採購單上寫「須符合 EN 1822 H14」,日本供應商回覆「我們的報告是依 ISO 29463 測試」——這算過還是不過?

ISO 29463 = EN 1822 的國際版

一句話講完:ISO 29463 就是把 EN 1822 從歐洲標準升級成國際標準的結果。兩者的技術核心幾乎一致——等級代號(E10–U17)、MPPS 測試概念、三關測試流程,都是同一套邏輯。

為什麼要再出一個 ISO 版?因為 EN 是「歐洲標準」,法律上只在 CEN 會員國有約束力。美國、日本、中國、台灣等非 CEN 國家雖然大量引用 EN 1822,但在官方法規裡引用「別人家的區域標準」總是不方便。ISO 29463 解決了這個問題——它是 ISO(國際標準化組織)發布的,全球任何國家都能直接引用。

EN 1822 分級系統 還不熟的讀者,建議先看完那篇再回來對照。

逐項對照

ISO 29463 vs EN 1822:逐項對照

ISO 29463 基本上是 EN 1822 的「國際化改寫」,技術核心幾乎一樣,但在幾個細節上收緊或放寬

比較項目EN 1822ISO 29463差異
等級名稱E10–E12, H13–H14, U15–U17完全相同無差異
效率閾值H13 ≥ 99.95%, H14 ≥ 99.995%…完全相同無差異
測試粒子DOP 或 PAOPAO 為主(DOP 因致癌疑慮被弱化)實務無差異(業界已普遍轉 PAO)
掃描速度未明確規定上限明確定義掃描速度上限ISO 更嚴格 — 防止「掃太快漏看」
局部效率門檻H14 起完全相同無差異
適用地域歐洲(CEN 成員國)全球(ISO 成員國)ISO 全球通用,跨國採購免轉換
與國家標準關係歐洲各國直接採用(如 DIN EN 1822)日本 JIS B 9927 / 中國 GB/T、台灣 CNS 等對標非歐洲國家透過 ISO 29463 與歐洲對齊

ISO 29463 共 5 個 Part(Part 1 分級、Part 2 氣溶膠產生、Part 3 濾材測試、Part 4 洩漏偵測、Part 5 整體效率)。EN 1822 共 5 個 Part,結構類似但編號順序不同。兩者的技術差異極小,主要是 ISO 統一了各國原本分散的做法。

幾個關鍵差異:

比較項目EN 1822ISO 29463
發布機構CEN(歐洲)ISO(國際)
等級代號E10–U17,完全相同E10–U17,完全相同
MPPS 概念有,邏輯一致
掃描測試H13 起必做H13 起必做
文件結構單一文件拆成 5 個 Part
氣膠產生器規範較概略更詳細的儀器校準要求
粒子計數器規範較概略增加對光學粒子計數器(OPC)的精度要求

最大的差別不在「測什麼」,而在「怎麼確保測得準」——ISO 29463 對實驗室儀器的校準、氣膠產生器的穩定性、取樣管路的損失補償等,都比 EN 1822 寫得更細。

白話翻譯:如果 EN 1822 是考試大綱,ISO 29463 就是大綱 + 監考規則 + 防弊措施。考的內容一樣,但對考場環境的要求更嚴格。

全球各國採用情況

全球 HEPA/ULPA 標準對照地圖

EN 1822 是歐洲標準,ISO 29463 是國際標準 — 各國的國家標準幾乎都對標到這兩者之一

國家 / 地區國家標準對標
歐盟 / CEN 會員國EN 1822ISO 29463
德國DIN EN 1822EN 1822 = ISO 29463
日本JIS B 9927ISO 29463
中國GB/T 13554ISO 29463
台灣CNSISO 29463
韓國KSISO 29463
美國IEST-RP-CC001— (獨立體系)

美國是唯一仍廣泛使用 IEST(Institute of Environmental Sciences and Technology)體系的市場,但跨國企業與半導體廠幾乎已統一採用 EN 1822 / ISO 29463。台灣 CNS 目前與 ISO 29463 對齊。

現實是:多數國家正在從 EN 1822 過渡到 ISO 29463,但過渡期很長

  • 歐盟:CEN 已將 ISO 29463 轉化為 EN ISO 29463,但市場上 EN 1822 認證的濾網仍然是主流,短期內不會消失
  • 日本:JIS 已發布對應的 JIS B 9927,技術上與 ISO 29463 對齊,但日本市場習慣看 JIS 報告
  • 中國:GB/T 已採納 ISO 29463 為國標,新建 Fab 規範已開始引用
  • 美國:IEST 仍然是市場慣例,但 ISO 29463 在跨國企業的全球統一規範中越來越常見
  • 台灣:CNS 尚未完全轉化,但半導體大廠(台積電、聯電等)的內部規範已大量引用 ISO 29463

美國 IEST 為什麼還在

美國市場比較特殊。IEST-RP-CC001(HEPA 和 ULPA 濾網推薦慣例)在北美深耕數十年,整個供應鏈——從濾網製造商到測試實驗室到終端用戶——都圍繞 IEST 建立。

IEST 跟 EN 1822 / ISO 29463 最大的差別:

項目IESTEN 1822 / ISO 29463
挑戰粒徑固定 0.3 μmMPPS(依濾材而異)
挑戰氣膠DOP 或 PAODEHS 或其他
等級劃分Type A / B / C / D / E / FE10–U17
掃描速度規範較寬鬆較嚴格

在實務上,很多跨國半導體廠會同時要求「EN 1822 / ISO 29463 報告」和「IEST 報告」——因為歐亞廠區用前者、美國廠區用後者。濾網製造商通常會出具雙報告。

跨國採購怎麼看

如果你是採購方,面對同一片濾網兩份報告,怎麼判斷?

情境 1:報告只有 EN 1822 → 技術上與 ISO 29463 等效,可接受。但若你的公司規範已升級到 ISO 29463,建議要求供應商補出 ISO 報告(差別主要在儀器校準紀錄)。

情境 2:報告只有 ISO 29463 → 等級代號和測試方法與 EN 1822 一致,可直接用。如果對方質疑「這不是 EN 1822」,出示 ISO 29463 與 EN 1822 的對照表即可。

情境 3:報告是 IEST(Type C = H13 等效) → 等級可對應,但測試方法不同(固定 0.3 μm vs MPPS)。如果你的規範寫的是 EN 1822 / ISO 29463,嚴格來說不能直接替代——需要供應商補做 MPPS 測試。

建議:新的採購規範直接寫 ISO 29463,附註「或等效的 EN 1822 / EN ISO 29463」。這樣全球供應商都能接軌,不用再爭論「到底認哪個」。

想深入了解 ISO 14644 無塵室分級 如何與濾網等級對應,可以交叉參考。

常見問題

Q:我手上的 EN 1822 認證能在日本用嗎?

A:技術上可以,因為 EN 1822 與 ISO 29463 的等級和測試方法一致。但日本客戶可能要求你同時出具 JIS B 9927 報告,特別是如果他們的採購規範指定了 JIS。實務上多數情況是:附上 EN 1822 報告 + 等級對照說明,日本端可以接受。

Q:DOP 測試法真的不能用了嗎?

A:DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)因為有健康疑慮(可能是內分泌干擾物),已被 DEHS(癸二酸二乙基己酯)或 PAO(聚α-烯烴)取代。EN 1822 和 ISO 29463 都不再指定 DOP 作為標準氣膠。但 IEST 仍然保留 DOP/PAO 的選項。如果客戶的舊規範寫「DOP 測試」,建議更新為「DEHS 或 PAO 測試」。

Q:ISO 29463 比 EN 1822 嚴格還是寬鬆?

A:效率門檻完全一樣(H13 = 99.95%、H14 = 99.995%⋯⋯),所以不存在「誰比較嚴」的問題。ISO 29463 更嚴格的地方在於測試程序的品管——對儀器校準、氣膠穩定性、取樣損失的要求更細。

Q:半導體 Fab 該用哪個標準?

A:看你的 Fab 在哪裡、客戶在哪裡。如果是全球佈局的大廠,建議統一用 ISO 29463 作為主規範,各地再附上當地標準的對照表(歐洲附 EN 1822、日本附 JIS、美國附 IEST)。這樣一份濾網 spec 就能打全球。

Q:CNS(台灣國家標準)跟這兩個什麼關係?

A:CNS 尚未完整轉化 ISO 29463。台灣市場目前仍以 EN 1822 為主流引用標準,但半導體大廠的採購規範已陸續改用 ISO 29463。如果你是供應商,建議同時準備 EN 1822 和 ISO 29463 報告,覆蓋面最廣。