クリーンルームの照度基準に単一の数値はありません。ISO 14644 は照度を規定しておらず、台湾ではまず「職業安全衛生施設規則」第 313 条を満たし、電子分野の精密作業ではさらに CNS 12112 の 1,500 lux を参考にします。中国のクリーンルーム規範は全般照明を 200～500 lx とし、日本の JIS と欧州の EN 12464-1 は電子分野の精密作業で 1,500 lx まで定めています。本記事では各国の規格を比較表にまとめ、照度計算、照度均斉度、検収時の測定の進め方を説明します。
クリーンルームの照度基準は何ルクスか：一つの表で結論を見る
| あなたの状況 | 見るべき規格 | 照度 |
|---|---|---|
| 台湾の工場の法定下限 | 「職業安全衛生施設規則」第 313 条 | 一般の事務所 300 lux 以上、精密組立・精細な検査 500～1,000 lux 以上 |
| 台湾の電子工場の設計目標 | CNS 12112 表 5 | 電子作業室、試験室、調整室 1,500 lux |
| 中国のクリーンルーム | GB 50073-2013、GB 50472-2008 | 生産用室 200～500 lx、電子工業 300～500 lx |
| 製薬クリーンルーム | GB 50457-2019、EN 12464-1:2021 | 主要作業室 300 lx、欧州の製薬生産 500 lx |
| 日本と欧州の電子分野の精密作業 | JIS Z 9110、EN 12464-1:2021 | 1,500 lx |
法規が示すのは下限で、設計値は工程の視作業で決まります。見る対象が細かいほど、照度は高くなります。lux（lx、ルクス）と台湾の法規で使われる「米燭光」（メートル燭）は同じ単位です。米国規格でよく使われるフートカンデラ（fc）は、1 fc が約 10.76 lx です。
規格別クリーンルーム照度要求（lx）
横棒は範囲、丸は単一値。クリーンルーム設計規範の全般照明は 200～500 lx、電子精密作業の照明基準は 1,500 lx。淡色部は EN 12464-1 で視条件が悪い場合の修正値
台湾の照度基準：職業安全衛生法規の第 313 条と CNS 12112
俗に「職安法の照度基準」と呼ばれるものは、条文としては「職業安全衛生施設規則」第 313 条第 6 号にあります。自然採光が不足する場合は、人工照明で下表の数値まで補うという規定です。クリーンルームはたいてい採光窓がないため、全時間帯で適用されることになります。
| 場所または作業の種類（条文の用語の要約） | 照度 | 照明の種類 |
|---|---|---|
| 通路、階段、倉庫 | 50 メートル燭以上 | 全般照明 |
| 機械室・ボイラー室、更衣室、洗面所 | 100 メートル燭以上 | 全般照明 |
| 物体を細かく見分ける作業：部品組立、普通の検査、製品試験 | 200 メートル燭以上 | 局部照明 |
| 物体を精密に見分ける作業：やや詳細な検査と精密試験、および一般の事務所 | 300 メートル燭以上 | 局部照明、事務所は全般照明 |
| 物体を極めて細かく見分ける作業でコントラストが良好：精密組立、精細な検査 | 500～1,000 メートル燭以上 | 局部照明 |
| 物体を極めて精密に見分ける作業でコントラストが不良：極めて精密な計器の組立、検査、試験 | 1,000 メートル燭以上 | 局部照明 |
CNS 12112「屋内作業場の照明」は設計に使う国家規格で、示しているのは維持照度、つまり使用期間中に平均照度が下回ってはならない値です。あわせてグレアの上限 UGR と演色性 Ra も規定しています。
| CNS 12112 表 5 電気工業 | 維持照度 | UGR 上限 | Ra |
|---|---|---|---|
| 組立作業：粗い | 300 lux | 25 | 80 |
| 組立作業：中程度 | 500 lux | 22 | 80 |
| 組立作業：細かい（電話機など） | 750 lux | 19 | 80 |
| 組立作業：精密（測定機器など） | 1,000 lux | 16 | 80 |
| 電子作業室、試験室、調整室 | 1,500 lux | 16 | 80 |
ネットでよく見かける「電子部品製造 1,500～3,000 lux」は 1987 年の旧版にあった範囲表が出どころで、2012 年の改訂版では上表のような単一の維持照度に改められています。CNS 12112 はこのほか、連続して作業する区域の維持照度は 200 lux を下回らないことと定めています。
中国のクリーンルーム照度基準：GB 50073、GB 50472、GB 50034、GB 50457
| 規格 | 条項 | 区域 | 全般照明の照度 |
|---|---|---|---|
| GB 50073-2013 清浄工場設計規範 | §9.2.3 | 採光窓のないクリーンルームの生産用室 | 200～500 lx |
| GB 50073-2013 | §9.2.3 | 補助室、人員・物品の清浄化室、エアロック、廊下 | 150～300 lx |
| GB 50472-2008 電子工業清浄工場設計規範 | §12.2.1 | 主要生産室 | 300～500 lx |
| GB 50472-2008 | §12.2.1 | 補助作業室、清浄化室、エアロック、廊下 | 200～300 lx |
| GB/T 50034-2024 建築照明設計標準 | 表 5.4.1 | マイクロエレクトロニクス製品・集積回路、表示デバイス、プリント配線板 | 500 lx（UGR 19、均斉度 0.70、Ra 80） |
| GB/T 50034-2024 | 表 5.4.1 | 製薬生産 | 300 lx（UGR 22、均斉度 0.60、Ra 80） |
| GB 50457-2019 医薬工業清浄工場設計標準 | §3.2.6 | 主要作業室 | 300 lx |
| GB 50457-2019 | §3.2.6 | 補助作業室、廊下、エアロック、人員・物品の清浄化室 | 200 lx |
GB 50073-2013 §9.2.4 と GB 50457-2019 §11.2.5 はどちらも、全般照明の照度均斉度を 0.7 以上と求めています。GB 50073-2013 §9.2.5 はさらにクリーンルーム工場に予備照明の設置を求めており、条文説明が示す目安は、一般の場所で通常照明の 1/10 以上です。
日本・欧州・米国のクリーンルーム照明基準
| 出典 | 対象作業 | 照度 |
|---|---|---|
| JIS Z 9110 照明基準総則（日本） | 精密機械・電子部品製造の非常に精密な視作業 | 1,500 lx |
| 日本の照明メーカーのクリーンルーム設計資料 | 一般的なクリーンルームの作業面 | 約 1,000～2,000 lx |
| EN 12464-1:2021 表 19（欧州） | 細かい組立（電話機、ラジオ、コンピューター） | 750 lx、均斉度 0.70、UGR 19 |
| EN 12464-1:2021 表 19 | 精密組立（測定機器、プリント基板） | 1,000 lx、均斉度 0.70、UGR 16 |
| EN 12464-1:2021 表 19 | 電子作業場、試験、調整 | 1,500 lx、均斉度 0.70、UGR 16 |
| EN 12464-1:2021 表 18 | 製薬生産 | 500 lx、均斉度 0.60、UGR 22 |
| NASA MSFC-STD-246E（米国、2019） | クリーンルームの全般照明 | 750～860 lx |
| NASA MSFC-STD-246E | 汚染感受性の高い作業位置 | 約 1,100 lx、作業灯で補ってもよい |
EN 12464-1 には「クリーンルーム」という行はなく、作業の種類に当てはめて読みます。2021 年版は、視環境が悪い場合に使う一段高い修正値も示しており、たとえば電子作業場は 1,500 lx から 2,000 lx に上がります。
ISO 14644 と GMP は照度を規定しているか：数値はない
| 文書 | 照明に関する要求 | lux の数値 |
|---|---|---|
| ISO 14644-4:2001 附属書 F | 各区域の照度と均斉度を規定すること。演色性は購入者が規定する。照明器具は汚染を放出してはならず、一方向流の区域では乱流を減らすこと | なし、売買双方の協議による |
| ISO 14644-3（試験方法） | 試験項目に照度は含まれない | なし |
| 米国 21 CFR 211.44 | すべての区域に十分な照明を備えること | なし |
| EU GMP 第 1 部第 3 章 | 照明は適切であること。生産区域は十分に明るくし、特にライン上の目視検査の場所ではそうすること | なし |
| WHO GMP（TRS 986 附属書 2） | EU GMP と同じ方向 | なし |
したがって「ISO 14644 に適合」や「GMP に適合」は、照度がある数値に達していることを意味しません。照度は別途、ユーザー要求仕様書（URS）と契約書に書き込む必要があります。ISO クラスの分け方は ISO 14644-1 クリーンルームクラス対照表をご覧ください。
クリーンルームの照明設計：全般照明に局部照明を加える
高い照度値が指すのは作業面で、部屋全体ではありません。台湾の「職業安全衛生施設規則」第 313 条は 500 メートル燭以上の作業をすべて局部照明に分類しており、GB/T 50034-2024 も一部の精密作業について局部照明を別に加えるべきと注記しています。一般的なやり方は、全般照明を 300～500 lx とし、検査ステーション、位置合わせ、顕微鏡の作業位置は作業灯で 1,000～1,500 lx まで補うことです。
照明器具をどこに付けるかは、天井の形式で決まります。天井が FFU で埋め尽くされていると埋込照明を入れる空きマスがなく、グリッドの下、二枚のフィルターの間に吊るすティアドロップライトがこうした区域の一般的な方法です。四種類のティアドロップライトの違いはティアドロップライトとは何か、市場の 4 種類の構造を比較をご覧ください。
| 天井の形式 | 照明器具の取付位置 | 設計上の注意 |
|---|---|---|
| FFU を全面に敷いた一方向流エリア（ISO 4～6） | グリッドの下、二枚のフィルターの間のティアドロップライト | グリッド一列ごとに照明一列、照度の上限を先に計算する |
| HEPA 吹出口とブランクパネルの天井（ISO 7～8） | 埋込型または直付け型のクリーンルーム用器具 | 埋め込む場合は取付隙間を確実にシールする（GB 50073-2013 §9.2.2） |
| パネル天井でグリッドなし | 直付け（露出取付）の器具 | 外殻が滑らかで、塵が積もらず、拭き取れること |
照度計算の公式：光束法で必要台数を求める
光束法の公式は次のとおりです。器具台数 ＝ 目標照度 × 面積 ÷（一台あたりの光束 × 照明率 × 保守率）。照明率は器具が出した光のうち作業面に届く割合、保守率は光束の低下と汚れの付着を見込んだ低減係数です。下表は照明率 0.6、保守率 0.8 という仮定で、100 m² あたりに必要な総光束と台数を計算したものです。
| 目標照度 | 100 m² あたりに必要な総光束 | 一台 2,100 lm の器具 | 一台 4,500 lm の器具 |
|---|---|---|---|
| 300 lx | 62,500 lm | 30 台 | 14 台 |
| 500 lx | 約 104,000 lm | 50 台 | 24 台 |
| 750 lx | 約 156,000 lm | 75 台 | 35 台 |
| 1,000 lx | 約 208,000 lm | 100 台 | 47 台 |
| 1,500 lx | 312,500 lm | 149 台 | 70 台 |
保守率は固定値ではありません。照明メーカーのハンドブックは CIE 97 の参考値を引用しており、クリーンルームのような非常に清浄な環境では約 0.8 です。光束維持率 L80 の LED 器具で計算すると約 0.71 になり、L90 でようやく 0.8 に近づきます。EN 12464-1:2021 は、採用した保守率とその仮定を設計者が明記するよう求めており、初期照度は維持照度を保守率で割った値になります。この表は初期概算に過ぎず、正式な配置は平面図と天井グリッド図を使って照明計算ソフトで行ってください。
照度均斉度 0.7 とはどういう意味か
照度均斉度は、作業面上の最小照度を平均照度で割った値で、1 に近いほど均一です。EN 12464-1 の Uo と GB 50034 の U0 はどちらもこの定義です。中国のクリーンルーム規範は 0.7 以上を求め、EN 12464-1:2021 も電子分野の精密作業で 0.70 としています。均斉度が不足するよくある原因は、器具の列間隔が広すぎること、または設備や棚が光を遮っていることです。
照度試験と検収：照度測定の進め方
| 項目 | 方法 | 根拠 |
|---|---|---|
| 測定高さ | 作業面の高さで測る。指定がなければ床上約 0.8 m とする | JIS C 7612（80 ± 5 cm）、NEBB の仕様書ひな形は 915 mm |
| 測定点 | 部屋の寸法と器具の配列に合わせて格子を引き、検収の測定点は設計計算の格子と一致させる | EN 12464-1:2021 §8.2 |
| 平均照度 | 単位区域ごとに四隅の測定値の平均を取り（四点法）、そのうえで全室の平均を求める | JIS C 7612 |
| ランプの点灯時間 | 蛍光ランプと高輝度放電ランプは測定前に少なくとも 2 時間点灯する | NEBB の仕様書ひな形 |
| 測定条件 | 実際の作業条件で測り、全般照明も作業灯も通常どおり点灯する | NEBB の仕様書ひな形 |
| 計器 | 照度計は 12 か月ごとに校正する | NEBB の仕様書ひな形 |
| 判定 | 実測した平均照度と均斉度を設計値と照合する。統一された合格 lux はない | NEBB の仕様書ひな形 |
照度試験は IEST-RP-CC006 では任意の副次的な試験に位置づけられ、ISO 14644-3 にはこの項目がありません。そのため検収するなら、測定高さ、格子、目標照度、均斉度を契約書に明記する必要があります。測定高さは文書によって書き方が異なる（760 mm、0.8 m、915 mm のいずれもある）ため、契約書に従います。
イエロールームの照明：照度に標準値はない
イエロールーム（フォトリソエリア）では、フォトレジストを感光させる短波長を除く必要があり、フォトレジストのサプライヤーは 500 nm 以下をすべて遮断するよう推奨しています。イエロールームの照度について数値を示す規格は見当たらず、ISO 14644-4:2001 は照明の波長制限を売買双方が協議する項目に挙げています。フィルターを加えると照度は下がるため、設計ではフィルター後の光束で計算します。イエロールームの AMC 制御は EUV イエロールームの AMC 制御の実践もご覧ください。
設計と調達の前に確認したい 6 つのこと
- 1どの規格を適用するか：台湾の法規の下限、CNS 12112、あるいは顧客が指定する GB、JIS、EN 規格。
- 2各区域の目標維持照度と均斉度、そして全般照明だけで計算するのか局部照明を含むのか。
- 3計算に使う照明率と保守率、器具の光束維持率が L80 か L90 か。
- 4波長制限（イエロールーム）と演色性の要求があるか。JIS Z 9110 は色が重要な作業に Ra 90 以上を求めています。
- 5検収の測定高さ、格子、判定方法が契約書に書かれているか。
- 6予備照明と避難照明は誰が設計するか。
クリーンルーム天井のその他の設備の選び方は、クリーンルーム設備シリーズと FFU 選定ガイドをご覧ください。
よくある質問
Q：クリーンルームの照度基準は何 lux ですか？
単一の数値はありません。台湾の法定下限は「職業安全衛生施設規則」第 313 条（精密組立と精細な検査で 500～1,000 lux 以上）で、CNS 12112 は電子作業室、試験室の維持照度を 1,500 lux としています。中国の GB 50073-2013 はクリーンルームの生産用室を 200～500 lx としています。実際の設計値は工程の視作業で決まります。
Q：台湾の職業安全衛生法規が定める工場の照度基準はどれくらいですか？
「職業安全衛生施設規則」第 313 条は作業の細かさで等級を分けています。通路と倉庫 50、機械室と更衣室 100、部品組立と普通の検査 200、精密試験と一般の事務所 300、精密組立と精細な検査 500～1,000、極めて精密な計器の組立と検査 1,000 メートル燭以上です。メートル燭は lux と同じです。
Q：ISO 14644 はクリーンルームの照度を規定していますか？
いいえ。ISO 14644-4:2001 附属書 F は各区域の照度と均斉度を規定するよう求めているだけで、ISO 14644-3 の試験項目にも照度は含まれません。照度はユーザー要求仕様書と契約書に書き込む必要があります。
Q：GMP 製薬工場のクリーンルームの照度はどれくらい必要ですか？
米国 21 CFR 211.44、EU GMP、WHO GMP はいずれも照明が十分または適切であることを求めるだけで、lux の数値はありません。引用できる設計値は、GB 50457-2019 の主要作業室 300 lx と、EN 12464-1:2021 の製薬生産 500 lx です。GMP クリーンルームのフィルター要求は GMP 製薬工場の HEPA 規制を徹底解説をご覧ください。
Q：照度測定はどの高さで行いますか？
作業面の高さで測ります。指定がなければ、JIS C 7612 は床上 80 ± 5 cm、NEBB の仕様書ひな形は 915 mm としており、契約書の記載に従います。
Q：FFU を全面に敷いた天井で、ティアドロップライトは 1,500 lux を出せますか？
全般照明だけでは困難です。一灯用 2,100 lm、照明率 0.6、保守率 0.8 で見積もると、1200 mm の各グリッドバー列に一灯用を一列ずつ吊るして約 700 lx です。それ以上にするには二灯用にする、列を増やす、または作業位置に局部照明を加えます。
