過濾設備
AMC 化學過濾箱
產品概述
佰聖 AMC 化學過濾箱是把化學濾材、前後段微粒濾網與風機整合在一個可維護箱體內的氣態污染物去除設備。處理對象是 HEPA 攔不下來的分子級污染物 —— 酸、鹼、凝結物、摻雜劑與一般 VOC。
全系列涵蓋六種機型：室內循環的 BS-APS、外氣正壓補氣的 BS-PPS、接在風管上的 BS-SAH 側抽式箱體、處理高濃度的 BS-DBS 深床洗滌器、單段一次到底的 BS-HDBS，以及點源局部抽取的 BS-DS 桶式洗滌器。風量從 170 CMH 的單一藥液槽排氣，到 68,000 CMH 的 MAU 主幹風管都有對應機型。
箱體採鍍鋅鋼板或 SUS304／316，接縫滿焊，前後段濾網與化學濾材皆為側抽門設計，可在不拆風管的狀態下更換。標配跨接化學段的壓差計，用來判讀前濾堵塞與濾材飽和。
濾材配置、箱體材質、法蘭型式與盤面配置皆依現場條件客製；下方選型指南說明四步怎麼走。
關鍵規格
- 目標氣體
- 酸類（HCl、HF、SOx、NOx）、鹼類（NH₃、胺類）、凝結物（BHT、NMP、DOP）、摻雜劑（AsH₃、B₂H₆、BF₃）、一般 VOC
- 額定風量
- 170 – 68,000 CMH
- 濾網配置
- 濾材段：浸漬活性碳、KMnO₄ 改質氧化鋁、混合床，可多段串聯或分層堆疊；微粒濾網前濾 G4／MERV 6，後濾 F8／MERV 14（可升級 HEPA H13／H14）
- 箱體材質
- 鍍鋅鋼板／SUS304／SUS316，接縫滿焊，內部無裸露螺牙
規格總表
- 箱體材質
- 鍍鋅鋼板／SUS304／SUS316，接縫滿焊，內部無裸露螺牙
- 目標氣體
- 酸類（HCl、HF、SOx、NOx）、鹼類（NH₃、胺類）、凝結物（BHT、NMP、DOP）、摻雜劑（AsH₃、B₂H₆、BF₃）、一般 VOC
- 濾網配置
- 濾材段：浸漬活性碳、KMnO₄ 改質氧化鋁、混合床，可多段串聯或分層堆疊；微粒濾網前濾 G4／MERV 6，後濾 F8／MERV 14（可升級 HEPA H13／H14）
- 額定風量
- 170 – 68,000 CMH
- 電源規格
- 380／460V 三相（BS-DS 為 380V／3Ø／50Hz）
- 安裝方向
- 側抽門更換濾材，不需拆卸風管；標配跨化學段壓差計
型號對照
| 系列 | 中文名 | 氣流架構 | 風量範圍 CMH |
|---|---|---|---|
| BS-APS | 循環式淨化機組 | 室內內循環 | 850 – 6,800 |
| BS-PPS | 正壓補氣機組 | 外氣單向送入 | 850 – 6,860 |
| BS-SAH | 側抽式過濾箱 | 風管中繼段 | 850 – 68,000 |
| BS-DBS | 深床洗滌器 | 風管或排氣端 | 510 – 18,350 |
| BS-HDBS | 高效深床洗滌器 | 排氣端 | 476 – 8,840 |
| BS-DS | 桶式洗滌器 | 點源局部抽取 | 170 – 1,700 |
詳細說明
化學過濾箱在處理什麼
HEPA 與 ULPA 濾網靠攔截、慣性撞擊與擴散抓微粒，對 0.1–0.3 μm 的最易穿透粒徑（MPPS）都能做到 99.97% 以上。但氣態分子完全是另一回事：HCl 分子的動力學直徑約 0.3 nm、NH₃ 約 0.26 nm，比 MPPS 小了三個數量級，對濾網來說等同不存在，直接穿透。 這些分子級污染物在半導體業統稱 AMC（Airborne Molecular Contamination，氣態分子污染）。它們造成的不是微粒缺陷，而是光阻 T-top、金屬線腐蝕、晶圓表面霧化、摻雜濃度漂移這類「查不到顆粒卻良率掉」的問題。要處理它們只有一條路 —— 吸附，讓分子在濾材孔隙裡待滿足夠時間，被物理吸附、化學反應或氧化固定下來。 化學過濾箱就是把這件事工程化：把化學濾材連同保護它的前後段微粒濾網、推得動這些壓損的風機，整合成一個能定期更換濾材的箱體。化學過濾箱的三段式結構
氣流依序穿過前濾、化學濾材、後濾，最後由風機加壓送出
化學濾材段是唯一「靠時間換效率」的一段 —— 微粒濾網靠攔截，化學濾材靠吸附，分子必須在孔隙裡待滿足夠時間才會被抓住。所以選型時真正該鎖的參數是接觸時間（residence time），不是濾材重量。
六大機型怎麼分
第一刀先切氣流架構 —— 空氣從哪裡來、處理完要送去哪。第二刀再切風量。這兩刀切完通常只剩一到兩個選項。風量、接觸時間與適用場合對照
先用「空氣從哪來、要去哪」切架構，再用風量切機型 —— 這兩刀切完通常只剩一到兩個選項
| 機型 | 氣流架構 | 風量範圍 | 濾材深度／接觸時間 | 潔淨總壓損 | 典型場合 |
|---|---|---|---|---|---|
BS-APS 循環式淨化機組 | 室內內循環 | 850–6,800 CMH (500–4,000 CFM) | 2 段串聯／0.24 秒 | 約 1,120 Pa | 無塵室內部 AMC 濃度壓低、既有廠房加裝 |
BS-PPS 正壓補氣機組 | 外氣單向送入 | 850–6,860 CMH (500–4,040 CFM) | 2 段串聯／0.24 秒 | 約 1,120 Pa | 維持房間正壓、外氣先除酸鹼再進房 |
BS-SAH 側抽式過濾箱 | 風管中繼段 | 850–68,000 CMH (500–40,000 CFM) | 12″/18″ 模組／0.06–0.19 秒 | 350–780 Pa | 接在 MAU／AHU 風管上，大風量低濃度 |
BS-DBS 深床洗滌器 | 風管或排氣端 | 510–18,350 CMH (300–10,800 CFM) | 12″ 深床 ×1–3 層／0.8–2.4 秒 | 850–2,025 Pa（1–2 層） | 製程排氣、高濃度酸鹼、需要高去除率 |
BS-HDBS 高效深床洗滌器 | 排氣端 | 476–8,840 CMH (280–5,200 CFM) | 加高床身／最深配置 | 2,100–2,500 Pa | 單點高濃度、要求單段一次到底 |
BS-DS 桶式洗滌器 | 點源局部抽取 | 170–1,700 CMH (100–1,000 CFM) | 0.14–1.10 m³ 濾材桶 | 依濾材配置 | 藥液槽、局部排氣點、臨時處理 |
接觸時間欄位是同一張表裡最容易被忽略、卻最決定去除率的數字。同樣是 3,400 CMH，側抽式板式模組只有 0.06 秒，深床洗滌器單層就有 0.8 秒 —— 差了十幾倍，能處理的濃度區間完全不同。低濃度大風量走模組式，高濃度小風量走深床。
怎麼選型
選型四步：順序不能顛倒
架構 → 風量 → 濾材與接觸時間 → 壓損與風機；每一步的輸出都是下一步的輸入
最常見的翻車點在第 2 步跳到第 4 步：先照既有風管挑了機型，才發現接觸時間不夠、只能加深濾材，壓損一路加上去逼得風機重選、電力也要重拉。先把第 3 步的接觸時間算清楚，第 4 步的風機才選得對一次。
第 1 步：定氣流架構
- 室內內循環（BS-APS） —— 機組擺在無塵室或製程區內，抽室內空氣、處理後送回同一空間。不動外氣、不影響房間壓力平衡，是既有廠房發現 AMC 超標時最快的補救方式。缺點是只能稀釋不能阻絕，室內若有持續散發源，濃度會停在一個平衡點。 - 外氣正壓補氣（BS-PPS） —— 處理外氣後單向送入房間，同時維持正壓。適合外氣本身就帶酸鹼（鄰近化工廠、海邊、都會區）的場合，把污染擋在門外。這是唯一能真正降低「進房濃度」的架構。 - 風管中繼段（BS-SAH） —— 純箱體加風機，串在 MAU／AHU 的送風主幹上。優點是一台顧全廠、單位風量成本最低；缺點是要有風管空間，且整廠共用同一組濾材，局部高濃度區得另外處理。 - 排氣端洗滌（BS-DBS／BS-HDBS／BS-DS） —— 裝在製程排氣側，處理濃度高出室內好幾個數量級的氣體。這一類的重點不是室內空氣品質，而是排放合規與設備防蝕。第 2 步：定風量
三種算法對應三種目的，用錯算法會差好幾倍： - 換氣次數法（內循環用）：風量 = 空間體積 × 每小時換氣次數。AMC 控制常見取 4–10 ACH；要求嚴格的微影區可到 15 ACH 以上。 - 稀釋法（有已知散發源時用）：風量 = 散發速率 ÷（目標濃度 − 進氣濃度）。這是唯一能回答「加大風量到底能壓到幾 ppb」的算法，前提是散發速率要量得出來。 - 補氣量法（正壓補氣用）：風量 = 房間洩漏量 + 製程排氣量 + 設計正壓餘量。實務上正壓餘量常取總量的 10–15%。 算完的風量要再回頭確認面速落在機型的設計區間內 —— 硬把大風量塞進小箱體，接觸時間會不夠。第 3 步：定濾材與接觸時間
先確認要除的是哪一類分子。酸鹼類靠化學吸附、VOC 與凝結物靠物理吸附、摻雜劑要靠氧化，三種機制的濾材不能互相替代。污染物類型 → 濾材配置 → 建議機型
依 SEMI F21 的四大分類切；每一類的吸附機制不同，濾材不能互相替代
| 分類 | 常見分子 | 濾材配置 | 吸附機制 | 建議機型 |
|---|---|---|---|---|
| 酸類 MA | HCl、HF、H₂SO₄、NOx、SOx | 鹼性浸漬活性碳（KOH／K₂CO₃ 浸漬） | 化學吸附：酸鹼中和後固定在碳表面 | BS-APS／BS-PPS／BS-SAH |
| 鹼類 MB | NH₃、胺類、NMP | 酸性浸漬活性碳（H₃PO₄／檸檬酸浸漬） | 化學吸附：與酸性官能基成鹽 | BS-APS／BS-PPS／BS-SAH |
| 凝結物 MC | BHT、NMP、DOP（沸點 >150°C） | 高比表面積椰殼活性碳 | 物理吸附：靠孔隙與凡得瓦力 | BS-SAH／BS-DBS |
| 摻雜劑 MD | AsH₃、B₂H₆、BF₃、TEP | KMnO₄ 改質氧化鋁＋混合床 | 氧化反應：先氧化再固定，不可逆 | BS-DBS／BS-HDBS |
| 一般 VOC | 甲苯、丙酮、IPA、乙酸乙酯 | 未浸漬活性碳（顆粒或蜂巢） | 物理吸附：高濃度時可考慮回收 | BS-SAH／BS-DBS／BS-DS |
實際廠房幾乎不會只有單一類污染物，所以化學濾材段常做成混合床（不同濾材分層堆疊）或多段串聯。要留意的是鹼類與酸類濾材放在同一層會互相中和而失效，必須分層或分段 —— 這是配置時最容易被忽略的限制。
面速、接觸時間與壓損：改一個就動三個
同樣的風量，把面速拉高可以縮小箱體，代價是接觸時間變短、去除率跟著掉
| 配置 | 濾材床深 | 面速 | 接觸時間 | 潔淨壓損 | 適用濃度 | 接觸時間相對長度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BS-SAH PM-18 | 18″（457 mm） | 2.50 m/s（500 FPM） | 0.06 秒 | 450 Pa | 低濃度、大風量 | |
| BS-SAH PM-12 | 12″（305 mm） | 1.25 m/s（250 FPM） | 0.12 秒 | 777 Pa | 低濃度 | |
| BS-SAH CCF-18／24 | 18″／24″ 罐式 | 2.50 m/s（500 FPM） | 0.192 秒 | 350–400 Pa | 低至中濃度 | |
| BS-APS／BS-PPS | 2 段串聯 | 1.27 m/s（250 FPM） | 0.24 秒 | 約 1,120 Pa | 中濃度、室內循環 | |
| BS-DBS 單層深床 | 12″ 深床 ×1 | 0.38 m/s（75 FPM） | 0.8 秒 | 850–1,275 Pa | 高濃度 | |
| BS-DBS 三層深床 | 12″ 深床 ×3 | 0.38 m/s（75 FPM） | 2.4 秒 | 2,025 Pa 以上 | 極高濃度、製程排氣 |
深床型的接觸時間 = 床深 ÷ 面速（12″ 床在 0.381 m/s 下即 0.8 秒）；板式與罐式模組要看實際濾材厚度而非模組深度，所以 12″ 模組的接觸時間遠短於 12″ 深床。想拉長接觸時間只有兩條路：把床加深（箱體變大、壓損上升）或把面速降低（同風量下迎風面積要加大、箱體也變大）。沒有又小又深又低壓損的化學過濾箱 —— 選型就是在這三者之間挑一個能接受的組合。
第 4 步：定壓損與風機
化學過濾箱的總壓損是三段相加，而且會隨濾材積塵一路往上走。選風機要用「終期壓損」而不是潔淨壓損，否則濾網用到一半風量就掉到設計值以下。 一般把更換壓差設在潔淨值的 1.5–2 倍，風機靜壓要能在那個點還推得出設計風量。這一步若過不了，得回到第 3 步改床深或換機型 —— 不要靠加大馬達硬撐，那只會讓電費與噪音一起上去。規格表
BS-APS 循環式淨化機組
| 型號 | 風量 CMH | 風量 CFM | 馬達 kW (HP) | 外型 高×寬×深 mm | 淨重 kg |
|---|---|---|---|---|---|
| BS-APS-500H | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,438 | 272 |
| BS-APS-1000H | 1,699 | 1,000 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,438 | 295 |
| BS-APS-2000H | 3,398 | 2,000 | 1.5 (2.0) | 719 × 1,204 × 2,438 | 544 |
| BS-APS-4000H | 6,796 | 4,000 | 3.7 (5.0) | 1,321 × 1,204 × 2,794 | 1,043 |
| BS-APS-500V | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 272 |
| BS-APS-1000V | 1,699 | 1,000 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 363 |
| BS-APS-2000V | 3,398 | 2,000 | 1.5 (2.0) | 2,159 × 1,397 × 686 | 590 |
| BS-APS-4000V | 6,796 | 4,000 | 3.7 (5.0) | 2,667 × 1,397 × 1,206 | 782 |
H＝臥式、V＝立式。淨重不含濾材。設計面速 1.27 m/s（250 FPM），二段串聯，接觸時間 0.24 秒，潔淨總壓損約 1,120 Pa。
BS-PPS 正壓補氣機組
| 型號 | 風量 CMH | 風量 CFM | 馬達 kW (HP) | 外型 高×寬×深 mm | 淨重 kg |
|---|---|---|---|---|---|
| BS-PPS-250H | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,616 | 227 |
| BS-PPS-500H | 1,741 | 1,025 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,616 | 238 |
| BS-PPS-1000H | 3,500 | 2,060 | 1.5 (2.0) | 719 × 1,203 × 2,616 | 365 |
| BS-PPS-2000H | 6,864 | 4,040 | 3.7 (5.0) | 1,321 × 1,203 × 3,048 | 500 |
| BS-PPS-250V | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 227 |
| BS-PPS-500V | 1,741 | 1,025 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 238 |
| BS-PPS-1000V | 3,500 | 2,060 | 1.5 (2.0) | 2,159 × 1,397 × 686 | 365 |
| BS-PPS-2000V | 6,864 | 4,040 | 3.7 (5.0) | 2,667 × 1,397 × 1,206 | 455 |
型號數字為模組基準值，實際風量以本表為準。潔淨總壓損約 1,120 Pa。
BS-SAH 側抽式過濾箱（依模組配置）
| 模組配置 | 風量範圍 CMH | 面速 | 接觸時間 | 潔淨總壓損 | 馬達範圍 kW |
|---|---|---|---|---|---|
| PM-12（12″ 板式） | 850 – 34,000 | 1.25 m/s | 0.12 秒 | 777 Pa | 0.75 – 22 |
| PM-18（18″ 板式） | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.06 秒 | 450 Pa | 0.75 – 37 |
| CCF-18（18″ 罐式） | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.192 秒 | 400 Pa | 0.75 – 37 |
| CCF-24（24″ 罐式） | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.192 秒 | 350 Pa | 0.75 – 37 |
電源 380／460V 三相，二段模組配置。外型尺寸依模組數與風量決定，報價時提供外型圖。
BS-DBS 深床洗滌器
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 型號範圍 | BS-DBS-202 ～ BS-DBS-1212 |
| 風量範圍 | 510 – 18,351 CMH（300 – 10,800 CFM） |
| 濾材容積 | 142 – 4,248 L（單層 12″ 深床） |
| 面速 | 0.381 m/s（75 FPM） |
| 接觸時間 | 每層 12″ 深床 0.8 秒，可疊 1 – 3 層 |
| 潔淨總壓損 | 單層 850 – 1,275 Pa；雙層 1,175 – 2,025 Pa |
| 微粒濾網 | 前濾 MERV 6／G4、中間濾 MERV 6／G4、末端濾 MERV 14／F8 |
| 馬達範圍 | 0.75 – 15 kW（1.0 – 20.0 HP） |
| 外型範圍 | 高 864 – 4,013、寬 660 – 3,708、長 2,642 – 3,785 mm |
| 重量範圍 | 795 – 3,791 kg |
BS-HDBS 高效深床洗滌器
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 尺寸代號 | 26 / 33 / 39 / 44 / 54 / 62 / 73 / 82 / 90 / 100 |
| 風量範圍 | 476 – 8,840 CMH（280 – 5,200 CFM） |
| 濾材容積 | 0.39 – 5.88 ft³（依箱體尺寸） |
| 單機壓損 | 約 2,100 – 2,500 Pa（8.5″ – 10.0″ WC） |
| 馬達範圍 | 1.5 – 11 kW（2.0 – 15.0 HP） |
| 外型範圍 | 寬 660 – 2,083、長 1,422 – 4,829、高 1,778 – 2,540 mm |
| 重量範圍 | 490 – 2,258 kg |
| 出風型式 | 水平出風／垂直出風 |
BS-DS 桶式洗滌器
| 型號 | 風量 CMH | 桶徑 mm | 桶高 mm | 進氣口 | 濾材容積 m³ | 馬達 kW |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BS-DS-100 | 170 | 600 | 1,220 | DN140 | 0.14 | 0.37 |
| BS-DS-300 | 510 | 760 | 1,525 | DN160 | 0.28 | 1.50 |
| BS-DS-500 | 850 | 915 | 1,525 | DN200 | 0.48 | 1.50 |
| BS-DS-750 | 1,275 | 1,150 | 1,220 | DN200 | 0.76 | 1.50 |
| BS-DS-1000 | 1,700 | 1,320 | 1,525 | DN200 | 1.10 | 2.24 |
電源 380V／3Ø／50Hz。
門板上配置跨接化學濾材段的壓差計與氣流方向標示：
立式機型佔地小，適合機台旁或牆邊擺放。左為標準按鈕盤面，右為觸控盤面加壓差顯示：
立式機型現場實機，底部附腳輪可移動定位：
箱體與外觀
臥式機型的側抽門設計，濾材可整段抽出，不需拆卸風管：
門板上配置跨接化學濾材段的壓差計與氣流方向標示：
立式機型佔地小，適合機台旁或牆邊擺放。左為標準按鈕盤面，右為觸控盤面加壓差顯示：
立式機型現場實機，底部附腳輪可移動定位：
