อากาศแห้งสะอาด XCDA
รายละเอียดสินค้า
อุปกรณ์ทำบริสุทธิ์ที่ยกระดับอากาศอัดแห้งทั่วไป (CDA) ขึ้นเป็น XCDA เกรดเซมิคอนดักเตอร์ ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับทำงานระหว่างโหมดทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับโหมดฟื้นสภาพที่อุณหภูมิสูง ลด H₂O และ CO₂ ลงต่ำกว่า 100 ppt ส่วนสารอินทรีย์ กรด ด่าง และสารประกอบทนไฟ ลดลงต่ำกว่า 10 ppt อัตราการไหล 10–20,000 Nm³/h
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางค่าชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้：XCDA)
| สิ่งเจือปน | BSS22 ความเข้มข้นทางออก |
|---|---|
| กระบวนการ | ADS |
| H₂O | < 100 ppt |
| CO₂ | < 100 ppt |
| คาร์บอนอินทรีย์รวม TOC (as C₃H₈) | < 10 ppt |
| กรด (as SO₂) | < 10 ppt |
| ด่าง (as NH₃) | < 10 ppt |
| สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) | < 10 ppt |
| อนุภาค PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | 10–20000 Nm³/h |
ตารางนี้แสดงค่าชี้วัดและการจัดวางของรุ่นมาตรฐาน ความต้องการพิเศษอื่น ๆ สอบถามเพิ่มเติมได้
