採購單上寫「須符合 EN 1822 H14」,日本供應商回覆「我們的報告是依 ISO 29463 測試」——這算過還是不過?
ISO 29463 = EN 1822 的國際版
一句話講完:ISO 29463 就是把 EN 1822 從歐洲標準升級成國際標準的結果。兩者的技術核心幾乎一致——等級代號(E10–U17)、MPPS 測試概念、三關測試流程,都是同一套邏輯。
為什麼要再出一個 ISO 版?因為 EN 是「歐洲標準」,法律上只在 CEN 會員國有約束力。美國、日本、中國、台灣等非 CEN 國家雖然大量引用 EN 1822,但在官方法規裡引用「別人家的區域標準」總是不方便。ISO 29463 解決了這個問題——它是 ISO(國際標準化組織)發布的,全球任何國家都能直接引用。
對 EN 1822 分級系統 還不熟的讀者,建議先看完那篇再回來對照。
逐項對照
ISO 29463 vs EN 1822:逐項對照
ISO 29463 基本上是 EN 1822 的「國際化改寫」,技術核心幾乎一樣,但在幾個細節上收緊或放寬
| 比較項目 | EN 1822 | ISO 29463 | 差異 |
|---|---|---|---|
| 等級名稱 | E10–E12, H13–H14, U15–U17 | 完全相同 | 無差異 |
| 效率閾值 | H13 ≥ 99.95%, H14 ≥ 99.995%… | 完全相同 | 無差異 |
| 測試粒子 | DOP 或 PAO | PAO 為主(DOP 因致癌疑慮被弱化) | 實務無差異(業界已普遍轉 PAO) |
| 掃描速度 | 未明確規定上限 | 明確定義掃描速度上限 | ISO 更嚴格 — 防止「掃太快漏看」 |
| 局部效率門檻 | H14 起 | 完全相同 | 無差異 |
| 適用地域 | 歐洲(CEN 成員國) | 全球(ISO 成員國) | ISO 全球通用,跨國採購免轉換 |
| 與國家標準關係 | 歐洲各國直接採用(如 DIN EN 1822) | 日本 JIS B 9927 / 中國 GB/T、台灣 CNS 等對標 | 非歐洲國家透過 ISO 29463 與歐洲對齊 |
ISO 29463 共 5 個 Part(Part 1 分級、Part 2 氣溶膠產生、Part 3 濾材測試、Part 4 洩漏偵測、Part 5 整體效率)。EN 1822 共 5 個 Part,結構類似但編號順序不同。兩者的技術差異極小,主要是 ISO 統一了各國原本分散的做法。
幾個關鍵差異:
| 比較項目 | EN 1822 | ISO 29463 |
|---|---|---|
| 發布機構 | CEN(歐洲) | ISO(國際) |
| 等級代號 | E10–U17,完全相同 | E10–U17,完全相同 |
| MPPS 概念 | 有 | 有,邏輯一致 |
| 掃描測試 | H13 起必做 | H13 起必做 |
| 文件結構 | 單一文件 | 拆成 5 個 Part |
| 氣膠產生器規範 | 較概略 | 更詳細的儀器校準要求 |
| 粒子計數器規範 | 較概略 | 增加對光學粒子計數器(OPC)的精度要求 |
最大的差別不在「測什麼」,而在「怎麼確保測得準」——ISO 29463 對實驗室儀器的校準、氣膠產生器的穩定性、取樣管路的損失補償等,都比 EN 1822 寫得更細。
白話翻譯:如果 EN 1822 是考試大綱,ISO 29463 就是大綱 + 監考規則 + 防弊措施。考的內容一樣,但對考場環境的要求更嚴格。
全球各國採用情況
全球 HEPA/ULPA 標準對照地圖
EN 1822 是歐洲標準,ISO 29463 是國際標準 — 各國的國家標準幾乎都對標到這兩者之一
| 國家 / 地區 | 國家標準 | 對標 |
|---|---|---|
| 歐盟 / CEN 會員國 | EN 1822 | ISO 29463 |
| 德國 | DIN EN 1822 | EN 1822 = ISO 29463 |
| 日本 | JIS B 9927 | ISO 29463 |
| 中國 | GB/T 13554 | ISO 29463 |
| 台灣 | CNS | ISO 29463 |
| 韓國 | KS | ISO 29463 |
| 美國 | IEST-RP-CC001 | — (獨立體系) |
美國是唯一仍廣泛使用 IEST(Institute of Environmental Sciences and Technology)體系的市場,但跨國企業與半導體廠幾乎已統一採用 EN 1822 / ISO 29463。台灣 CNS 目前與 ISO 29463 對齊。
現實是:多數國家正在從 EN 1822 過渡到 ISO 29463,但過渡期很長。
- ▸歐盟:CEN 已將 ISO 29463 轉化為 EN ISO 29463,但市場上 EN 1822 認證的濾網仍然是主流,短期內不會消失
- ▸日本:JIS 已發布對應的 JIS B 9927,技術上與 ISO 29463 對齊,但日本市場習慣看 JIS 報告
- ▸中國:GB/T 已採納 ISO 29463 為國標,新建 Fab 規範已開始引用
- ▸美國:IEST 仍然是市場慣例,但 ISO 29463 在跨國企業的全球統一規範中越來越常見
- ▸台灣:CNS 尚未完全轉化,但半導體大廠(台積電、聯電等)的內部規範已大量引用 ISO 29463
美國 IEST 為什麼還在
美國市場比較特殊。IEST-RP-CC001(HEPA 和 ULPA 濾網推薦慣例)在北美深耕數十年,整個供應鏈——從濾網製造商到測試實驗室到終端用戶——都圍繞 IEST 建立。
IEST 跟 EN 1822 / ISO 29463 最大的差別:
| 項目 | IEST | EN 1822 / ISO 29463 |
|---|---|---|
| 挑戰粒徑 | 固定 0.3 μm | MPPS(依濾材而異) |
| 挑戰氣膠 | DOP 或 PAO | DEHS 或其他 |
| 等級劃分 | Type A / B / C / D / E / F | E10–U17 |
| 掃描速度規範 | 較寬鬆 | 較嚴格 |
在實務上,很多跨國半導體廠會同時要求「EN 1822 / ISO 29463 報告」和「IEST 報告」——因為歐亞廠區用前者、美國廠區用後者。濾網製造商通常會出具雙報告。
跨國採購怎麼看
如果你是採購方,面對同一片濾網兩份報告,怎麼判斷?
情境 1:報告只有 EN 1822 → 技術上與 ISO 29463 等效,可接受。但若你的公司規範已升級到 ISO 29463,建議要求供應商補出 ISO 報告(差別主要在儀器校準紀錄)。
情境 2:報告只有 ISO 29463 → 等級代號和測試方法與 EN 1822 一致,可直接用。如果對方質疑「這不是 EN 1822」,出示 ISO 29463 與 EN 1822 的對照表即可。
情境 3:報告是 IEST(Type C = H13 等效) → 等級可對應,但測試方法不同(固定 0.3 μm vs MPPS)。如果你的規範寫的是 EN 1822 / ISO 29463,嚴格來說不能直接替代——需要供應商補做 MPPS 測試。
建議:新的採購規範直接寫 ISO 29463,附註「或等效的 EN 1822 / EN ISO 29463」。這樣全球供應商都能接軌,不用再爭論「到底認哪個」。
想深入了解 ISO 14644 無塵室分級 如何與濾網等級對應,可以交叉參考。
常見問題
Q:我手上的 EN 1822 認證能在日本用嗎?
A:技術上可以,因為 EN 1822 與 ISO 29463 的等級和測試方法一致。但日本客戶可能要求你同時出具 JIS B 9927 報告,特別是如果他們的採購規範指定了 JIS。實務上多數情況是:附上 EN 1822 報告 + 等級對照說明,日本端可以接受。
Q:DOP 測試法真的不能用了嗎?
A:DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)因為有健康疑慮(可能是內分泌干擾物),已被 DEHS(癸二酸二乙基己酯)或 PAO(聚α-烯烴)取代。EN 1822 和 ISO 29463 都不再指定 DOP 作為標準氣膠。但 IEST 仍然保留 DOP/PAO 的選項。如果客戶的舊規範寫「DOP 測試」,建議更新為「DEHS 或 PAO 測試」。
Q:ISO 29463 比 EN 1822 嚴格還是寬鬆?
A:效率門檻完全一樣(H13 = 99.95%、H14 = 99.995%⋯⋯),所以不存在「誰比較嚴」的問題。ISO 29463 更嚴格的地方在於測試程序的品管——對儀器校準、氣膠穩定性、取樣損失的要求更細。
Q:半導體 Fab 該用哪個標準?
A:看你的 Fab 在哪裡、客戶在哪裡。如果是全球佈局的大廠,建議統一用 ISO 29463 作為主規範,各地再附上當地標準的對照表(歐洲附 EN 1822、日本附 JIS、美國附 IEST)。這樣一份濾網 spec 就能打全球。
Q:CNS(台灣國家標準)跟這兩個什麼關係?
A:CNS 尚未完整轉化 ISO 29463。台灣市場目前仍以 EN 1822 為主流引用標準,但半導體大廠的採購規範已陸續改用 ISO 29463。如果你是供應商,建議同時準備 EN 1822 和 ISO 29463 報告,覆蓋面最廣。



