Gas Purifiers
二氧化碳純化器（催化型）
Product Overview
在吸附桶前串聯高溫催化桶的二氧化碳純化器。催化桶在高溫下工作、無需再生；後段多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作。相較於純吸附式的 BSS32，可額外去除 CH₄。流量 10～700 Nm³/h，使用壽命 20 年以上。
Features & Specifications
指標表（適用氣體：CO₂）
| 雜質 | BSS33 出口 (ppb) |
|---|---|
| 工藝 | CAT+ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | < 1 |
| 總揮發性酸 (as SO₂) | < 0.005 |
| 總揮發性鹼 (as NH₃) | < 0.5 |
| 可凝結有機物 (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 |
| 不可凝結有機物 (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 |
| 難熔化合物 (as HMDSO) | < 0.005 |
| 微粒 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | 10–700 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
Detailed Description
工藝介紹
BSS33 系列是 BSS32 的催化強化版本。氣流先經過前段的催化桶：催化桶在高溫下工作，把甲烷等穩定的碳氫化合物轉化成易吸附的產物，這一段無需再生也不需要更換。之後再進入後段多個並聯的吸附桶，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，達成 24 小時不間斷供氣。 流量範圍與 BSS32 相同（10～700 Nm³/h），指標表上的差別只有一項：CH₄ 從「不處理」變成 < 1 ppb。
什麼時候需要催化段
甲烷是非極性的對稱分子，化學上相當惰性，常溫吸附劑抓不住 —— 這是純吸附式的物理極限。二氧化碳氣源裡的甲烷來源通常有兩種：一是原料氣本身的背景（例如來自發酵或天然氣伴生的 CO₂），二是回收再利用的製程氣。 若製程對總碳（TC／THC）有明確規格，或下游是高溫製程（甲烷可能分解並留下碳殘留），就需要催化段。反之，若氣源分析顯示甲烷背景本來就很低、製程也不敏感，選 BSS32 即可，系統更單純、熱負荷也更低。產品特點
・前段催化桶無需再生、無需更換，維護負擔集中在後段吸附桶 ・CH₄ 出口 < 1 ppb，其餘指標與 BSS32 一致 ・總揮發性酸與難熔化合物同樣壓到 < 0.005 ppb ・全自動運行，24 小時不間斷供氣 ・配置爆破片及安全閥卸壓、高溫機械連鎖與報警功能適用製程與產業
・對總碳有明確規格的晶圓清洗與乾燥製程 ・氣源來自回收或再利用、甲烷背景偏高的產線 ・高溫沉積製程的 CO₂ 供應：避免碳氫化合物在高溫下分解殘留 ・電子級 CO₂ 分裝站：處理來源不一的原料氣 ・部分分析與計量應用：需要低碳背景的工作氣體現場配置與安裝要點
・催化段的熱負荷高於純吸附式：電力條件與散熱空間要先確認 ・前段催化不可繞過：旁通設計時要注意，繞過催化桶等於退回 BSS32 的除雜能力 ・相態管理：與 BSS32 相同，要避免局部節流造成乾冰堵塞，上游氣化能力要足夠 ・窒息風險：CO₂ 比空氣重會積聚在低窪處，設備間需通風與含氧量監測 ・再生排氣路徑：後段吸附桶再生時的排氣須導至安全排放點 ・出口端需具備總碳或甲烷分析能力：一般水氧分析儀看不到甲烷維護與再生
・催化桶：設計上無需再生與更換，日常確認溫控與壓差正常即可 ・吸附桶：由 PLC 自動排程再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・若氣源出現設計外的污染（例如硫化物），催化材料有中毒失活風險，氣源條件變動時要重新確認 ・年度歲修建議項目：閥件動作測試、溫控與感測器校驗、安全閥與爆破片檢查與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | CH₄ 出口 | 熱負荷 | 適用場合 |
|---|---|---|---|---|
| BSS33（本機種） | CAT+ADS | < 1 ppb | 較高 | 氣源含甲烷、製程管制總碳 |
| BSS32 | ADS | 不處理 | 較低 | 甲烷背景低、製程不敏感 |
| BSS32-SC | ADS | 不處理 | 較低 | 超臨界乾燥專用 |
