เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์อากาศแห้งสะอาด XCDA
รายละเอียดสินค้า
อุปกรณ์ที่ยกระดับอากาศอัดแห้งทั่วไป (CDA) ขึ้นเป็น XCDA เกรดเซมิคอนดักเตอร์ ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง ลด H₂O และ CO₂ ลงต่ำกว่า 100 ppt และลดสารอินทรีย์ กรดด่าง และสารประกอบทนไฟลงต่ำกว่า 10 ppt อัตราการไหล 10–20000 Nm³/h
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: XCDA)
| สิ่งเจือปน | ความเข้มข้นทางออก BSS22 |
|---|---|
| เทคโนโลยี | ADS |
| H₂O | < 100 ppt |
| CO₂ | < 100 ppt |
| คาร์บอนอินทรีย์รวม TOC (as C₃H₈) | < 10 ppt |
| กรด (as SO₂) | < 10 ppt |
| ด่าง (as NH₃) | < 10 ppt |
| สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) | < 10 ppt |
| อนุภาค PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | 10–20000 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
ความต่างระหว่าง CDA กับ XCDA
อากาศอัดแห้งทั่วไป (CDA, Clean Dry Air) ทำเพียงกำจัดน้ำและน้ำมัน ให้จุดน้ำค้างและอนุภาคผ่านเกณฑ์ก็พอ ส่วน XCDA (Extreme Clean Dry Air) ไปไกลกว่านั้น โดยลดสารปนเปื้อนระดับโมเลกุล ได้แก่ คาร์บอนไดออกไซด์ สารอินทรีย์ ก๊าซกรดด่าง และสารประกอบทนไฟ ลงถึงระดับ ppt ด้วย ใช้กับการเป่าเครื่องฉายแสงและเครื่องวัด และกับสภาพแวดล้อมขนส่งเวเฟอร์ เพื่อป้องกันไม่ให้ AMC (การปนเปื้อนระดับโมเลกุลในอากาศ) ทำให้เกิดข้อบกพร่องที่ผิวเวเฟอร์ (haze) หรือทำให้ชิ้นส่วนเชิงแสงขุ่นมัวแนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS22 ใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อายุใช้งานกว่า 20 ปี
จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・H₂O และ CO₂ ทางออก < 100 ppt สารอินทรีย์และกรดด่าง < 10 ppt ・ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ・อัตราการทำบริสุทธิ์สูง รองรับการจ่าย XCDA ทั้งโรงงานได้ ・อนุภาคทางออก ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) ・เครื่องมือวัดหน้างานอ่านความเข้มข้น H₂O ทางออกได้ถึงระดับ 0.001–0.006 ppbVทำไมจึงเป็น ppt ไม่ใช่ ppb
ข้อกำหนดของ XCDA เข้มกว่าก๊าซปริมาณมากทั่วไปหนึ่งถึงสองลำดับขนาด และเหตุผลอยู่ที่จุดใช้งาน เลนส์ของเครื่องฉายแสงและเรติเคิลสัมผัสกับก๊าซเป่าโดยตรง สารอินทรีย์หรือสารประกอบทนไฟใด ๆ (เช่น ไซล็อกเซน) จะแตกตัวภายใต้แสงอัลตราไวโอเลตเข้มข้นแล้วสะสมบนผิวเชิงแสง ทำให้การส่งผ่านแสงลดลง การปนเปื้อนแบบนี้สะสมและย้อนกลับไม่ได้ ค่าเปลี่ยนชุดเลนส์แพงกว่าตัวอุปกรณ์ทำบริสุทธิ์มาก ส่วนก๊าซกรดด่างจะทำปฏิกิริยากับสารไวแสง เกิดข้อบกพร่องอย่าง T-top หลังการล้างภาพกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・การเป่าเส้นทางแสงและแท่นวางเวเฟอร์ของเครื่องฉายแสง (Scanner/Stepper) ・เครื่องวัดและเครื่องตรวจสอบ: อุปกรณ์ที่ไวต่อการปนเปื้อนของผิวเชิงแสง ・การขนส่งและพักเก็บเวเฟอร์ (Stocker, การเป่า FOUP) ・การเก็บและขนส่งเรติเคิล: หนึ่งในแนวป้องกันหลักของการขุ่นมัวของเรติเคิล ・ความต้องการอากาศแห้งความสะอาดสูงในจอแสดงผลและแพ็กเกจขั้นสูงการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・คุณภาพ CDA ด้านต้นทางเป็นเงื่อนไขเบื้องต้น: เครื่องทำบริสุทธิ์จัดการการปนเปื้อนระดับโมเลกุล หากด้านต้นทางยังรั่วน้ำมันหรือจุดน้ำค้างไม่นิ่ง ต้องแก้ปัญหาของ CDA เองก่อน ・อัปเกรดวัสดุท่อไปพร้อมกัน: ท่อเหล็กกล้าคาร์บอนทั่วไปหรือท่อพลาสติกธรรมดาจะคายก๊าซและทำให้อากาศที่เพิ่งทำบริสุทธิ์เสร็จปนเปื้อนอีก ช่วง XCDA แนะนำให้ใช้สเตนเลสขัดด้วยไฟฟ้าหรือวัสดุท่อสะอาดสูงที่เหมาะสม ・เลี่ยงวัสดุซีลที่มีไซล็อกเซน: ไซล็อกเซนคือสารประกอบทนไฟที่ XCDA ต้องกำจัดพอดี การเลือกปะเก็นผิดจึงเท่ากับสร้างแหล่งปนเปื้อนขึ้นมาเอง ・เส้นทางก๊าซทิ้งจากการรีเจน: ก๊าซที่ปล่อยในช่วงรีเจนอุณหภูมิสูงต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・ตรวจรับเป็นขั้น: หลังงานติดตั้งให้ยืนยันที่ทางออกก่อน แล้วจึงยืนยันที่จุดใช้งานปลายทาง ผลต่างระหว่างสองจุดคือส่วนที่ท่อมีส่วนทำให้เกิดขึ้น ・เมื่อปรับปรุงระบบ CDA เดิม ให้คิดถึงการสลับโดยไม่หยุดไลน์: โรงงานส่วนใหญ่หยุด CDA ไม่ได้ จึงต้องวางแผนวิธีสลับไว้ล่วงหน้าการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังดูดซับรีเจนอัตโนมัติตามตารางของ PLC วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・การตรวจสอบระดับ ppt ต้องใช้วิธีวัดเฉพาะทาง (APIMS, GC-MS แบบ thermal desorption, ICP-MS เป็นต้น) เครื่องวัดจุดน้ำค้างและเครื่องนับอนุภาคทั่วไปมองไม่เห็นระดับนี้ ・แนะนำให้สร้างข้อมูลฐานจากการเก็บตัวอย่างเป็นระยะ และตัดสินสถานะระบบจากแนวโน้มแทนที่จะดูจุดเดียว ・จุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวัน: การทำงานของวาล์ว การสอบเทียบการควบคุมอุณหภูมิและเซ็นเซอร์ และสภาพตัวกรองด้านต้นทางเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | ก๊าซที่ใช้ได้ | รายการควบคุมหลัก | อัตราการไหล |
|---|---|---|---|
| BSS22 (รุ่นนี้) | XCDA | H₂O, CO₂, TOC, กรดด่าง, สารประกอบทนไฟ (ระดับ ppt) | 10–20000 Nm³/h |
| BSP POU อุณหภูมิปกติ (สูตร 23/48) | CDA และก๊าซเฉื่อย | H₂O, CO₂, สารอินทรีย์, กรดด่าง (ระดับ ppt) | 5–4000 SLPM |
| BSS14 อุณหภูมิปกติอัตราไหลสูง | CDA เป็นต้น | H₂O, CO₂ (ระดับ ppb) | 100–5000 Nm³/h |
