Tiêu chuẩn độ rọi phòng sạch không có một con số duy nhất: ISO 14644 không quy định độ rọi, tại Đài Loan trước hết phải đáp ứng Điều 313 của Quy tắc Cơ sở vật chất An toàn Vệ sinh Lao động, còn công việc điện tử chính xác thì tham khảo thêm mức 1,500 lux của CNS 12112. Quy phạm nhà xưởng sạch của Trung Quốc đại lục đặt chiếu sáng chung ở mức 200–500 lx, còn JIS của Nhật Bản và EN 12464-1 của châu Âu đặt đến 1,500 lx cho công việc điện tử chính xác. Bài này tổng hợp quy định của các nước thành bảng đối chiếu, đồng thời giải thích cách tính độ rọi, độ đồng đều độ rọi và cách đo nghiệm thu.

Tiêu chuẩn độ rọi phòng sạch là bao nhiêu: kết luận trong một bảng

Trường hợp của bạnNên xem văn bản nàoĐộ rọi
Mức tối thiểu theo luật đối với nhà máy tại Đài LoanQuy tắc Cơ sở vật chất An toàn Vệ sinh Lao động của Đài Loan, Điều 313Văn phòng thông thường từ 300 lux trở lên; lắp ráp chính xác, kiểm tra tinh từ 500–1,000 lux trở lên
Mục tiêu thiết kế của nhà máy điện tử tại Đài LoanCNS 12112, Bảng 5Phòng làm việc điện tử, phòng thử nghiệm, phòng hiệu chỉnh 1,500 lux
Nhà xưởng sạch tại Trung Quốc đại lụcGB 50073-2013, GB 50472-2008Phòng sản xuất 200–500 lx, ngành điện tử 300–500 lx
Phòng sạch dược phẩmGB 50457-2019, EN 12464-1:2021Phòng làm việc chính 300 lx; sản xuất dược phẩm tại châu Âu 500 lx
Công việc điện tử chính xác tại Nhật Bản và châu ÂuJIS Z 9110, EN 12464-1:20211,500 lx

Quy định pháp luật đưa ra mức tối thiểu, còn giá trị thiết kế do công việc thị giác của quy trình quyết định: vật cần nhìn càng nhỏ thì độ rọi càng cao. Lux (lx) và "mét-nến" (metre-candle) dùng trong quy định của Đài Loan là cùng một đơn vị; với foot-candle (fc) thường dùng trong tiêu chuẩn Mỹ, 1 fc xấp xỉ 10.76 lx.

Yêu cầu độ rọi phòng sạch theo từng tiêu chuẩn (lx)

Thanh ngang là khoảng giá trị, chấm tròn là giá trị đơn. Quy phạm thiết kế phòng sạch đặt chiếu sáng chung ở 200–500 lx; tiêu chuẩn chiếu sáng cho công việc điện tử chính xác lên tới 1.500 lx. Đoạn màu nhạt là giá trị hiệu chỉnh của EN 12464-1 khi điều kiện thị giác kém

05001,0001,5002,000Độ rọi (lx)§313Quy định ATVSLĐ Đài Loan: lắp ráp chính xác≥ 500–1,000CNS 12112Xưởng điện tử, phòng thử nghiệm1,500GB 50073-2013Phòng sản xuất trong phòng sạch200–500GB 50472-2008Phòng sản xuất chính ngành điện tử300–500GB/T 50034-2024Vi điện tử và mạch tích hợp500GB 50457-2019Phòng làm việc chính ngành dược300JIS Z 9110Công việc rất chính xác ngành điện tử1,500EN 12464-1:2021Xưởng điện tử, thử nghiệm, hiệu chỉnh1,500 (2,000)EN 12464-1:2021Sản xuất dược phẩm500NASA MSFC-STD-246EChiếu sáng chung phòng sạch750–860

Tiêu chuẩn độ rọi của Đài Loan: Điều 313 quy định an toàn lao động và CNS 12112

Cái thường gọi là "tiêu chuẩn độ rọi theo luật an toàn lao động" nằm ở khoản 6 Điều 313 của Quy tắc Cơ sở vật chất An toàn Vệ sinh Lao động của Đài Loan: khi ánh sáng tự nhiên không đủ, phải dùng chiếu sáng nhân tạo bổ sung đến các giá trị trong bảng dưới. Phòng sạch phần lớn không có cửa lấy sáng, nên coi như áp dụng suốt thời gian.

Nơi làm việc hoặc loại công việc (tóm lược từ ngữ của điều khoản)Độ rọiLoại chiếu sáng
Lối đi, cầu thang, khotừ 50 mét-nến trở lênChiếu sáng chung
Phòng máy và phòng nồi hơi, phòng thay đồ, phòng rửa taytừ 100 mét-nến trở lênChiếu sáng chung
Cần phân biệt chi tiết nhỏ: lắp ráp linh kiện, kiểm tra thông thường và thử nghiệm sản phẩmtừ 200 mét-nến trở lênChiếu sáng cục bộ
Cần phân biệt chi tiết tinh: kiểm tra tương đối chi tiết và thử nghiệm chính xác; văn phòng thông thườngtừ 300 mét-nến trở lênChiếu sáng cục bộ; văn phòng là chiếu sáng chung
Cần phân biệt chi tiết rất nhỏ, độ tương phản tốt: lắp ráp chính xác, kiểm tra tinhtừ 500–1,000 mét-nến trở lênChiếu sáng cục bộ
Cần phân biệt chi tiết cực tinh, độ tương phản kém: lắp ráp, kiểm tra, thử nghiệm thiết bị cực tinh vitừ 1,000 mét-nến trở lênChiếu sáng cục bộ

CNS 12112 "Chiếu sáng nơi làm việc trong nhà" là tiêu chuẩn quốc gia dùng cho thiết kế; giá trị nó đưa ra là độ rọi duy trì, tức mức mà độ rọi trung bình trong suốt thời gian sử dụng không được thấp hơn, đồng thời quy định giới hạn chói lóa UGR và chỉ số hoàn màu Ra.

CNS 12112, Bảng 5: Công nghiệp điệnĐộ rọi duy trìGiới hạn UGRRa
Công việc lắp ráp: thô300 lux2580
Công việc lắp ráp: trung bình500 lux2280
Công việc lắp ráp: tinh (ví dụ điện thoại)750 lux1980
Công việc lắp ráp: chính xác (ví dụ thiết bị đo lường)1,000 lux1680
Phòng làm việc điện tử, phòng thử nghiệm, phòng hiệu chỉnh1,500 lux1680

Con số "sản xuất linh kiện điện tử 1,500–3,000 lux" thường thấy trên mạng xuất phát từ bảng khoảng giá trị của bản cũ năm 1987; bản sửa đổi năm 2012 đã đổi thành một giá trị độ rọi duy trì duy nhất như bảng trên. CNS 12112 còn quy định ở khu vực làm việc liên tục, độ rọi duy trì không nên nhỏ hơn 200 lux.

Tiêu chuẩn độ rọi phòng sạch của Trung Quốc đại lục: GB 50073, GB 50472, GB 50034, GB 50457

Quy phạmĐiều khoảnKhu vựcĐộ rọi chiếu sáng chung
GB 50073-2013 Quy phạm thiết kế nhà xưởng sạch§9.2.3Phòng sản xuất trong phòng sạch không có cửa lấy sáng200–500 lx
GB 50073-2013§9.2.3Phòng phụ trợ, phòng làm sạch người và vật liệu, phòng khóa khí, hành lang150–300 lx
GB 50472-2008 Quy phạm thiết kế nhà xưởng sạch công nghiệp điện tử§12.2.1Phòng sản xuất chính300–500 lx
GB 50472-2008§12.2.1Phòng làm việc phụ trợ, phòng làm sạch, phòng khóa khí, hành lang200–300 lx
GB/T 50034-2024 Tiêu chuẩn thiết kế chiếu sáng công trình xây dựngBảng 5.4.1Sản phẩm vi điện tử và mạch tích hợp, linh kiện hiển thị, bảng mạch in500 lx (UGR 19, độ đồng đều 0.70, Ra 80)
GB/T 50034-2024Bảng 5.4.1Sản xuất dược phẩm300 lx (UGR 22, độ đồng đều 0.60, Ra 80)
GB 50457-2019 Tiêu chuẩn thiết kế nhà xưởng sạch công nghiệp dược§3.2.6Phòng làm việc chính300 lx
GB 50457-2019§3.2.6Phòng làm việc phụ trợ, hành lang, khóa khí, phòng làm sạch người và vật liệu200 lx

GB 50073-2013 §9.2.4 và GB 50457-2019 §11.2.5 đều yêu cầu độ đồng đều độ rọi của chiếu sáng chung không nhỏ hơn 0.7. GB 50073-2013 §9.2.5 còn yêu cầu nhà xưởng sạch phải có chiếu sáng dự phòng; phần thuyết minh điều khoản đưa ra mức tham khảo là ở khu vực thông thường không thấp hơn 1/10 chiếu sáng bình thường.

Tiêu chuẩn chiếu sáng phòng sạch của Nhật Bản, châu Âu và Mỹ

NguồnCông việc áp dụngĐộ rọi
JIS Z 9110 Quy định chung về tiêu chuẩn chiếu sáng (Nhật Bản)Công việc thị giác rất chính xác trong sản xuất máy chính xác, linh kiện điện tử1,500 lx
Tài liệu thiết kế phòng sạch của các hãng chiếu sáng Nhật BảnMặt làm việc của phòng sạch thông thườngkhoảng 1,000–2,000 lx
EN 12464-1:2021, Bảng 19 (châu Âu)Lắp ráp tinh (điện thoại, radio, máy tính)750 lx, độ đồng đều 0.70, UGR 19
EN 12464-1:2021, Bảng 19Lắp ráp chính xác (thiết bị đo lường, bảng mạch in)1,000 lx, độ đồng đều 0.70, UGR 16
EN 12464-1:2021, Bảng 19Xưởng điện tử, thử nghiệm, hiệu chỉnh1,500 lx, độ đồng đều 0.70, UGR 16
EN 12464-1:2021, Bảng 18Sản xuất dược phẩm500 lx, độ đồng đều 0.60, UGR 22
NASA MSFC-STD-246E (Mỹ, 2019)Chiếu sáng chung của phòng sạch750–860 lx
NASA MSFC-STD-246EVị trí làm việc có độ nhạy nhiễm bẩn caokhoảng 1,100 lx, có thể bổ sung bằng đèn làm việc

EN 12464-1 không có dòng nào riêng cho "phòng sạch", phải đối chiếu theo loại công việc. Bản năm 2021 còn đưa ra giá trị hiệu chỉnh cao hơn một bậc dùng khi điều kiện thị giác kém hơn, ví dụ xưởng điện tử tăng từ 1,500 lx lên 2,000 lx.

ISO 14644 và GMP có quy định độ rọi không: không có con số

Văn bảnYêu cầu về chiếu sángGiá trị lux
ISO 14644-4:2001, Phụ lục FĐộ rọi và độ đồng đều của từng khu phải được quy định; chỉ số hoàn màu do bên mua quy định; đèn không được phát thải chất nhiễm bẩn, khu dòng khí một chiều phải giảm dòng rốiKhông có, do bên mua và bên bán thỏa thuận
ISO 14644-3 (phương pháp thử)Các hạng mục thử không bao gồm độ rọiKhông có
21 CFR 211.44 của MỹMọi khu vực phải có chiếu sáng đầy đủKhông có
EU GMP Phần 1, Chương 3Chiếu sáng phải phù hợp; khu sản xuất phải được chiếu sáng tốt, đặc biệt là nơi kiểm tra bằng mắt trên dây chuyềnKhông có
WHO GMP (TRS 986, Phụ lục 2)Cùng hướng với EU GMPKhông có

Vì vậy "phù hợp ISO 14644" hay "phù hợp GMP" không có nghĩa là độ rọi đạt một con số nào đó; độ rọi phải được ghi riêng vào đặc tả yêu cầu người sử dụng (URS) và hợp đồng. Cách phân cấp ISO xem bảng đối chiếu cấp phòng sạch ISO 14644-1.

Thiết kế chiếu sáng phòng sạch: chiếu sáng chung cộng chiếu sáng cục bộ

Các giá trị độ rọi cao là nói về mặt làm việc, không phải cả căn phòng. Điều 313 của Quy tắc Cơ sở vật chất An toàn Vệ sinh Lao động của Đài Loan xếp mọi công việc từ 500 mét-nến trở lên vào chiếu sáng cục bộ, GB/T 50034-2024 cũng ghi chú với một số công việc chính xác rằng phải bổ sung chiếu sáng cục bộ. Cách làm thường gặp là chiếu sáng chung đạt 300–500 lx, còn trạm kiểm tra, vị trí căn chỉnh và vị trí kính hiển vi thì dùng đèn làm việc bổ sung lên 1,000–1,500 lx.

Đèn lắp ở đâu tùy vào kiểu trần. Khi trần đã bị FFU lấp đầy thì không còn ô trống để lắp đèn âm trần; đèn giọt nước treo dưới khung T-bar, giữa hai tấm lọc, là cách làm thường gặp ở các khu vực này; khác biệt giữa bốn cách làm đèn giọt nước xem Đèn giọt nước là gì, so sánh 4 cách làm trên thị trường.

Kiểu trầnĐèn lắp ở đâuLưu ý thiết kế
Khu dòng khí một chiều FFU lấp đầy trần (ISO 4–6)Đèn giọt nước dưới khung T-bar, giữa hai tấm lọcMỗi đường khung một hàng đèn, phải tính trước giới hạn trên của độ rọi
Trần dùng cửa cấp khí hiệu suất cao cộng tấm bịt (ISO 7–8)Đèn phòng sạch âm trần hoặc lắp nổi áp trầnKhi lắp âm, khe lắp phải được làm kín tin cậy (GB 50073-2013 §9.2.2)
Trần panel, không có khung T-barĐèn lắp nổi áp trầnVỏ nhẵn, không đọng bụi, lau chùi được

Công thức tính độ rọi: dùng phương pháp quang thông để tính số đèn cần lắp

Công thức của phương pháp quang thông là: Số lượng đèn = Độ rọi mục tiêu × Diện tích ÷ (Quang thông mỗi đèn × Hệ số sử dụng × Hệ số duy trì). Hệ số sử dụng là tỷ lệ ánh sáng do đèn phát ra rơi được xuống mặt làm việc; hệ số duy trì là mức chiết giảm tính đến suy giảm quang thông và bụi bám. Bảng dưới dùng bộ giả định hệ số sử dụng 0.6, hệ số duy trì 0.8 để tính tổng quang thông và số đèn cần cho mỗi 100 m²:

Độ rọi mục tiêuTổng quang thông cần cho mỗi 100 m²Đèn 2,100 lm mỗi bộĐèn 4,500 lm mỗi bộ
300 lx62,500 lm30 bộ14 bộ
500 lxkhoảng 104,000 lm50 bộ24 bộ
750 lxkhoảng 156,000 lm75 bộ35 bộ
1,000 lxkhoảng 208,000 lm100 bộ47 bộ
1,500 lx312,500 lm149 bộ70 bộ

Hệ số duy trì không phải là giá trị cố định: sổ tay của các hãng chiếu sáng dẫn giá trị tham khảo của CIE 97, với môi trường rất sạch như phòng sạch là khoảng 0.8; đèn LED có mức duy trì quang thông L80 tính ra khoảng 0.71, phải L90 mới gần 0.8. EN 12464-1:2021 yêu cầu người thiết kế ghi rõ hệ số duy trì đã dùng và các giả định; độ rọi ban đầu bằng độ rọi duy trì chia cho hệ số duy trì. Bảng này chỉ là ước tính ban đầu; bố trí chính thức phải chạy phần mềm chiếu sáng với mặt bằng và bản vẽ khung trần.

Độ đồng đều độ rọi 0.7 nghĩa là gì

Độ đồng đều độ rọi là độ rọi nhỏ nhất trên mặt làm việc chia cho độ rọi trung bình; giá trị càng gần 1 thì càng đồng đều. Uo của EN 12464-1 và U0 của GB 50034 đều theo định nghĩa này; quy phạm nhà xưởng sạch của Trung Quốc đại lục yêu cầu không nhỏ hơn 0.7, EN 12464-1:2021 cũng đặt 0.70 cho công việc điện tử chính xác. Nguyên nhân thường gặp khiến độ đồng đều không đạt là khoảng cách giữa các hàng đèn quá lớn, hoặc thiết bị và kệ che mất ánh sáng.

Đo kiểm và nghiệm thu độ rọi: đo độ rọi như thế nào

Hạng mụcCách làmCăn cứ
Độ cao đoĐo ở độ cao mặt làm việc; khi không chỉ định thì lấy khoảng 0.8 m so với sànJIS C 7612 (80 ± 5 cm); mẫu quy cách kỹ thuật của NEBB là 915 mm
Điểm đoVẽ lưới theo kích thước phòng và cách bố trí đèn; điểm đo nghiệm thu trùng với lưới của tính toán thiết kếEN 12464-1:2021 §8.2
Độ rọi trung bìnhMỗi ô đơn vị lấy trung bình giá trị đo ở bốn góc (phương pháp bốn điểm), rồi tính trung bình cả phòngJIS C 7612
Làm nóng đènĐèn huỳnh quang và đèn phóng điện cường độ cao phải bật ít nhất 2 giờ trước khi đoMẫu quy cách kỹ thuật của NEBB
Điều kiện đoĐo trong điều kiện làm việc thực tế, chiếu sáng chung và đèn làm việc đều bật như bình thườngMẫu quy cách kỹ thuật của NEBB
Thiết bịMáy đo độ rọi hiệu chuẩn mỗi 12 thángMẫu quy cách kỹ thuật của NEBB
Đánh giáĐối chiếu độ rọi trung bình và độ đồng đều đo được với giá trị thiết kế; không có mức lux đạt thống nhấtMẫu quy cách kỹ thuật của NEBB

Trong IEST-RP-CC006, phép đo độ rọi thuộc nhóm phép thử phụ, không bắt buộc; ISO 14644-3 thì không có hạng mục này, nên nếu muốn nghiệm thu thì phải ghi rõ trong hợp đồng độ cao đo, lưới đo, độ rọi mục tiêu và độ đồng đều. Độ cao đo mỗi nơi ghi một khác (760 mm, 0.8 m, 915 mm đều có), lấy theo hợp đồng.

Chiếu sáng khu vực ánh sáng vàng: độ rọi không có giá trị tiêu chuẩn

Khu vực ánh sáng vàng (khu quang khắc) phải lọc bỏ các bước sóng ngắn làm chất cảm quang bị phơi sáng; khuyến nghị của nhà cung cấp chất cảm quang là chặn toàn bộ dưới 500 nm. Không tìm thấy tiêu chuẩn nào đưa ra con số độ rọi cho khu vực ánh sáng vàng; ISO 14644-4:2001 xếp giới hạn bước sóng của chiếu sáng vào các hạng mục bên mua và bên bán phải thỏa thuận. Sau khi thêm lọc sáng, độ rọi sẽ giảm, nên khi thiết kế phải tính bằng quang thông sau khi lọc; về kiểm soát AMC ở khu vực ánh sáng vàng, xem thêm Thực chiến kiểm soát AMC khu quang khắc EUV.

6 điều cần xác nhận trước khi thiết kế và mua sắm

  1. 1Áp dụng văn bản nào: mức tối thiểu theo quy định của Đài Loan, CNS 12112, hay tiêu chuẩn GB, JIS, EN do khách hàng chỉ định.
  2. 2Độ rọi duy trì mục tiêu và độ đồng đều của từng khu, và chỉ tính chiếu sáng chung hay tính cả chiếu sáng cục bộ.
  3. 3Hệ số sử dụng và hệ số duy trì dùng trong tính toán; mức duy trì quang thông của đèn là L80 hay L90.
  4. 4Có giới hạn bước sóng (khu vực ánh sáng vàng) và yêu cầu về hoàn màu hay không; JIS Z 9110 yêu cầu Ra từ 90 trở lên với công việc mà màu sắc là quan trọng.
  5. 5Độ cao đo, lưới đo và cách đánh giá khi nghiệm thu đã được ghi vào hợp đồng hay chưa.
  6. 6Chiếu sáng dự phòng và chiếu sáng thoát nạn do ai thiết kế.

Cách chọn các thiết bị khác trên trần phòng sạch, xem dòng thiết bị phòng sạch và hướng dẫn chọn FFU.

Câu hỏi thường gặp

Q: Tiêu chuẩn độ rọi phòng sạch là bao nhiêu lux?

Không có một con số duy nhất. Mức tối thiểu theo luật của Đài Loan là Điều 313 của Quy tắc Cơ sở vật chất An toàn Vệ sinh Lao động (lắp ráp chính xác và kiểm tra tinh từ 500–1,000 lux trở lên); CNS 12112 đặt độ rọi duy trì 1,500 lux cho phòng làm việc điện tử, phòng thử nghiệm; GB 50073-2013 của Trung Quốc đại lục đặt 200–500 lx cho phòng sản xuất trong phòng sạch. Giá trị thiết kế thực tế do công việc thị giác của quy trình quyết định.

Q: Tiêu chuẩn độ rọi nhà máy theo luật an toàn lao động Đài Loan là bao nhiêu?

Điều 313 của Quy tắc Cơ sở vật chất An toàn Vệ sinh Lao động của Đài Loan phân cấp theo mức độ tinh của công việc: lối đi và kho 50, phòng máy và phòng thay đồ 100, lắp ráp linh kiện và kiểm tra thông thường 200, thử nghiệm chính xác và văn phòng thông thường 300, lắp ráp chính xác và kiểm tra tinh 500–1,000, lắp ráp và kiểm tra thiết bị cực tinh vi từ 1,000 mét-nến trở lên. Mét-nến chính là lux.

Q: ISO 14644 có quy định độ rọi phòng sạch không?

Không. Phụ lục F của ISO 14644-4:2001 chỉ yêu cầu độ rọi và độ đồng đều của từng khu phải được quy định, các hạng mục thử của ISO 14644-3 cũng không bao gồm độ rọi. Độ rọi phải được ghi vào đặc tả yêu cầu người sử dụng và hợp đồng.

Q: Phòng sạch của nhà máy dược GMP cần độ rọi bao nhiêu?

21 CFR 211.44 của Mỹ, EU GMP và WHO GMP đều chỉ yêu cầu chiếu sáng đầy đủ hoặc phù hợp, không có giá trị lux. Giá trị thiết kế có thể dẫn chiếu là 300 lx cho phòng làm việc chính theo GB 50457-2019 và 500 lx cho sản xuất dược phẩm theo EN 12464-1:2021. Yêu cầu về bộ lọc của phòng sạch GMP xem Phân tích đầy đủ quy định HEPA cho nhà máy dược GMP.

Q: Đo độ rọi ở độ cao nào?

Đo ở độ cao mặt làm việc. Khi không chỉ định, JIS C 7612 lấy 80 ± 5 cm so với sàn, mẫu quy cách kỹ thuật của NEBB ghi 915 mm; lấy theo hợp đồng.

Q: Trần FFU lấp đầy, đèn giọt nước có đạt được 1,500 lux không?

Chỉ dựa vào chiếu sáng chung thì rất khó. Ước tính với bóng đơn 2,100 lm, hệ số sử dụng 0.6, hệ số duy trì 0.8, mỗi đường khung 1200 mm treo một hàng bóng đơn thì được khoảng 700 lx; muốn cao hơn thì dùng loại hai bóng, tăng số hàng, hoặc thêm chiếu sáng cục bộ tại vị trí làm việc.