เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์ (แบบเร่งปฏิกิริยา)
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์คาร์บอนไดออกไซด์ที่มีถังเร่งปฏิกิริยาอุณหภูมิสูงต่ออนุกรมไว้หน้าถังดูดซับ ถังเร่งปฏิกิริยาทำงานที่อุณหภูมิสูงและไม่ต้องรีเจน ส่วนด้านหลังใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนาน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง เมื่อเทียบกับ BSS32 แบบดูดซับล้วน รุ่นนี้กำจัด CH₄ ได้เพิ่ม อัตราการไหล 10–700 Nm³/h อายุใช้งานกว่า 20 ปี
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: CO₂)
| สิ่งเจือปน | BSS33 ทางออก (ppb) |
|---|---|
| เทคโนโลยี | CAT+ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | < 1 |
| กรดระเหยรวม (as SO₂) | < 0.005 |
| ด่างระเหยรวม (as NH₃) | < 0.5 |
| สารอินทรีย์ควบแน่นได้ (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 |
| สารอินทรีย์ควบแน่นไม่ได้ (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 |
| สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) | < 0.005 |
| อนุภาค PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | 10–700 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
แนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS33 คือเวอร์ชันเสริมตัวเร่งปฏิกิริยาของ BSS32 ก๊าซจะผ่านถังเร่งปฏิกิริยาด้านหน้าก่อน ซึ่งทำงานที่อุณหภูมิสูงเพื่อเปลี่ยนมีเทนและไฮโดรคาร์บอนเสถียรอื่น ๆ ให้เป็นผลิตภัณฑ์ที่ดูดซับง่าย ช่วงนี้ไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน จากนั้นก๊าซจึงเข้าสู่ถังดูดซับหลายถังที่ต่อขนานกันด้านหลัง ซึ่งสลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง เพื่อจ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ช่วงอัตราการไหลเท่ากับ BSS32 (10–700 Nm³/h) และในตารางชี้วัดต่างกันเพียงรายการเดียว คือ CH₄ เปลี่ยนจาก "ไม่จัดการ" เป็น < 1 ppb
เมื่อใดจึงต้องมีช่วงเร่งปฏิกิริยา
มีเทนเป็นโมเลกุลสมมาตรไม่มีขั้วและค่อนข้างเฉื่อยทางเคมี สารดูดซับที่อุณหภูมิปกติจึงจับไม่อยู่ นี่คือข้อจำกัดทางกายภาพของการดูดซับล้วน มีเทนในแหล่งก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์มักมาจากสองทาง ทางหนึ่งคือพื้นฐานของก๊าซดิบเอง (เช่น CO₂ จากการหมักหรือที่มาพร้อมก๊าซธรรมชาติ) อีกทางคือก๊าซกระบวนการที่นำกลับมาใช้ใหม่ หากกระบวนการมีข้อกำหนดชัดเจนเรื่องคาร์บอนรวม (TC/THC) หรือขั้นตอนถัดไปเป็นกระบวนการอุณหภูมิสูง (มีเทนอาจสลายตัวและทิ้งคราบคาร์บอน) ก็จำเป็นต้องมีช่วงเร่งปฏิกิริยา ในทางกลับกัน ถ้าผลวิเคราะห์ก๊าซแสดงว่าพื้นฐานมีเทนต่ำอยู่แล้วและกระบวนการก็ไม่ไว เลือก BSS32 ก็เพียงพอ ระบบเรียบง่ายกว่าและภาระความร้อนต่ำกว่าจุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ถังเร่งปฏิกิริยาด้านหน้าไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน ภาระบำรุงรักษาจึงรวมอยู่ที่ถังดูดซับด้านหลัง ・CH₄ ทางออก < 1 ppb ตัวเลขอื่นเหมือนกับ BSS32 ทุกประการ ・กรดระเหยรวมและสารประกอบทนไฟก็กดไว้ที่ < 0.005 ppb เช่นกัน ・ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ・มีแผ่นระเบิดและวาล์วนิรภัยระบายความดัน อินเตอร์ล็อกเชิงกลอุณหภูมิสูงและระบบแจ้งเตือนกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・กระบวนการล้างและทำแห้งเวเฟอร์ที่มีข้อกำหนดชัดเจนเรื่องคาร์บอนรวม ・สายการผลิตที่แหล่งก๊าซมาจากการนำกลับมาใช้ใหม่และมีพื้นฐานมีเทนสูง ・การจ่าย CO₂ ให้กระบวนการเคลือบที่อุณหภูมิสูง: เลี่ยงคราบตกค้างจากการสลายตัวของไฮโดรคาร์บอน ・สถานีแบ่งบรรจุ CO₂ เกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่รับก๊าซดิบจากหลายแหล่ง ・งานวิเคราะห์และมาตรวิทยาบางประเภทที่ต้องการก๊าซทำงานพื้นฐานคาร์บอนต่ำการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・ภาระความร้อนของส่วนเร่งปฏิกิริยาสูงกว่าแบบดูดซับล้วน: ต้องยืนยันเงื่อนไขไฟฟ้าและพื้นที่ระบายความร้อนก่อน ・ห้ามบายพาสส่วนเร่งปฏิกิริยาด้านหน้า: ต้องระวังตอนออกแบบบายพาส เพราะการอ้อมถังเร่งปฏิกิริยาเท่ากับถอยกลับไปเป็นความสามารถของ BSS32 ・การจัดการสถานะ: เช่นเดียวกับ BSS32 ต้องเลี่ยงการหรี่เฉพาะจุดที่ทำให้น้ำแข็งแห้งอุดตัน และต้องมีกำลังการระเหยด้านต้นทางเพียงพอ ・ความเสี่ยงขาดอากาศหายใจ: CO₂ หนักกว่าอากาศและสะสมในที่ต่ำ ห้องอุปกรณ์จึงต้องมีการระบายอากาศและการเฝ้าระวังปริมาณออกซิเจน ・เส้นทางก๊าซทิ้งจากการรีเจน: ก๊าซที่ปล่อยตอนรีเจนถังดูดซับด้านหลังต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・ทางออกต้องมีความสามารถวิเคราะห์คาร์บอนรวมหรือมีเทน: เครื่องวิเคราะห์ความชื้นและออกซิเจนทั่วไปมองไม่เห็นมีเทนการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังเร่งปฏิกิริยา: ตามการออกแบบไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน ประจำวันเพียงยืนยันว่าการควบคุมอุณหภูมิและความดันแตกต่างเป็นปกติก็พอ ・ถังดูดซับ: PLC จัดตารางรีเจนอัตโนมัติ วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・หากแหล่งก๊าซมีการปนเปื้อนนอกขอบเขตการออกแบบ (เช่น สารประกอบกำมะถัน) วัสดุเร่งปฏิกิริยามีความเสี่ยงถูกวางยาจนเสื่อมสภาพ เมื่อเงื่อนไขแหล่งก๊าซเปลี่ยนจึงต้องยืนยันใหม่ ・รายการแนะนำสำหรับการซ่อมบำรุงประจำปี: ทดสอบการทำงานของวาล์ว สอบเทียบการควบคุมอุณหภูมิและเซ็นเซอร์ ตรวจวาล์วนิรภัยและแผ่นระเบิดเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | CH₄ ทางออก | ภาระความร้อน | เหมาะกับงานใด |
|---|---|---|---|---|
| BSS33 (รุ่นนี้) | CAT+ADS | < 1 ppb | สูงกว่า | แหล่งก๊าซมีมีเทน กระบวนการควบคุมคาร์บอนรวม |
| BSS32 | ADS | ไม่จัดการ | ต่ำกว่า | พื้นฐานมีเทนต่ำ กระบวนการไม่ไว |
| BSS32-SC | ADS | ไม่จัดการ | ต่ำกว่า | ใช้เฉพาะการทำแห้งเหนือวิกฤต |
