Código de producto：amc-chemical-filtration-equipmentEquipos de filtraciónEquipos de filtración química
Equipos de filtración
Caja portafiltros química AMC
Descripción del producto
La caja portafiltros química AMC de Baisheng integra en una única envolvente registrable el medio químico, los filtros de partículas aguas arriba y aguas abajo y el ventilador, para eliminar los contaminantes gaseosos. Su objetivo son las moléculas que el HEPA no puede detener: ácidos, bases, condensables, dopantes y COV en general.
La gama abarca seis familias de modelos: BS-APS para recirculación interior, BS-PPS para presurización positiva de paso único, cajas de acceso lateral BS-SAH montadas en conducto, lavadores de lecho profundo BS-DBS para concentraciones elevadas, BS-HDBS para tratamiento de paso único y lavadores de tambor BS-DS para extracción localizada. El caudal va desde 170 CMH para la extracción de un único baño químico hasta 68 000 CMH en un colector de MAU.
Las envolventes son de acero galvanizado o de SUS304/316 con costuras totalmente soldadas. Tanto las etapas de partículas como el medio químico son de acceso lateral, por lo que se cambian sin desmontar el conducto. Se incluye de serie un manómetro de ΔP sobre la etapa química, que permite distinguir la colmatación del prefiltro de la saturación del medio.
La configuración del medio, el material de la envolvente, el tipo de brida y la disposición de los paneles se ajustan a las condiciones de la instalación. La guía de selección siguiente recorre los cuatro pasos.
Características y especificaciones
►**Contaminantes objetivo**: ácidos (HCl, HF, SOx, NOx), bases (NH₃, aminas), condensables (BHT, NMP, DOP), dopantes (AsH₃, B₂H₆, BF₃), COV en general
►**Rango de caudal**: 170 – 68.000 CMH (según modelo; ver la guía de selección más abajo)
►**Material de la envolvente**: acero galvanizado / SUS304 / SUS316, costuras totalmente soldadas, sin roscas expuestas en el interior
►**Etapa química**: carbón activado impregnado, alúmina tratada con KMnO₄, lechos mixtos; las etapas pueden disponerse en serie o en capas
►**Filtros de partículas**: prefiltro G4/MERV 6, filtro posterior F8/MERV 14 (ampliable a HEPA H13/H14)
►**Mantenimiento**: cambio por puerta de acceso lateral, sin desmontar conducto; manómetro de ΔP sobre la etapa química de serie
►**Alimentación**: trifásica 380/460V (el BS-DS es 380V/3Ø/50Hz)
Las seis familias de un vistazo
| Familia | Nombre | Disposición del caudal | Rango de caudal CMH |
|---|---|---|---|
| BS-APS | Purificador de recirculación de aire | Recirculación interior | 850 – 6.800 |
| BS-PPS | Unidad de presurización positiva | Paso único con aire exterior | 850 – 6.860 |
| BS-SAH | Carcasa de acceso lateral | Sección en conducto | 850 – 68.000 |
| BS-DBS | Lavador de lecho profundo | Lado de conducto o extracción | 510 – 18.350 |
| BS-HDBS | Lavador de lecho profundo alto | Lado de extracción | 476 – 8.840 |
| BS-DS | Lavador de tambor | Extracción localizada | 170 – 1.700 |
Descripción detallada
Qué trata una caja portafiltros química
Los filtros HEPA y ULPA alcanzan el 99,97% o más en el tamaño de partícula de máxima penetración de 0,1–0,3 μm. Las moléculas gaseosas son harina de otro costal: el HCl tiene un diámetro cinético de unos 0,3 nm y el NH₃ de unos 0,26 nm, tres órdenes de magnitud por debajo del MPPS. Para el filtro, prácticamente no existen, y lo atraviesan sin más. En la industria de semiconductores, estos contaminantes moleculares se agrupan bajo el nombre de AMC (Airborne Molecular Contamination). Lo que provocan no son defectos de partículas, sino T-topping de la fotorresina, corrosión de las líneas metálicas, empañamiento de la superficie de la oblea y deriva en la concentración de dopantes: el tipo de problema en el que no se encuentra ninguna partícula y aun así el rendimiento cae. La única forma de eliminar moléculas es la adsorción: la molécula debe permanecer en el poro del medio el tiempo suficiente para quedar fijada por fisisorción, reacción química u oxidación. Una caja portafiltros química es ese requisito llevado a la ingeniería: medio químico, los filtros de partículas que lo protegen y un ventilador capaz de vencer las tres etapas, integrados en una envolvente cuyo medio puede sustituirse de forma programada.Inside a Chemical Filter Housing: Three Stages
Air passes the pre-filter, then the chemical media, then the after-filter, before the fan pushes it out
The chemical media stage is the only one that trades time for efficiency — particulate filters intercept, chemical media adsorbs, and a molecule has to stay inside the pore long enough to be captured. The parameter to lock down during selection is therefore residence time, not media weight.
Cómo distinguir las seis familias
Corte primero por la disposición del caudal: de dónde viene el aire y adónde va después del tratamiento. Corte en segundo lugar por el caudal. Esos dos cortes suelen dejar una o dos opciones.Airflow, Residence Time and Typical Application
Cut first on where the air comes from and where it goes, then on airflow — those two cuts usually leave one or two options
| Model | Airflow arrangement | Airflow range | Media depth / residence time | Clean total ΔP | Typical application |
|---|---|---|---|---|---|
BS-APS Recirculating air purifier | Indoor recirculation | 850–6,800 CMH (500–4,000 CFM) | 2 passes in series / 0.24 s | approx. 1,120 Pa | Lower AMC inside the cleanroom; retrofit into existing plants |
BS-PPS Positive pressurization unit | Once-through outside air | 850–6,860 CMH (500–4,040 CFM) | 2 passes in series / 0.24 s | approx. 1,120 Pa | Hold room positive pressure; scrub outside air before it enters |
BS-SAH Side access housing | In-duct section | 850–68,000 CMH (500–40,000 CFM) | 12″/18″ modules / 0.06–0.19 s | 350–780 Pa | Mounted on MAU/AHU ducting; high airflow, low concentration |
BS-DBS Deep bed scrubber | In-duct or exhaust side | 510–18,350 CMH (300–10,800 CFM) | 12″ deep bed ×1–3 / 0.8–2.4 s | 850–2,025 Pa (1–2 beds) | Process exhaust, high acid/base loading, high removal required |
BS-HDBS High deep bed scrubber | Exhaust side | 476–8,840 CMH (280–5,200 CFM) | Extended bed height / deepest configuration | 2,100–2,500 Pa | Single high-concentration point needing one-pass treatment |
BS-DS Drum scrubber | Local point extraction | 170–1,700 CMH (100–1,000 CFM) | 0.14–1.10 m³ media drum | Depends on media | Chemical baths, local exhaust points, temporary treatment |
Residence time is the column most often skipped and the one that most decides removal efficiency. At the same 3,400 CMH, a side-access panel module gives only 0.06 s while a single-bed deep bed scrubber gives 0.8 s — more than tenfold apart, covering completely different concentration ranges. Low concentration with high airflow goes to modules; high concentration with low airflow goes to deep beds.
Cómo seleccionar
Four Selection Steps — In This Order
Arrangement → airflow → media and residence time → pressure drop and fan; each step feeds the next
The usual derailment is jumping from step 2 to step 4: the model gets picked to suit existing ducting, and only then does it turn out residence time is short. Deepening the media is the only fix, pressure drop climbs, and now the fan has to be reselected and the power feed re-run. Get the residence time in step 3 right and the fan in step 4 is chosen correctly the first time.
Paso 1: fijar la disposición del caudal
- **Recirculación interior (BS-APS)**: la unidad se sitúa dentro de la sala limpia o la zona de proceso, toma el aire de la sala y lo devuelve tratado al mismo espacio. No altera el aire exterior ni el equilibrio de presión de la sala, lo que la convierte en el remedio más rápido cuando una instalación existente detecta un AMC fuera de especificación. Su límite es que diluye en lugar de bloquear: con una fuente interior continua, la concentración se estabiliza en un equilibrio. - **Presurización positiva de paso único (BS-PPS)**: trata el aire exterior y lo aporta en un único sentido a la sala mientras mantiene la presión positiva. Adecuada para emplazamientos donde el propio aire exterior transporta ácidos o bases (cerca de plantas químicas, zonas costeras, urbanas), manteniendo la contaminación fuera de la puerta. Es la única disposición que reduce realmente la concentración que entra en la sala. - **Sección en conducto (BS-SAH)**: una carcasa más un ventilador, en serie en el colector de aportación de la MAU/UTA. Una sola unidad cubre toda la planta al menor coste por unidad de caudal; la contrapartida es el espacio de conducto necesario y un único juego de medio compartido por toda la planta, por lo que las zonas de concentración localmente alta siguen necesitando un tratamiento aparte. - **Lavado en el lado de extracción (BS-DBS / BS-HDBS / BS-DS)**: instalado en el lado de extracción del proceso, trata gases con concentraciones órdenes de magnitud mayores que el aire de la sala. Aquí el objetivo no es la calidad del aire interior sino el cumplimiento de emisiones y la protección de los equipos frente a la corrosión.Paso 2: fijar el caudal
Tres métodos para tres propósitos; usar el equivocado desvía el resultado varias veces: - **Método de renovaciones de aire** (recirculación): caudal = volumen de la sala × renovaciones por hora. El control de AMC suele exigir de 4 a 10 ACH; las zonas de litografía estrictas pueden superar 15 ACH. - **Método de dilución** (fuente conocida): caudal = tasa de emisión ÷ (concentración objetivo − concentración de entrada). Es el único método que responde a cuánto bajará realmente la concentración para un caudal dado, siempre que pueda medirse la tasa de emisión. - **Método del volumen de reposición** (presurización positiva): caudal = fuga de la sala + extracción de proceso + margen de presión positiva. En la práctica, el margen suele ser del 10 al 15% del total. Una vez calculado, contraste el caudal con el rango de velocidad frontal de diseño del modelo: forzar un caudal grande en una carcasa pequeña deja un tiempo de residencia corto.Paso 3: fijar el medio y el tiempo de residencia
Primero identifique qué clase de molécula hay que eliminar. Los ácidos y las bases dependen de la quimisorción, los COV y los condensables de la fisisorción, los dopantes de la oxidación; los tres mecanismos no son intercambiables.Contaminant Class → Media Configuration → Suggested Model
Split by the four SEMI F21 classes; each adsorbs by a different mechanism, so the media are not interchangeable
| Class | Common species | Media configuration | Adsorption mechanism | Suggested model |
|---|---|---|---|---|
| Acids MA | HCl, HF, H₂SO₄, NOx, SOx | Alkali-impregnated carbon (KOH / K₂CO₃) | Chemisorption: neutralised, then fixed on the carbon surface | BS-APS / BS-PPS / BS-SAH |
| Bases MB | NH₃, amines, NMP | Acid-impregnated carbon (H₃PO₄ / citric acid) | Chemisorption: forms a salt with the acidic functional group | BS-APS / BS-PPS / BS-SAH |
| Condensables MC | BHT, NMP, DOP (boiling point >150°C) | High surface area coconut shell carbon | Physisorption: pore structure and van der Waals forces | BS-SAH / BS-DBS |
| Dopants MD | AsH₃, B₂H₆, BF₃, TEP | KMnO₄-treated alumina + blended bed | Oxidation: oxidised first, then fixed — irreversible | BS-DBS / BS-HDBS |
| General VOC | Toluene, acetone, IPA, ethyl acetate | Non-impregnated carbon (granular or honeycomb) | Physisorption: recovery worth considering at high concentration | BS-SAH / BS-DBS / BS-DS |
Real plants almost never have just one class of contaminant, so the chemical stage is usually built as a blended bed (different media layered) or several stages in series. Watch out for one constraint: acidic and alkaline media placed in the same layer neutralise each other and both go dead, so they must be separated into different layers or stages — the limitation most often overlooked when configuring.
Face Velocity, Residence Time and ΔP: Change One and All Three Move
At the same airflow, raising face velocity shrinks the housing — at the cost of shorter residence time and lower removal
| Configuration | Media depth | Face velocity | Residence time | Clean ΔP | Suited concentration | Relative residence time |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BS-SAH PM-18 | 18″ (457 mm) | 2.50 m/s (500 FPM) | 0.06 s | 450 Pa | Low concentration, high airflow | |
| BS-SAH PM-12 | 12″ (305 mm) | 1.25 m/s (250 FPM) | 0.12 s | 777 Pa | Low concentration | |
| BS-SAH CCF-18/24 | 18″/24″ canister | 2.50 m/s (500 FPM) | 0.192 s | 350–400 Pa | Low to medium concentration | |
| BS-APS / BS-PPS | 2 passes in series | 1.27 m/s (250 FPM) | 0.24 s | approx. 1,120 Pa | Medium concentration, indoor recirculation | |
| BS-DBS single bed | 12″ deep bed ×1 | 0.38 m/s (75 FPM) | 0.8 s | 850–1,275 Pa | High concentration | |
| BS-DBS triple bed | 12″ deep bed ×3 | 0.38 m/s (75 FPM) | 2.4 s | over 2,025 Pa | Very high concentration, process exhaust |
For deep beds, residence time = bed depth ÷ face velocity (a 12″ bed at 0.381 m/s gives 0.8 s). For panel and canister modules, what counts is the actual media thickness rather than module depth, so a 12″ module has far less residence time than a 12″ deep bed. There are only two ways to lengthen residence time: deepen the bed (bigger housing, higher ΔP) or lower the face velocity (more face area at the same airflow, so again a bigger housing). No chemical filter housing is simultaneously small, deep and low-ΔP — selection is picking an acceptable trade among the three.
Paso 4: fijar el ΔP y el ventilador
La caída de presión total es la suma de las tres etapas, y crece de forma constante a medida que el medio se carga. Seleccione el ventilador según la caída de presión final, no el valor en limpio, o el caudal caerá por debajo del diseño a mitad de la vida del filtro. El ΔP de cambio suele fijarse entre 1,5 y 2 veces el valor en limpio, y la presión estática del ventilador debe seguir aportando el caudal de diseño en ese punto. Si este paso no cuadra, vuelva al paso 3 y cambie la profundidad del lecho o el modelo; no se limite a montar un motor más grande, que solo eleva a la vez el consumo eléctrico y el ruido.Especificaciones
Purificador de recirculación de aire BS-APS
| Modelo | Caudal CMH | Caudal CFM | Motor kW (HP) | Dimensiones Al×An×P mm | Peso neto kg |
|---|---|---|---|---|---|
| BS-APS-500H | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,438 | 272 |
| BS-APS-1000H | 1,699 | 1,000 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,438 | 295 |
| BS-APS-2000H | 3,398 | 2,000 | 1.5 (2.0) | 719 × 1,204 × 2,438 | 544 |
| BS-APS-4000H | 6,796 | 4,000 | 3.7 (5.0) | 1,321 × 1,204 × 2,794 | 1,043 |
| BS-APS-500V | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 272 |
| BS-APS-1000V | 1,699 | 1,000 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 363 |
| BS-APS-2000V | 3,398 | 2,000 | 1.5 (2.0) | 2,159 × 1,397 × 686 | 590 |
| BS-APS-4000V | 6,796 | 4,000 | 3.7 (5.0) | 2,667 × 1,397 × 1,206 | 782 |
H = horizontal, V = vertical. El peso neto no incluye el medio. Velocidad frontal de diseño 1,27 m/s (250 FPM), dos pasos en serie, tiempo de residencia 0,24 s, ΔP total en limpio aprox. 1.120 Pa.
Unidad de presurización positiva BS-PPS
| Modelo | Caudal CMH | Caudal CFM | Motor kW (HP) | Dimensiones Al×An×P mm | Peso neto kg |
|---|---|---|---|---|---|
| BS-PPS-250H | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,616 | 227 |
| BS-PPS-500H | 1,741 | 1,025 | 0.75 (1.0) | 719 × 602 × 2,616 | 238 |
| BS-PPS-1000H | 3,500 | 2,060 | 1.5 (2.0) | 719 × 1,203 × 2,616 | 365 |
| BS-PPS-2000H | 6,864 | 4,040 | 3.7 (5.0) | 1,321 × 1,203 × 3,048 | 500 |
| BS-PPS-250V | 850 | 500 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 227 |
| BS-PPS-500V | 1,741 | 1,025 | 0.75 (1.0) | 2,159 × 686 × 686 | 238 |
| BS-PPS-1000V | 3,500 | 2,060 | 1.5 (2.0) | 2,159 × 1,397 × 686 | 365 |
| BS-PPS-2000V | 6,864 | 4,040 | 3.7 (5.0) | 2,667 × 1,397 × 1,206 | 455 |
Los números de modelo son valores de referencia por módulo; el caudal real es el de esta tabla. ΔP total en limpio aprox. 1.120 Pa.
Carcasa de acceso lateral BS-SAH (por configuración de módulo)
| Configuración de módulo | Rango de caudal CMH | Velocidad frontal | Tiempo de residencia | ΔP total en limpio | Rango de motor kW |
|---|---|---|---|---|---|
| PM-12 (panel de 12″) | 850 – 34,000 | 1.25 m/s | 0.12 s | 777 Pa | 0.75 – 22 |
| PM-18 (panel de 18″) | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.06 s | 450 Pa | 0.75 – 37 |
| CCF-18 (cartucho de 18″) | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.192 s | 400 Pa | 0.75 – 37 |
| CCF-24 (cartucho de 24″) | 1,700 – 68,000 | 2.50 m/s | 0.192 s | 350 Pa | 0.75 – 37 |
Alimentación trifásica 380/460V, configuración de módulo de dos etapas. Las dimensiones globales dependen del número de módulos y del caudal; se entrega un plano dimensional con la cotización.
Lavador de lecho profundo BS-DBS
| Concepto | Especificación |
|---|---|
| Rango de modelos | BS-DBS-202 a BS-DBS-1212 |
| Rango de caudal | 510 – 18,351 CMH (300 – 10,800 CFM) |
| Volumen de medio | 142 – 4,248 L (lecho profundo simple de 12″) |
| Velocidad frontal | 0.381 m/s (75 FPM) |
| Tiempo de residencia | 0,8 s por lecho profundo de 12″, apilable de 1 a 3 lechos |
| ΔP total en limpio | un lecho 850 – 1,275 Pa; dos lechos 1,175 – 2,025 Pa |
| Filtros de partículas | prefiltro MERV 6/G4, intermedio MERV 6/G4, final MERV 14/F8 |
| Rango de motor | 0.75 – 15 kW (1.0 – 20.0 HP) |
| Rango dimensional | altura 864 – 4,013, ancho 660 – 3,708, longitud 2,642 – 3,785 mm |
| Rango de peso | 795 – 3,791 kg |
Lavador de lecho profundo alto BS-HDBS
| Concepto | Especificación |
|---|---|
| Códigos de tamaño | 26 / 33 / 39 / 44 / 54 / 62 / 73 / 82 / 90 / 100 |
| Rango de caudal | 476 – 8,840 CMH (280 – 5,200 CFM) |
| Volumen de medio | 0.39 – 5.88 ft³ (según tamaño de envolvente) |
| Caída de presión unitaria | aprox. 2,100 – 2,500 Pa (8.5″ – 10.0″ CA) |
| Rango de motor | 1.5 – 11 kW (2.0 – 15.0 HP) |
| Rango dimensional | ancho 660 – 2,083, longitud 1,422 – 4,829, altura 1,778 – 2,540 mm |
| Rango de peso | 490 – 2,258 kg |
| Tipo de descarga | descarga horizontal / descarga vertical |
Lavador de tambor BS-DS
| Modelo | Caudal CMH | Diám. del recipiente mm | Altura del recipiente mm | Entrada | Volumen de medio m³ | Motor kW |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BS-DS-100 | 170 | 600 | 1,220 | DN140 | 0.14 | 0.37 |
| BS-DS-300 | 510 | 760 | 1,525 | DN160 | 0.28 | 1.50 |
| BS-DS-500 | 850 | 915 | 1,525 | DN200 | 0.48 | 1.50 |
| BS-DS-750 | 1,275 | 1,150 | 1,220 | DN200 | 0.76 | 1.50 |
| BS-DS-1000 | 1,700 | 1,320 | 1,525 | DN200 | 1.10 | 2.24 |
Alimentación 380V/3Ø/50Hz.
El panel de la puerta incorpora el manómetro de ΔP sobre la etapa de medio químico y un indicador del sentido del flujo de aire:
Los modelos verticales tienen una huella reducida, adecuados para colocarse junto a un equipo o contra una pared. A la izquierda, el panel estándar de pulsadores; a la derecha, el panel táctil con indicación de ΔP:
Un modelo vertical instalado en obra, con ruedas en la base para facilitar su reubicación:
Envolvente y aspecto
Las puertas de acceso lateral del modelo horizontal permiten extraer el medio como una sección completa sin desmontar el conducto:
El panel de la puerta incorpora el manómetro de ΔP sobre la etapa de medio químico y un indicador del sentido del flujo de aire:
Los modelos verticales tienen una huella reducida, adecuados para colocarse junto a un equipo o contra una pared. A la izquierda, el panel estándar de pulsadores; a la derecha, el panel táctil con indicación de ΔP:
Un modelo vertical instalado en obra, con ruedas en la base para facilitar su reubicación:
Notas de instalación y mantenimiento
**Instalación** - Los modelos verticales necesitan espacio de servicio por todo el perímetro: 800 mm o más en la parte frontal para que la puerta de acceso lateral se abra por completo, y 300 mm o más a cada lado y en la parte trasera. - Los modelos horizontales necesitan un tramo recto de conducto antes y después de la conexión (se recomienda 1,5 diámetros de conducto o más), para que un codo pegado a la carcasa no desvíe el flujo y sature antes un lado del medio. - Se recomienda un conector flexible (manguito de lona) entre el conducto y la carcasa para aislar la vibración del ventilador. - En los modelos del lado de extracción (BS-DBS/BS-HDBS) que tratan gas ácido, confirme también la clasificación de resistencia a la corrosión del conducto y la salida de extracción; no proteja frente a la corrosión únicamente la envolvente. **Mantenimiento** - El manómetro de ΔP es el único indicador del día a día, pero las dos señales de fallo son distintas: **el ΔP en aumento** indica que el prefiltro está cargado de polvo y toca cambiarlo; **el ΔP estable con la concentración de salida en aumento** indica que el medio químico está saturado. La saturación del medio no se refleja en absoluto en el ΔP, y este es el punto que con más frecuencia se interpreta mal. - La vida del medio químico no puede deducirse de un calendario; depende de la concentración de entrada y del caudal. Determinar con precisión el momento del cambio exige un muestreo periódico de la concentración de salida, o enviar el medio a analizar la capacidad de adsorción restante. - Los prefiltros normalmente se cambian con mucha más frecuencia que el medio químico (meses frente a años), por lo que especificar un prefiltro de grado superior resulta poco económico: la función del prefiltro es sacrificarse a bajo coste. - Al cambiar el medio químico, tenga en cuenta el orden de las capas: los medios ácido y alcalino no deben compartir capa, ya que se neutralizan entre sí y ambos quedan inutilizados.Referencias de selección
Antes de pedir, verifique el grado de eficiencia, el tipo de medio filtrante y si el entorno de trabajo se ajusta a sus requisitos.
