無塵室照度標準沒有單一數字:ISO 14644 不規定照度,台灣要先符合《職業安全衛生設施規則》第 313 條,電子精密作業再參考 CNS 12112 的 1,500 lux。中國大陸的潔淨廠房規範把一般照明訂在 200~500 lx,日本 JIS 與歐洲 EN 12464-1 對電子精密作業則訂到 1,500 lx。本文把各國規範整理成對照表,並說明照度計算、照度均勻度與驗收量測怎麼做。

無塵室照度標準是多少:一張表看結論

你的情況該看哪一份照度
台灣工廠的法定下限《職業安全衛生設施規則》第 313 條一般辦公場所 300 lux 以上;精密組合、精細檢查 500~1,000 lux 以上
台灣電子廠的設計目標CNS 12112 表 5電子工作室、測試室、調整室 1,500 lux
中國大陸的潔淨廠房GB 50073-2013、GB 50472-2008生產用房間 200~500 lx,電子業 300~500 lx
製藥潔淨室GB 50457-2019、EN 12464-1:2021主要工作室 300 lx;歐洲製藥生產 500 lx
日本與歐洲的電子精密作業JIS Z 9110、EN 12464-1:20211,500 lx

法規給的是下限,設計值由製程的視覺作業決定:要看的東西越細,照度越高。lux(lx,勒克斯)與台灣法規用的「米燭光」是同一個單位;美規常用的呎燭光(fc),1 fc 約等於 10.76 lx。

各規範的無塵室照度要求(lx)

橫條是範圍、圓點是單一數值;潔淨廠房規範的一般照明在 200~500 lx,電子精密作業的照明標準到 1,500 lx。淺色段是 EN 12464-1 視覺條件較差時的修正值

05001,0001,5002,000照度(lx)§313台灣職安設施規則:精密組合、精細檢查≥ 500–1,000CNS 12112電子工作室、測試室、調整室1,500GB 50073-2013潔淨室生產用房間200–500GB 50472-2008電子潔淨廠房主要生產用房間300–500GB/T 50034-2024微電子產品及集成電路500GB 50457-2019製藥潔淨廠房主要工作室300JIS Z 9110電子零件製造的非常精密視作業1,500EN 12464-1:2021電子工場、測試、調整1,500 (2,000)EN 12464-1:2021製藥生產500NASA MSFC-STD-246E潔淨室一般照明750–860

台灣照度標準:職安法規第 313 條與 CNS 12112

俗稱的「職安法照度標準」,條文在《職業安全衛生設施規則》第 313 條第 6 款:自然採光不足時,用人工照明補足到下表的數值。無塵室多半沒有採光窗,等於全時段適用。

場所或作業別(條文用語摘要)照度照明種類
走道、樓梯、倉庫50 米燭光以上全面照明
機械及鍋爐房、更衣室、盥洗室100 米燭光以上全面照明
須細辨物體:零件組合、普通檢查及產品試驗200 米燭光以上局部照明
須精辨物體:較詳細檢查及精密試驗;一般辦公場所300 米燭光以上局部照明;辦公場所為全面照明
須極細辨物體、對比較佳:精密組合、精細檢查500~1,000 米燭光以上局部照明
須極精辨物體、對比不良:極精細儀器組合、檢查、試驗1,000 米燭光以上局部照明

CNS 12112《室內工作場所照明》是設計用的國家標準,給的是維持照度,也就是使用期間內平均照度不能低於的值,同時規定眩光上限 UGR 與演色性 Ra。

CNS 12112 表 5 電氣工業維持照度UGR 上限Ra
組裝工作:粗糙300 lux2580
組裝工作:中等500 lux2280
組裝工作:細密(如電話)750 lux1980
組裝工作:精細(如量測儀器)1,000 lux1680
電子工作室、測試室、調整室1,500 lux1680

網路上常見的「電子零件製造 1,500~3,000 lux」出自 1987 年舊版的範圍表,2012 年修訂版已改成上表的單一維持照度。CNS 12112 另規定連續作業的區域,維持照度不應小於 200 lux。

中國大陸潔淨室照度標準:GB 50073、GB 50472、GB 50034、GB 50457

規範條號區域一般照明照度
GB 50073-2013 潔淨廠房設計規範§9.2.3無採光窗潔淨室的生產用房間200~500 lx
GB 50073-2013§9.2.3輔助用房、人員與物料淨化室、氣閘室、走廊150~300 lx
GB 50472-2008 電子工業潔淨廠房設計規範§12.2.1主要生產用房間300~500 lx
GB 50472-2008§12.2.1輔助工作室、淨化室、氣閘室、走廊200~300 lx
GB/T 50034-2024 建築照明設計標準表 5.4.1微電子產品及集成電路、顯示器件、印製線路板500 lx(UGR 19、均勻度 0.70、Ra 80)
GB/T 50034-2024表 5.4.1製藥生產300 lx(UGR 22、均勻度 0.60、Ra 80)
GB 50457-2019 醫藥工業潔淨廠房設計標準§3.2.6主要工作室300 lx
GB 50457-2019§3.2.6輔助工作室、走廊、氣鎖、人員與物料淨化用室200 lx

GB 50073-2013 §9.2.4 與 GB 50457-2019 §11.2.5 都要求一般照明的照度均勻度不小於 0.7。GB 50073-2013 §9.2.5 另要求潔淨廠房設置備用照明,條文說明給的參考是一般場所不低於正常照明的 1/10。

日本、歐洲與美國的無塵室照明標準

來源適用作業照度
JIS Z 9110 照明基準總則(日本)精密機械、電子零件製造的非常精密視作業1,500 lx
日本照明廠商的無塵室設計資料一般無塵室的作業面約 1,000~2,000 lx
EN 12464-1:2021 表 19(歐洲)精細組裝(電話、收音機、電腦)750 lx,均勻度 0.70、UGR 19
EN 12464-1:2021 表 19精密組裝(量測設備、印刷電路板)1,000 lx,均勻度 0.70、UGR 16
EN 12464-1:2021 表 19電子工場、測試、調整1,500 lx,均勻度 0.70、UGR 16
EN 12464-1:2021 表 18製藥生產500 lx,均勻度 0.60、UGR 22
NASA MSFC-STD-246E(美國,2019)潔淨室一般照明750~860 lx
NASA MSFC-STD-246E污染敏感度高的工作位置約 1,100 lx,可用作業燈補足

EN 12464-1 沒有「無塵室」這一列,要依作業類別對應。2021 年版另給視覺條件較差時用的高一級修正值,例如電子工場由 1,500 lx 提高到 2,000 lx。

ISO 14644 與 GMP 有規定照度嗎:沒有數值

文件對照明的要求lux 數值
ISO 14644-4:2001 附錄 F各區的照度與均勻度應予規定;演色性由買方規定;燈具不得釋出污染,單向流區要減少紊流無,由買賣雙方議定
ISO 14644-3(測試方法)測試項目不含照度無
美國 21 CFR 211.44所有區域應有充足照明無
EU GMP 第 1 部第 3 章照明要適當;生產區要照明良好,特別是線上目視檢查處無
WHO GMP(TRS 986 附錄 2)與 EU GMP 方向相同無

所以「符合 ISO 14644」或「符合 GMP」不代表照度達到某個數字,照度要另外寫進使用者需求規格(URS)與合約。ISO 等級怎麼分,見 ISO 14644-1 無塵室等級對照表。

無塵室照明設計:一般照明加局部照明

高照度值指的是作業面,不是整個房間。《職業安全衛生設施規則》第 313 條把 500 米燭光以上的作業都列為局部照明,GB/T 50034-2024 對部分精密作業也註明應另加局部照明。常見做法是一般照明做到 300~500 lx,檢查站、對位與顯微鏡工位再用作業燈補到 1,000~1,500 lx。

燈具裝在哪,看天花板型式。天花板被 FFU 鋪滿時沒有空格可以嵌燈,掛在龍骨下方、兩片濾網之間的淚滴燈是這類區域的常見做法;四種淚滴燈做法的差異見淚滴燈是什麼、市面 4 種做法比一比。

天花板型式燈具裝在哪設計注意
FFU 滿鋪的單向流區(ISO 4~6)龍骨下方、兩片濾網之間的淚滴燈每條龍骨線一排燈,照度上限要先算
高效送風口加盲板的天花板(ISO 7~8)嵌入式或吸頂式潔淨燈具嵌入時安裝縫隙要可靠密封(GB 50073-2013 §9.2.2)
庫板天花板、沒有龍骨吸頂明裝燈具外殼平滑、不積塵、可擦拭

照度計算公式:用流明法算要裝幾盞

流明法的公式是:燈具數量 = 目標照度 × 面積 ÷(每盞光通量 × 利用係數 × 維護係數)。利用係數是燈具發出的光有多少比例落到作業面,維護係數是把光衰與積塵算進去的折減。下表以利用係數 0.6、維護係數 0.8 這組假設,算每 100 m² 需要的總光通量與盞數:

目標照度每 100 m² 需要的總光通量每盞 2,100 lm 的燈具每盞 4,500 lm 的燈具
300 lx62,500 lm30 盞14 盞
500 lx約 104,000 lm50 盞24 盞
750 lx約 156,000 lm75 盞35 盞
1,000 lx約 208,000 lm100 盞47 盞
1,500 lx312,500 lm149 盞70 盞

維護係數不是固定值:照明廠商手冊引用 CIE 97 的參考值,潔淨室這類非常潔淨的環境約 0.8;光通維持率 L80 的 LED 燈具算出來約 0.71,L90 才接近 0.8。EN 12464-1:2021 要求設計者寫明採用的維護係數與假設,初始照度等於維持照度除以維護係數。這張表只是初估,正式配置要用平面圖與龍骨圖跑照明軟體。

照度均勻度 0.7 是什麼意思

照度均勻度是作業面上的最小照度除以平均照度,數值越接近 1 越均勻。EN 12464-1 的 Uo 與 GB 50034 的 U0 都是這個定義;中國大陸的潔淨廠房規範要求不小於 0.7,EN 12464-1:2021 對電子精密作業也是 0.70。均勻度不足的常見原因是燈具排距太大,或設備與層架遮住了光。

照度測試與驗收:照度量測怎麼做

項目做法依據
量測高度在作業面高度量;沒有指定時取離地約 0.8 mJIS C 7612(80 ± 5 cm);NEBB 規範範本為 915 mm
測點依房間尺寸與燈具排列畫網格,驗收測點與設計計算的網格一致EN 12464-1:2021 §8.2
平均照度每個單位區域取四角測值的平均(四點法),再求全室平均JIS C 7612
燈具暖機螢光燈與高強度放電燈量測前至少點亮 2 小時NEBB 規範範本
量測條件在實際作業條件下量,一般照明與作業燈都照常開NEBB 規範範本
儀器照度計每 12 個月校正NEBB 規範範本
判定實測的平均照度與均勻度對照設計值,沒有統一的合格 luxNEBB 規範範本

照度測試在 IEST-RP-CC006 裡屬於選做的次要測試,ISO 14644-3 則沒有這一項,所以要驗就得在合約裡寫明量測高度、網格、目標照度與均勻度。量測高度各家寫法不同(760 mm、0.8 m、915 mm 都有),以合約為準。

黃光區照明:照度沒有標準值

黃光區(微影區)要濾掉會讓光阻感光的短波長,光阻供應商的建議是 500 nm 以下全部擋掉。黃光區照度查不到任何標準給數值,ISO 14644-4:2001 把照明的波長限制列為買賣雙方要議定的項目。加了濾光之後照度會下降,設計時要用濾光後的光通量來算;黃光區的 AMC 控制另見 EUV 黃光區 AMC 控制實戰。

設計與採購前該確認的 6 件事

  1. 1適用哪一份規範:台灣法規下限、CNS 12112,或客戶指定的 GB、JIS、EN 標準。
  2. 2各區的目標維持照度與均勻度,以及是只算一般照明還是含局部照明。
  3. 3計算採用的利用係數與維護係數,燈具的光通維持率是 L80 還是 L90。
  4. 4有沒有波長限制(黃光區)與演色性要求;JIS Z 9110 對顏色重要的作業要求 Ra 90 以上。
  5. 5驗收的量測高度、網格與判定方式有沒有寫進合約。
  6. 6備用照明與疏散照明由誰設計。

無塵室天花板上的其他設備怎麼選,見無塵室設備系列與 FFU 選型指南。

常見問題

Q:無塵室照度標準是多少 lux?

沒有單一數字。台灣的法規下限是《職業安全衛生設施規則》第 313 條(精密組合與精細檢查 500~1,000 lux 以上),CNS 12112 對電子工作室、測試室的維持照度是 1,500 lux;中國大陸 GB 50073-2013 的潔淨室生產用房間是 200~500 lx。實際設計值由製程的視覺作業決定。

Q:職安法規定的工廠照度標準是多少?

《職業安全衛生設施規則》第 313 條依作業精細程度分級:走道與倉庫 50、機械房與更衣室 100、零件組合與普通檢查 200、精密試驗與一般辦公場所 300、精密組合與精細檢查 500~1,000、極精細儀器組合與檢查 1,000 米燭光以上。米燭光就是 lux。

Q:ISO 14644 有規定無塵室照度嗎?

沒有。ISO 14644-4:2001 附錄 F 只要求各區的照度與均勻度應予規定,ISO 14644-3 的測試項目也不含照度。照度要寫進使用者需求規格與合約。

Q:GMP 藥廠的潔淨室照度要多少?

美國 21 CFR 211.44、EU GMP 與 WHO GMP 都只要求照明充足或適當,沒有 lux 數值。可引用的設計值是 GB 50457-2019 的主要工作室 300 lx,以及 EN 12464-1:2021 的製藥生產 500 lx。GMP 潔淨室的濾網要求見 GMP 製藥廠 HEPA 規範完整解析。

Q:照度量測要在多高的位置量?

在作業面高度量。沒有指定時,JIS C 7612 取離地 80 ± 5 cm,NEBB 的規範範本寫 915 mm,以合約寫的為準。

Q:FFU 滿鋪的天花板,淚滴燈做得到 1,500 lux 嗎?

單靠一般照明很難。以單管 2,100 lm、利用係數 0.6、維護係數 0.8 估算,每條 1200 mm 龍骨線各掛一排單管約 700 lx;要更高就用雙管款、加密排數,或在工位加局部照明。