가스 정제기
이산화탄소 정제기 (촉매형)
제품 개요
흡착탑 앞에 고온 촉매탑을 직렬로 배치한 이산화탄소 정제기입니다. 촉매탑은 고온에서 작동하며 재생이 필요 없고, 후단에서는 다수의 흡착탑이 병렬로 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행합니다. 순수 흡착식인 BSS32 에 비해 CH₄ 도 제거합니다. 유량 10~700 Nm³/h, 사용 수명 20 년 이상입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: CO₂)
| 불순물 | BSS33 출구 (ppb) |
|---|---|
| 방식 | CAT+ADS |
| H₂O | < 1 |
| O₂ | < 1 |
| CO | < 1 |
| H₂ | < 1 |
| CH₄ | < 1 |
| 총 휘발성 산 (as SO₂) | < 0.005 |
| 총 휘발성 염기 (as NH₃) | < 0.5 |
| 응축성 유기물 (HCS>100 amu, as Decane) | < 0.15 |
| 비응축성 유기물 (HCS>58 amu, as Toluene) | < 1 |
| 난용성 화합물 (as HMDSO) | < 0.005 |
| 미립자 PARTICLES | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | 10–700 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
공정 소개
BSS33 시리즈는 BSS32 의 촉매 강화 버전입니다. 가스는 먼저 앞단의 촉매탑을 통과하며, 촉매탑은 고온에서 작동해 메탄과 다른 안정한 탄화수소를 흡착하기 쉬운 생성물로 전환합니다. 이 구간은 재생도 교체도 필요 없습니다. 이후 가스는 후단의 병렬 흡착탑으로 들어가 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 24 시간 무중단 공급을 실현합니다. 유량 범위는 BSS32 와 같고(10~700 Nm³/h) 지표표에서 다른 항목은 단 하나, CH₄ 가 「처리 안 함」에서 < 1 ppb 로 바뀐다는 점뿐입니다.
언제 촉매 단계가 필요한가
메탄은 비극성 대칭 분자이고 화학적으로 상당히 불활성이라 상온 흡착제가 붙잡지 못합니다. 이는 순수 흡착의 물리적 한계입니다. 이산화탄소 가스원의 메탄은 보통 두 곳에서 옵니다. 하나는 원료 가스 자체의 배경(발효 유래나 천연가스 수반 CO₂ 등)이고, 다른 하나는 회수해 재사용하는 공정 가스입니다. 공정에 총탄소(TC/THC) 규격이 명확히 있거나 후단이 고온 공정(메탄이 분해되어 탄소 잔류를 남길 수 있음)이라면 촉매 단계가 필요합니다. 반대로 가스 분석에서 메탄 배경이 원래 낮고 공정도 민감하지 않다면 BSS32 로 충분하며, 시스템이 더 단순하고 열부하도 낮습니다.제품 특징
・앞단 촉매탑은 재생도 교체도 필요 없어 유지보수 부담이 후단 흡착탑에 집중됩니다 ・CH₄ 출구 < 1 ppb 이며 나머지 지표는 BSS32 와 동일합니다 ・총 휘발성 산과 난용성 화합물도 마찬가지로 < 0.005 ppb 로 억제 ・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・파열판과 안전밸브로 방압하고 고온 기계 인터록과 경보 기능을 갖춤적용 공정과 산업
・총탄소 규격이 명확한 웨이퍼 세정·건조 공정 ・가스원이 회수 또는 재사용 유래이고 메탄 배경이 높은 라인 ・고온 증착 공정의 CO₂ 공급: 고온에서 탄화수소가 분해되어 남는 잔류를 회피 ・전자급 CO₂ 분장 스테이션: 출처가 제각각인 원료 가스를 다루는 용도 ・일부 분석·계량 응용: 낮은 탄소 배경의 작동 가스가 필요한 경우현장 배치와 설치 요점
・촉매부의 열부하가 순수 흡착식보다 큼: 전력 조건과 방열 공간을 먼저 확인하십시오 ・앞단 촉매를 우회하지 말 것: 바이패스를 설계할 때 유의하십시오. 촉매탑을 우회하면 BSS32 수준의 제거 능력으로 되돌아갑니다 ・상 관리: BSS32 와 마찬가지로 국부 교축으로 드라이아이스가 막히는 일을 피하고 상류 기화 능력을 충분히 확보해야 합니다 ・질식 위험: CO₂ 는 공기보다 무거워 낮은 곳에 고이므로 설비실에는 환기와 산소 농도 감시가 필요합니다 ・재생 배기 경로: 후단 흡착탑 재생 시의 배기는 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・출구에 총탄소 또는 메탄 분석 능력이 필요: 일반적인 수분·산소 분석기로는 메탄이 보이지 않습니다유지보수와 재생
・촉매탑: 설계상 재생도 교체도 필요 없으며 일상적으로는 온도 제어와 차압이 정상인지만 확인하면 충분합니다 ・흡착탑: PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・가스원에 설계 범위를 벗어난 오염(예: 황화합물)이 생기면 촉매 재료가 피독 실활할 위험이 있으므로, 가스원 조건이 변하면 다시 확인하십시오 ・연차 정기 보수 권장 항목: 밸브 동작 시험, 온도 제어와 센서 교정, 안전밸브와 파열판 점검인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | CH₄ 출구 | 열부하 | 적합한 용도 |
|---|---|---|---|---|
| BSS33 (본 기종) | CAT+ADS | < 1 ppb | 다소 높음 | 가스원에 메탄이 있고 공정이 총탄소를 관리하는 경우 |
| BSS32 | ADS | 처리 안 함 | 다소 낮음 | 메탄 배경이 낮고 공정도 민감하지 않은 경우 |
| BSS32-SC | ADS | 처리 안 함 | 다소 낮음 | 초임계 건조 전용 |
