過濾設備
AMC 化學過濾箱
產品概述
佰聖 AMC 化學過濾箱是把化學濾材、前後段微粒濾網與風機整合在一個可維護箱體內的氣態污染物去除設備。處理對象是 HEPA 攔不下來的分子級污染物 —— 酸、鹼、凝結物、摻雜劑與一般 VOC。
全系列涵蓋六種機型：室內循環的 BS-APS、外氣正壓補氣的 BS-PPS、接在風管上的 BS-SAH 側抽式箱體、處理高濃度的 BS-DBS 深床洗滌器、單段一次到底的 BS-HDBS，以及點源局部抽取的 BS-DS 桶式洗滌器。風量從 170 CMH 的單一藥液槽排氣，到 68,000 CMH 的 MAU 主幹風管都有對應機型。
箱體採鍍鋅鋼板或 SUS304／316，接縫滿焊，前後段濾網與化學濾材皆為側抽門設計，可在不拆風管的狀態下更換。標配跨接化學段的壓差計，用來判讀前濾堵塞與濾材飽和。
濾材配置、箱體材質、法蘭型式與盤面配置皆依現場條件客製；下方選型指南說明四步怎麼走。
產品特性
►**適用污染物**：酸類（HCl、HF、SOx、NOx）、鹼類（NH₃、胺類）、凝結物（BHT、NMP、DOP）、摻雜劑（AsH₃、B₂H₆、BF₃）、一般 VOC
►**風量範圍**：170 – 68,000 CMH（依機型，見下方選型指南）
►**箱體材質**：鍍鋅鋼板／SUS304／SUS316，接縫滿焊，內部無裸露螺牙
►**濾材段**：浸漬活性碳、KMnO₄ 改質氧化鋁、混合床，可多段串聯或分層堆疊
►**微粒濾網**：前濾 G4／MERV 6，後濾 F8／MERV 14（可升級 HEPA H13／H14）
►**維護方式**：側抽門更換，不需拆卸風管；標配跨化學段壓差計
►**電源**：380／460V 三相（BS-DS 為 380V／3Ø／50Hz）
六系列速查
| 系列 | 中文名 | 氣流架構 | 風量範圍 CMH |
|---|---|---|---|
| BS-APS | 循環式淨化機組 | 室內內循環 | 850 – 6,800 |
| BS-PPS | 正壓補氣機組 | 外氣單向送入 | 850 – 6,860 |
| BS-SAH | 側抽式過濾箱 | 風管中繼段 | 850 – 68,000 |
| BS-DBS | 深床洗滌器 | 風管或排氣端 | 510 – 18,350 |
| BS-HDBS | 高效深床洗滌器 | 排氣端 | 476 – 8,840 |
| BS-DS | 桶式洗滌器 | 點源局部抽取 | 170 – 1,700 |
詳細說明
化學過濾箱在處理什麼
HEPA 與 ULPA 濾網靠攔截、慣性撞擊與擴散抓微粒，對 0.1–0.3 μm 的最易穿透粒徑（MPPS）都能做到 99.97% 以上。但氣態分子完全是另一回事：HCl 分子的動力學直徑約 0.3 nm、NH₃ 約 0.26 nm，比 MPPS 小了三個數量級，對濾網來說等同不存在，直接穿透。 這些分子級污染物在半導體業統稱 AMC（Airborne Molecular Contamination，氣態分子污染）。它們造成的不是微粒缺陷，而是光阻 T-top、金屬線腐蝕、晶圓表面霧化、摻雜濃度漂移這類「查不到顆粒卻良率掉」的問題。要處理它們只有一條路 —— 吸附，讓分子在濾材孔隙裡待滿足夠時間，被物理吸附、化學反應或氧化固定下來。 化學過濾箱就是把這件事工程化：把化學濾材連同保護它的前後段微粒濾網、推得動這些壓損的風機，整合成一個能定期更換濾材的箱體。 <!--CHART:amc-housing-anatomy--> 前後兩道微粒濾網常被當成配角，實際上少任何一道，化學濾材的壽命都會腰斷。前濾若讓粉塵通過，粉塵會封住活性碳的孔隙開口，濾材還沒吸飽就先失效；後濾若省掉，化學濾材在氣流沖刷下磨損出的碳粉會直接進入無塵室，變成微粒污染源。六大機型怎麼分
第一刀先切氣流架構 —— 空氣從哪裡來、處理完要送去哪。第二刀再切風量。這兩刀切完通常只剩一到兩個選項。 <!--CHART:amc-housing-types-->怎麼選型
<!--CHART:amc-housing-selection-->第 1 步：定氣流架構
- **室內內循環（BS-APS）** —— 機組擺在無塵室或製程區內，抽室內空氣、處理後送回同一空間。不動外氣、不影響房間壓力平衡，是既有廠房發現 AMC 超標時最快的補救方式。缺點是只能稀釋不能阻絕，室內若有持續散發源，濃度會停在一個平衡點。 - **外氣正壓補氣（BS-PPS）** —— 處理外氣後單向送入房間，同時維持正壓。適合外氣本身就帶酸鹼（鄰近化工廠、海邊、都會區）的場合，把污染擋在門外。這是唯一能真正降低「進房濃度」的架構。 - **風管中繼段（BS-SAH）** —— 純箱體加風機，串在 MAU／AHU 的送風主幹上。優點是一台顧全廠、單位風量成本最低；缺點是要有風管空間，且整廠共用同一組濾材，局部高濃度區得另外處理。 - **排氣端洗滌（BS-DBS／BS-HDBS／BS-DS）** —— 裝在製程排氣側，處理濃度高出室內好幾個數量級的氣體。這一類的重點不是室內空氣品質，而是排放合規與設備防蝕。第 2 步：定風量
三種算法對應三種目的，用錯算法會差好幾倍： - **換氣次數法**（內循環用）：風量 = 空間體積 × 每小時換氣次數。AMC 控制常見取 4–10 ACH；要求嚴格的微影區可到 15 ACH 以上。 - **稀釋法**（有已知散發源時用）：風量 = 散發速率 ÷（目標濃度 − 進氣濃度）。這是唯一能回答「加大風量到底能壓到幾 ppb」的算法，前提是散發速率要量得出來。 - **補氣量法**（正壓補氣用）：風量 = 房間洩漏量 + 製程排氣量 + 設計正壓餘量。實務上正壓餘量常取總量的 10–15%。 算完的風量要再回頭確認面速落在機型的設計區間內 —— 硬把大風量塞進小箱體，接觸時間會不夠。第 3 步：定濾材與接觸時間
先確認要除的是哪一類分子。酸鹼類靠化學吸附、VOC 與凝結物靠物理吸附、摻雜劑要靠氧化，三種機制的濾材不能互相替代。 <!--CHART:amc-housing-media--> 濾材選定後，接觸時間決定去除率。這是選型裡最常被跳過、卻最直接影響成敗的一步： <!--CHART:amc-housing-velocity--> 實務上的分界大致是 —— 進口濃度在 ppb 級走模組式（BS-SAH，接觸時間 0.06–0.19 秒即可）；到了 ppm 級要考慮深床（BS-DBS，0.8 秒以上）；製程排氣那種數十 ppm 以上的，直接上多層深床或 BS-HDBS。第 4 步：定壓損與風機
化學過濾箱的總壓損是三段相加，而且會隨濾材積塵一路往上走。選風機要用「終期壓損」而不是潔淨壓損，否則濾網用到一半風量就掉到設計值以下。 一般把更換壓差設在潔淨值的 1.5–2 倍，風機靜壓要能在那個點還推得出設計風量。這一步若過不了，得回到第 3 步改床深或換機型 —— 不要靠加大馬達硬撐，那只會讓電費與噪音一起上去。規格表
BS-APS 循環式淨化機組
| 型號 | 風量 CMH | 風量 CFM | 馬達 kW (HP) | 外型 高×寬×深 mm | 淨重 kg |
|---|---|---|---|---|---|
| BS-APS-500H | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,438 | 272 |
| BS-APS-1000H | 1,699 | 1,000 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,438 | 295 |
| BS-APS-2000H | 3,398 | 2,000 | 1.5 (2.0) | 719 × 1,204 × 2,438 | 544 |
| BS-APS-4000H | 6,796 | 4,000 | 3.7 (5.0) | 1,321 × 1,204 × 2,794 | 1,043 |
| BS-APS-500V | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 272 |
| BS-APS-1000V | 1,699 | 1,000 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 363 |
| BS-APS-2000V | 3,398 | 2,000 | 1.5 (2.0) | 2,159 × 1,397 × 686 | 590 |
| BS-APS-4000V | 6,796 | 4,000 | 3.7 (5.0) | 2,667 × 1,397 × 1,206 | 782 |
H＝臥式、V＝立式。淨重不含濾材。設計面速 1.27 m/s（250 FPM），二段串聯，接觸時間 0.24 秒，潔淨總壓損約 1,120 Pa。
BS-PPS 正壓補氣機組
| 型號 | 風量 CMH | 風量 CFM | 馬達 kW (HP) | 外型 高×寬×深 mm | 淨重 kg |
|---|---|---|---|---|---|
| BS-PPS-250H | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,616 | 227 |
| BS-PPS-500H | 1,741 | 1,025 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,616 | 238 |
| BS-PPS-1000H | 3,500 | 2,060 | 1.5 (2.0) | 719 × 1,203 × 2,616 | 365 |
| BS-PPS-2000H | 6,864 | 4,040 | 3.7 (5.0) | 1,321 × 1,203 × 3,048 | 500 |
| BS-PPS-250V | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 227 |
| BS-PPS-500V | 1,741 | 1,025 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 238 |
| BS-PPS-1000V | 3,500 | 2,060 | 1.5 (2.0) | 2,159 × 1,397 × 686 | 365 |
| BS-PPS-2000V | 6,864 | 4,040 | 3.7 (5.0) | 2,667 × 1,397 × 1,206 | 455 |
型號數字為模組基準值，實際風量以本表為準。潔淨總壓損約 1,120 Pa。
BS-SAH 側抽式過濾箱（依模組配置）
| 模組配置 | 風量範圍 CMH | 面速 | 接觸時間 | 潔淨總壓損 | 馬達範圍 kW |
|---|---|---|---|---|---|
| PM-12（12″ 板式） | 850 – 34,000 | 1.25 m/s | 0.12 秒 | 777 Pa | 0.75 – 22 |
| PM-18（18″ 板式） | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.06 秒 | 450 Pa | 0.75 – 37 |
| CCF-18（18″ 罐式） | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.192 秒 | 400 Pa | 0.75 – 37 |
| CCF-24（24″ 罐式） | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.192 秒 | 350 Pa | 0.75 – 37 |
電源 380／460V 三相，二段模組配置。外型尺寸依模組數與風量決定，報價時提供外型圖。
BS-DBS 深床洗滌器
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 型號範圍 | BS-DBS-202 ～ BS-DBS-1212 |
| 風量範圍 | 510 – 18,351 CMH（300 – 10,800 CFM） |
| 濾材容積 | 142 – 4,248 L（單層 12″ 深床） |
| 面速 | 0.381 m/s（75 FPM） |
| 接觸時間 | 每層 12″ 深床 0.8 秒，可疊 1 – 3 層 |
| 潔淨總壓損 | 單層 850 – 1,275 Pa；雙層 1,175 – 2,025 Pa |
| 微粒濾網 | 前濾 MERV 6／G4、中間濾 MERV 6／G4、末端濾 MERV 14／F8 |
| 馬達範圍 | 0.75 – 15 kW（1.0 – 20.0 HP） |
| 外型範圍 | 高 864 – 4,013、寬 660 – 3,708、長 2,642 – 3,785 mm |
| 重量範圍 | 795 – 3,791 kg |
BS-HDBS 高效深床洗滌器
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 尺寸代號 | 26 / 33 / 39 / 44 / 54 / 62 / 73 / 82 / 90 / 100 |
| 風量範圍 | 476 – 8,840 CMH（280 – 5,200 CFM） |
| 濾材容積 | 0.39 – 5.88 ft³（依箱體尺寸） |
| 單機壓損 | 約 2,100 – 2,500 Pa（8.5″ – 10.0″ WC） |
| 馬達範圍 | 1.5 – 11 kW（2.0 – 15.0 HP） |
| 外型範圍 | 寬 660 – 2,083、長 1,422 – 4,829、高 1,778 – 2,540 mm |
| 重量範圍 | 490 – 2,258 kg |
| 出風型式 | 水平出風／垂直出風 |
BS-DS 桶式洗滌器
| 型號 | 風量 CMH | 桶徑 mm | 桶高 mm | 進氣口 | 濾材容積 m³ | 馬達 kW |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BS-DS-100 | 170 | 600 | 1,220 | DN140 | 0.14 | 0.37 |
| BS-DS-300 | 510 | 760 | 1,525 | DN160 | 0.28 | 1.50 |
| BS-DS-500 | 850 | 915 | 1,525 | DN200 | 0.48 | 1.50 |
| BS-DS-750 | 1,275 | 1,150 | 1,220 | DN200 | 0.76 | 1.50 |
| BS-DS-1000 | 1,700 | 1,320 | 1,525 | DN200 | 1.10 | 2.24 |
電源 380V／3Ø／50Hz。
門板上配置跨接化學濾材段的壓差計與氣流方向標示：
立式機型佔地小，適合機台旁或牆邊擺放。左為標準按鈕盤面，右為觸控盤面加壓差顯示：
立式機型現場實機，底部附腳輪可移動定位：
箱體與外觀
臥式機型的側抽門設計，濾材可整段抽出，不需拆卸風管：
門板上配置跨接化學濾材段的壓差計與氣流方向標示：
立式機型佔地小，適合機台旁或牆邊擺放。左為標準按鈕盤面，右為觸控盤面加壓差顯示：
立式機型現場實機，底部附腳輪可移動定位：
