採購單上寫「須符合 EN 1822 H14」,日本供應商回覆「我們的報告是依 ISO 29463 測試」——這算過還是不過?

ISO 29463 = EN 1822 的國際版

一句話講完:ISO 29463 就是把 EN 1822 從歐洲標準升級成國際標準的結果。兩者的技術核心幾乎一致——等級代號(E10–U17)、MPPS 測試概念、三關測試流程,都是同一套邏輯。

為什麼要再出一個 ISO 版?因為 EN 是「歐洲標準」,法律上只在 CEN 會員國有約束力。美國、日本、中國、台灣等非 CEN 國家雖然大量引用 EN 1822,但在官方法規裡引用「別人家的區域標準」總是不方便。ISO 29463 解決了這個問題——它是 ISO(國際標準化組織)發布的,全球任何國家都能直接引用。

對 EN 1822 分級系統 還不熟的讀者,建議先看完那篇再回來對照。

逐項對照

ISO 29463 vs EN 1822:逐項對照

ISO 29463 基本上是 EN 1822 的「國際化改寫」,技術核心幾乎一樣,但在幾個細節上收緊或放寬

比較項目EN 1822ISO 29463差異
等級名稱E10–E12, H13–H14, U15–U17完全相同無差異
效率閾值H13 ≥ 99.95%, H14 ≥ 99.995%…完全相同無差異
測試粒子DOP 或 PAOPAO 為主(DOP 因致癌疑慮被弱化)實務無差異(業界已普遍轉 PAO)
掃描速度未明確規定上限明確定義掃描速度上限ISO 更嚴格 — 防止「掃太快漏看」
局部效率門檻H14 起完全相同無差異
適用地域歐洲(CEN 成員國)全球(ISO 成員國)ISO 全球通用,跨國採購免轉換
與國家標準關係歐洲各國直接採用(如 DIN EN 1822)日本 JIS B 9927 / 中國 GB/T、台灣 CNS 等對標非歐洲國家透過 ISO 29463 與歐洲對齊

ISO 29463 共 5 個 Part(Part 1 分級、Part 2 氣溶膠產生、Part 3 濾材測試、Part 4 洩漏偵測、Part 5 整體效率)。EN 1822 共 5 個 Part,結構類似但編號順序不同。兩者的技術差異極小,主要是 ISO 統一了各國原本分散的做法。

幾個關鍵差異:

比較項目EN 1822ISO 29463
發布機構CEN(歐洲)ISO(國際)
等級代號E10–U17,完全相同E10–U17,完全相同
MPPS 概念有有,邏輯一致
掃描測試H13 起必做H13 起必做
文件結構單一文件拆成 5 個 Part
氣膠產生器規範較概略更詳細的儀器校準要求
粒子計數器規範較概略增加對光學粒子計數器(OPC)的精度要求

最大的差別不在「測什麼」,而在「怎麼確保測得準」——ISO 29463 對實驗室儀器的校準、氣膠產生器的穩定性、取樣管路的損失補償等,都比 EN 1822 寫得更細。

白話翻譯:如果 EN 1822 是考試大綱,ISO 29463 就是大綱 + 監考規則 + 防弊措施。考的內容一樣,但對考場環境的要求更嚴格。

全球各國採用情況

全球 HEPA/ULPA 標準對照地圖

EN 1822 是歐洲標準,ISO 29463 是國際標準 — 各國的國家標準幾乎都對標到這兩者之一

國家 / 地區國家標準對標
歐盟 / CEN 會員國EN 1822ISO 29463
德國DIN EN 1822EN 1822 = ISO 29463
日本JIS B 9927ISO 29463
中國GB/T 13554ISO 29463
台灣CNSISO 29463
韓國KSISO 29463
美國IEST-RP-CC001— (獨立體系)

美國是唯一仍廣泛使用 IEST(Institute of Environmental Sciences and Technology)體系的市場,但跨國企業與半導體廠幾乎已統一採用 EN 1822 / ISO 29463。台灣 CNS 目前與 ISO 29463 對齊。

現實是:多數國家正在從 EN 1822 過渡到 ISO 29463,但過渡期很長。

  • ▸歐盟:CEN 已將 ISO 29463 轉化為 EN ISO 29463,但市場上 EN 1822 認證的濾網仍然是主流,短期內不會消失
  • ▸日本:JIS 已發布對應的 JIS B 9927,技術上與 ISO 29463 對齊,但日本市場習慣看 JIS 報告
  • ▸中國:GB/T 已採納 ISO 29463 為國標,新建 Fab 規範已開始引用
  • ▸美國:IEST 仍然是市場慣例,但 ISO 29463 在跨國企業的全球統一規範中越來越常見
  • ▸台灣:CNS 尚未完全轉化,但半導體大廠(台積電、聯電等)的內部規範已大量引用 ISO 29463

美國 IEST 為什麼還在

美國市場比較特殊。IEST-RP-CC001(HEPA 和 ULPA 濾網推薦慣例)在北美深耕數十年,整個供應鏈——從濾網製造商到測試實驗室到終端用戶——都圍繞 IEST 建立。

IEST 跟 EN 1822 / ISO 29463 最大的差別:

項目IESTEN 1822 / ISO 29463
挑戰粒徑固定 0.3 μmMPPS(依濾材而異)
挑戰氣膠DOP 或 PAODEHS 或其他
等級劃分Type A / B / C / D / E / FE10–U17
掃描速度規範較寬鬆較嚴格

在實務上,很多跨國半導體廠會同時要求「EN 1822 / ISO 29463 報告」和「IEST 報告」——因為歐亞廠區用前者、美國廠區用後者。濾網製造商通常會出具雙報告。

跨國採購怎麼看

如果你是採購方,面對同一片濾網兩份報告,怎麼判斷?

情境 1:報告只有 EN 1822 → 技術上與 ISO 29463 等效,可接受。但若你的公司規範已升級到 ISO 29463,建議要求供應商補出 ISO 報告(差別主要在儀器校準紀錄)。

情境 2:報告只有 ISO 29463 → 等級代號和測試方法與 EN 1822 一致,可直接用。如果對方質疑「這不是 EN 1822」,出示 ISO 29463 與 EN 1822 的對照表即可。

情境 3:報告是 IEST(Type C = H13 等效) → 等級可對應,但測試方法不同(固定 0.3 μm vs MPPS)。如果你的規範寫的是 EN 1822 / ISO 29463,嚴格來說不能直接替代——需要供應商補做 MPPS 測試。

建議:新的採購規範直接寫 ISO 29463,附註「或等效的 EN 1822 / EN ISO 29463」。這樣全球供應商都能接軌,不用再爭論「到底認哪個」。

想深入了解 ISO 14644 無塵室分級 如何與濾網等級對應,可以交叉參考。

常見問題

Q:我手上的 EN 1822 認證能在日本用嗎?

A:技術上可以,因為 EN 1822 與 ISO 29463 的等級和測試方法一致。但日本客戶可能要求你同時出具 JIS B 9927 報告,特別是如果他們的採購規範指定了 JIS。實務上多數情況是:附上 EN 1822 報告 + 等級對照說明,日本端可以接受。

Q:DOP 測試法真的不能用了嗎?

A:DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)因為有健康疑慮(可能是內分泌干擾物),已被 DEHS(癸二酸二乙基己酯)或 PAO(聚α-烯烴)取代。EN 1822 和 ISO 29463 都不再指定 DOP 作為標準氣膠。但 IEST 仍然保留 DOP/PAO 的選項。如果客戶的舊規範寫「DOP 測試」,建議更新為「DEHS 或 PAO 測試」。

Q:ISO 29463 比 EN 1822 嚴格還是寬鬆?

A:效率門檻完全一樣(H13 = 99.95%、H14 = 99.995%⋯⋯),所以不存在「誰比較嚴」的問題。ISO 29463 更嚴格的地方在於測試程序的品管——對儀器校準、氣膠穩定性、取樣損失的要求更細。

Q:半導體 Fab 該用哪個標準?

A:看你的 Fab 在哪裡、客戶在哪裡。如果是全球佈局的大廠,建議統一用 ISO 29463 作為主規範,各地再附上當地標準的對照表(歐洲附 EN 1822、日本附 JIS、美國附 IEST)。這樣一份濾網 spec 就能打全球。

Q:CNS(台灣國家標準)跟這兩個什麼關係?

A:CNS 尚未完整轉化 ISO 29463。台灣市場目前仍以 EN 1822 為主流引用標準,但半導體大廠的採購規範已陸續改用 ISO 29463。如果你是供應商,建議同時準備 EN 1822 和 ISO 29463 報告,覆蓋面最廣。