구매서에는 EN 1822 H14에 맞아야 한다고 적혀 있는데 일본 공급업체는 우리 보고서는 ISO 29463으로 시험했다고 답합니다. 이것은 통과일까요 아닐까요?
ISO 29463 = EN 1822의 국제판
한 문장으로 끝내자면 ISO 29463은 EN 1822를 유럽 규격에서 국제 규격으로 올린 결과입니다. 둘의 기술적 핵심은 거의 같습니다. 등급 코드(E10–U17), MPPS 시험 개념, 세 관문 시험 절차가 모두 같은 논리입니다.
왜 ISO 판을 따로 냈을까요? EN은 유럽 규격이라 법적으로 CEN 회원국에서만 구속력이 있기 때문입니다. 미국, 일본, 중국, 대만 같은 비CEN 국가들도 EN 1822를 많이 인용하지만 공식 법규에서 남의 지역 규격을 인용하는 것은 늘 불편합니다. ISO 29463이 이 문제를 풀었습니다. ISO(국제표준화기구)가 발표한 것이라 세계 어느 나라든 곧바로 인용할 수 있습니다.
EN 1822 등급 체계가 아직 익숙하지 않은 분은 그 글을 먼저 읽고 돌아와 대조해 보기를 권합니다.
항목별 대조
ISO 29463 vs EN 1822: 항목별 대조
ISO 29463은 기본적으로 EN 1822를 국제화해 고쳐 쓴 것이라 기술적 핵심은 거의 같지만 몇몇 세부에서 조이거나 풀었습니다
| 비교 항목 | EN 1822 | ISO 29463 | 차이 |
|---|---|---|---|
| 등급 명칭 | E10–E12, H13–H14, U15–U17 | 완전히 동일 | 차이 없음 |
| 효율 문턱값 | H13 ≥ 99.95%, H14 ≥ 99.995%… | 완전히 동일 | 차이 없음 |
| 시험 입자 | DOP 또는 PAO | PAO가 주류(DOP는 발암 우려로 약화됨) | 실무에서는 차이 없음(업계가 이미 PAO로 옮겨 감) |
| 스캔 속도 | 상한을 명확히 정하지 않음 | 스캔 속도 상한을 명확히 정의 | ISO가 더 엄격 — 너무 빨리 훑어 놓치는 것을 막음 |
| 국부 효율 문턱 | H14부터 | 완전히 동일 | 차이 없음 |
| 적용 지역 | 유럽(CEN 회원국) | 전 세계(ISO 회원국) | ISO는 전 세계에서 통용되어 해외 구매에서 환산이 필요 없음 |
| 국가 규격과의 관계 | 유럽 각국이 그대로 채택(DIN EN 1822 등) | 일본 JIS B 9927, 중국 GB/T, 대만 CNS 등이 맞춰 감 | 비유럽 국가는 ISO 29463을 통해 유럽과 정렬 |
ISO 29463은 모두 5개 Part입니다(Part 1 등급, Part 2 에어로졸 발생, Part 3 여재 시험, Part 4 누설 검출, Part 5 전체 효율). EN 1822도 5개 Part이며 구조는 비슷하지만 번호 순서가 다릅니다. 둘의 기술적 차이는 아주 작고 주로 ISO가 나라마다 흩어져 있던 방식을 통일한 것입니다.
핵심 차이 몇 가지입니다:
| 비교 항목 | EN 1822 | ISO 29463 |
|---|---|---|
| 발표 기관 | CEN(유럽) | ISO(국제) |
| 등급 코드 | E10–U17, 완전히 동일 | E10–U17, 완전히 동일 |
| MPPS 개념 | 있음 | 있음, 논리 동일 |
| 스캔 시험 | H13부터 필수 | H13부터 필수 |
| 문서 구조 | 단일 문서 | 5개 Part로 나뉨 |
| 에어로졸 발생기 규정 | 비교적 개략적 | 더 상세한 계측기 교정 요구 |
| 입자 계수기 규정 | 비교적 개략적 | 광학 입자 계수기(OPC)의 정밀도 요구 추가 |
가장 큰 차이는 무엇을 재느냐가 아니라 어떻게 정확히 재도록 보장하느냐에 있습니다. ISO 29463은 실험실 계측기 교정, 에어로졸 발생기의 안정성, 채취 배관의 손실 보정 같은 것을 EN 1822보다 훨씬 자세히 적습니다.
쉬운 말로 옮기면: EN 1822가 시험 출제 범위라면 ISO 29463은 출제 범위에 감독 규칙과 부정행위 방지책을 더한 것입니다. 시험 내용은 같지만 시험장 환경에 대한 요구가 더 엄격합니다.
각국의 채택 상황
전 세계 HEPA/ULPA 규격 대조 지도
EN 1822는 유럽 규격이고 ISO 29463은 국제 규격입니다. 각국의 국가 규격은 거의 다 이 둘 가운데 하나에 맞춰져 있습니다
| 국가 / 지역 | 국가 규격 | 대응 대상 |
|---|---|---|
| EU / CEN 회원국 | EN 1822 | ISO 29463 |
| 독일 | DIN EN 1822 | EN 1822 = ISO 29463 |
| 일본 | JIS B 9927 | ISO 29463 |
| 중국 | GB/T 13554 | ISO 29463 |
| 대만 | CNS | ISO 29463 |
| 한국 | KS | ISO 29463 |
| 미국 | IEST-RP-CC001 | — (獨立體系) |
미국은 IEST(Institute of Environmental Sciences and Technology) 체계를 아직 널리 쓰는 유일한 시장이지만 다국적 기업과 반도체 공장은 거의 EN 1822 / ISO 29463으로 통일했습니다. 대만 CNS는 지금 ISO 29463에 정렬되어 있습니다.
현실은 이렇습니다. 대부분의 나라가 EN 1822에서 ISO 29463으로 넘어가는 중이지만 그 이행 기간이 아주 깁니다.
- ▸EU: CEN이 이미 ISO 29463을 EN ISO 29463으로 전환했지만 시장에서는 EN 1822 인증 필터가 여전히 주류이고 단기간에 사라지지 않습니다
- ▸일본: JIS가 대응하는 JIS B 9927을 발표해 기술적으로 ISO 29463과 정렬했지만 일본 시장은 JIS 보고서를 보는 데 익숙합니다
- ▸중국: GB/T가 ISO 29463을 국가 규격으로 채택했고 새로 짓는 팹의 사양서가 인용하기 시작했습니다
- ▸미국: IEST가 여전히 시장 관행이지만 다국적 기업의 글로벌 통일 사양에서 ISO 29463이 점점 자주 보입니다
- ▸대만: CNS는 아직 완전히 전환하지 않았지만 반도체 대기업(TSMC, UMC 등)의 내부 사양은 이미 ISO 29463을 많이 인용합니다
미국의 IEST는 왜 아직 남아 있나
미국 시장은 좀 특수합니다. IEST-RP-CC001(HEPA와 ULPA 필터 권장 관행)은 북미에서 수십 년을 뿌리내렸고 필터 제조사부터 시험 실험실, 최종 사용자까지 공급망 전체가 IEST를 중심으로 세워졌습니다.
IEST와 EN 1822 / ISO 29463의 가장 큰 차이입니다:
| 항목 | IEST | EN 1822 / ISO 29463 |
|---|---|---|
| 도전 입경 | 고정 0.3 μm | MPPS(여재에 따라 다름) |
| 도전 에어로졸 | DOP 또는 PAO | DEHS 또는 그 밖 |
| 등급 구분 | Type A / B / C / D / E / F | E10–U17 |
| 스캔 속도 규정 | 비교적 느슨함 | 비교적 엄격함 |
실무에서는 다국적 반도체 공장이 EN 1822 / ISO 29463 보고서와 IEST 보고서를 함께 요구하는 일이 많습니다. 유럽·아시아 사업장은 앞의 것을, 미국 사업장은 뒤의 것을 쓰기 때문입니다. 필터 제조사는 보통 두 보고서를 함께 냅니다.
해외 구매에서는 어떻게 보나
구매하는 쪽에서 같은 필터에 두 보고서가 있다면 어떻게 판단할까요?
상황 1: 보고서가 EN 1822뿐일 때 → 기술적으로 ISO 29463과 동등하므로 받아들일 수 있습니다. 다만 회사 사양이 이미 ISO 29463으로 올라갔다면 공급업체에 ISO 보고서를 보완해 달라고 하기를 권합니다(차이는 주로 계측기 교정 기록입니다).
상황 2: 보고서가 ISO 29463뿐일 때 → 등급 코드와 시험 방법이 EN 1822와 같으므로 그대로 쓸 수 있습니다. 상대가 이것은 EN 1822가 아니라고 문제 삼으면 ISO 29463과 EN 1822의 대조표를 보여 주면 됩니다.
상황 3: 보고서가 IEST일 때(Type C = H13 등가) → 등급은 대응시킬 수 있지만 시험 방법이 다릅니다(고정 0.3 μm 대 MPPS). 사양서에 EN 1822 / ISO 29463이라고 적혀 있다면 엄밀히는 그대로 대체할 수 없고 공급업체가 MPPS 시험을 보완해야 합니다.
권고: 새 구매 사양서에는 ISO 29463이라고 곧바로 적고 "또는 동등한 EN 1822 / EN ISO 29463"을 덧붙이십시오. 그러면 전 세계 공급업체가 다 맞출 수 있고 어느 쪽을 인정하느냐를 두고 다툴 일이 없습니다.
ISO 14644 클린룸 등급이 필터 등급과 어떻게 대응하는지 더 알고 싶다면 교차해 참고할 수 있습니다.
자주 묻는 질문
Q: 제가 가진 EN 1822 인증을 일본에서 쓸 수 있습니까?
A: 기술적으로는 됩니다. EN 1822와 ISO 29463의 등급과 시험 방법이 같기 때문입니다. 다만 일본 고객이 JIS B 9927 보고서를 함께 요구할 수 있으며 특히 구매 사양서에 JIS를 지정했다면 그렇습니다. 실무에서는 대개 EN 1822 보고서에 등급 대조 설명을 붙이면 일본 쪽에서 받아들입니다.
Q: DOP 시험법은 정말 못 쓰게 되었습니까?
A: DOP(다이옥틸프탈레이트)는 건강 우려(내분비계 교란물질일 수 있음) 때문에 DEHS(세바스산 다이에틸헥실)나 PAO(폴리알파올레핀)로 대체되었습니다. EN 1822와 ISO 29463 모두 DOP를 표준 에어로졸로 지정하지 않습니다. 다만 IEST는 DOP/PAO 선택지를 여전히 남겨 두었습니다. 고객의 옛 사양서에 DOP 시험이라고 적혀 있다면 DEHS 또는 PAO 시험으로 갱신하기를 권합니다.
Q: ISO 29463이 EN 1822보다 엄격합니까 느슨합니까?
A: 효율 문턱은 완전히 같습니다(H13 = 99.95%, H14 = 99.995%⋯⋯). 그러니 어느 쪽이 더 엄격하냐는 문제 자체가 없습니다. ISO 29463이 더 엄격한 대목은 시험 절차의 품질관리입니다. 계측기 교정, 에어로졸 안정성, 채취 손실에 대한 요구가 더 상세합니다.
Q: 반도체 팹은 어느 규격을 써야 합니까?
A: 팹이 어디에 있고 고객이 어디에 있는지를 봐야 합니다. 세계에 걸쳐 있는 대기업이라면 ISO 29463을 주 사양으로 통일하고 지역마다 현지 규격의 대조표를 붙이기를 권합니다(유럽에는 EN 1822, 일본에는 JIS, 미국에는 IEST). 이러면 필터 사양서 하나로 전 세계를 감당할 수 있습니다.
Q: CNS(대만 국가 규격)는 이 둘과 어떤 관계입니까?
A: CNS는 아직 ISO 29463을 온전히 전환하지 않았습니다. 대만 시장은 지금도 EN 1822를 주로 인용하지만 반도체 대기업의 구매 사양서는 차츰 ISO 29463으로 바뀌고 있습니다. 공급업체라면 EN 1822와 ISO 29463 보고서를 함께 준비하는 것이 가장 넓게 커버합니다.
