カタログに「HEPA H13、効率 99.95%」と書いてある。この数字はどう測ったのか？どの粒径で？「全面」99.95% か「平均」99.95% か？EN 1822 を理解すればすべて答えが出る。
EN 1822 の成り立ち
EN 1822 は欧州標準化委員会（CEN）が策定した高効率エアフィルターの分級・試験規格で、正式名称は「High efficiency air filters — EPA, HEPA and ULPA」。対象は効率 ≥ 95% のフィルター、つまり一般空調では使わない高性能帯以上。
EN 1822 以前は各国がバラバラだった：米国は MIL-STD-282（DOP 法）、日本は JIS B 9927、ドイツは DIN 24184。EN 1822 はこれらを統一し、後に ISO 29463 として国際化された。
メーカーにとっても調達担当にとっても、EN 1822 の等級は共通言語。台湾工場からドイツへ出荷しても、日本メーカーから米国 Fab へ納品しても、H13 は H13 — 試験方法と判定基準は同じ。
EPA / HEPA / ULPA — 3 カテゴリーの違い
EN 1822 は高効率フィルターを 3 つに分類：
| カテゴリー | 等級範囲 | 平たく言うと |
|---|---|---|
| EPA（Efficient Particulate Air） | E10 – E12 | 「高効率」だが HEPA 未満 |
| HEPA（High Efficiency Particulate Air） | H13 – H14 | 本物の「高性能微粒子エアフィルター」 |
| ULPA（Ultra Low Penetration Air） | U15 – U17 | 「超低透過」、半導体グレード |
各等級は「全体効率」と「局所効率」の 2 指標で定義：
EN 1822 全等級一覧
EPA → HEPA → ULPA の 3 大分類・10 等級 — 数字が大きいほど高効率、ただし圧損・コストも上昇
| 等級 | 区分 | 全体効率 ≥ | 局部効率 ≥ | 代表的用途 |
|---|---|---|---|---|
| E10 | EPA | 85% | — | 一般換気、AHU プレフィルター |
| E11 | EPA | 95% | — | 中性能段、電子工場二次ろ過 |
| E12 | EPA | 99.5% | — | 病院一般区域、製薬前段 |
| H13 | HEPA | 99.95% | — | クリーンルーム ISO 7–8、手術室 |
| H14 | HEPA | 99.995% | ≥ 99.975% | 半導体前工程、ISO 5、BSL-3 |
| U15 | ULPA | 99.9995% | ≥ 99.9975% | EUV 先端プロセス、ISO 3–4 |
| U16 | ULPA | 99.99995% | ≥ 99.99975% | 極端クリーン環境、量子実験 |
| U17 | ULPA | 99.999995% | ≥ 99.9999% | 理論極限等級、特殊研究 |
試験基準は MPPS（最大透過粒径、約 0.12–0.25 μm）。「全体効率（Overall）」はフィルター全面平均値、「局部効率（Local）」はスキャン試験中の最低点値。H13 以下は全体効率のみ、H14 以上は局部効率も要求し「一点も漏れなし」を保証。
ポイント：
- ▸E10〜E12 は全体効率のみで判定。スキャン不要
- ▸H13 以上は局所効率も必須——「全面平均」だけでなく最も弱い一点も基準を満たす必要あり
- ▸1 等級あがると漏れ率が約 10 倍厳しくなる：H13 は 0.05% 透過許容、H14 は 0.005%
たとえ話：H13 は「クラス平均 95 点以上、最低点は 75 点以上」。H14 は「クラス平均 99.5 点以上、最低点 99.75 点以上」。ULPA は「一人も不合格を出してはならない」レベル。
MPPS — なぜ 0.3 μm を使わないのか
「HEPA は 0.3 μm を 99.97% 除去」という説明を聞いたことがあるかもしれない。これは米国 IEST の定義。EN 1822 は固定 0.3 μm ではなく、MPPS（Most Penetrating Particle Size）——その個別フィルターにとって最も透過しやすい粒径——を使う。
理由は、フィルターごとに「弱点粒径」が違うから：
- ▸ガラス繊維 HEPA：MPPS は通常 0.12〜0.25 μm
- ▸PTFE メンブレン：MPPS は 0.05〜0.1 μm もありうる
- ▸エレクトレットメディア：使用とともに MPPS がシフト
MPPS：フィルターの「アキレス腱」はどこか
機械捕集は大きい粒子、拡散捕集は小さい粒子を捕る — どちらも苦手な中間粒径が MPPS
米国旧規格（IEST）は 0.3 μm 固定で試験するが、0.3 μm は既に MPPS を外れており、測定効率は「最悪ケース」より良く見える。EN 1822 は MPPS で試験し、真の弱点を捉える。同一フィルターを両規格で測ると EN 1822 の数値がやや低くなるのはこのため。
実際の MPPS はろ材種類・繊維径・面速度で異なり、典型範囲は 0.12–0.25 μm。EN 1822 は「最も捕集困難な粒径」で試験し、0.3 μm 固定よりも厳格かつ実態に即している。
MPPS はフィルターの「アキレス腱」——最も苦手な粒径で挑戦してこそ、最悪条件の効率がわかる。固定 0.3 μm で測ると、弱点を「たまたまかわす」フィルターが実力以上の数字を出してしまう。
要点：EN 1822 の効率値は MPPS で測定されるため、同じフィルターでも固定 0.3 μm 測定より「低く見える」数字になる——しかしその方が正直。
三段階の試験フロー
EN 1822 の完全試験は三段階。等級が上がるほど多くの段階をクリアする必要がある：
EN 1822 試験フロー：素材から出荷までの 3 段階ゲート
ろ材→組立フィルター→全面スキャンの 3 段階。H14 以上は逐枚の局部リーク試験も必須
ろ材サンプル（完成品でなく）で DOP/PAO を用い MPPS 透過率を測定
組立完成品を定格風量で DOP/PAO 灌流、上下流濃度比を計測
プローブが下流面を S 字走査、閾値超過箇所を検出
DOP/PAO エアロゾルは MPPS（約 0.12–0.25 μm）に集中。スキャン速度は通常 3–5 cm/s。H13 は前 2 段階のみ、H14 以上は 3 段階すべて。
第 1 段階：濾材効率試験 完成フィルターから小片を切り出し、MPPS 粒径のエアロゾルで挑戦。濾材そのものの基本性能を確認。
第 2 段階：全体効率試験 完成フィルターを試験ダクトに装着、同じエアロゾルで挑戦。上流・下流の濃度比を測定。「濾材＋枠＋シーラント＋組立品質」の総合成績。
第 3 段階：スキャンリーク試験 プローブでフィルター下流面を一点ずつ走査（地雷探知のように）、局所透過率が最も高い点を特定。一点でも閾値超えは不合格。
E10〜E12 は第 1・第 2 段階のみ。H13 以上は三段階すべて必須。H14 以上は局所効率の閾値がさらに厳しい。
スキャン試験の操作詳細は PAO スキャン試験ガイド を参照。
全体効率 vs 局所効率
EN 1822 で最も重要な概念の一つ：
- ▸全体効率：フィルター全面の平均透過率。「大面積の平均パフォーマンス」を測定
- ▸局所効率：スキャンで見つかった最悪の一点の透過率。「最も弱いリンク」を測定
なぜ 2 つ必要か。フィルターの「平均」が優秀でも、すべてのコーナーが良いとは限らない。よくある局所弱点：
| 弱点の場所 | 原因 |
|---|---|
| 枠と濾材の接合部 | シーラント塗布のムラ |
| プリーツ頂部 | 折り目で濾材が薄くなる |
| セパレーターの縁 | アルミセパレーターと濾材の隙間 |
| 濾材の継ぎ目 | 大型フィルターは接合が必要、継ぎ目が弱点 |
クリーンルームではピンホール一つで部屋全体の清浄度が崩壊しうる——だから H14 以上はスキャン必須で、局所効率の閾値は全体効率より厳しい。
選定実務：EN 1822 等級とクリーンルーム等級の対応
調達で最もよくある質問：「うちのクリーンルームは ISO Class 5 — H13 と H14 どちらを使うべきか？」
簡易対照（実際には換気回数・循環比等も考慮）：
| ISO 14644 等級 | 推奨 EN 1822 等級 | 代表的用途 |
|---|---|---|
| ISO Class 8〜9 | E11〜E12 | 一般電子組立、食品包装 |
| ISO Class 6〜7 | H13 | 製薬充填、LCD パネル |
| ISO Class 5 | H14 | 半導体前工程、TFT-LCD |
| ISO Class 4 以上 | U15〜U17 | 先端プロセス（EUV リソグラフィ、ウェーハ検査） |
クリーンルーム分級の詳細は ISO 14644 クリーンルーム分級解説、HEPA と ULPA の基本的違いは HEPA vs ULPA 違いガイド を参照。
実務メモ：等級はあくまで最低要件。半導体 Fab の調達仕様書は通常「全体効率 ≥ 99.999%」「局所透過率 < 0.001%」等、H14 標準値より厳しい追加要件を付す。サプライヤーとの交渉では「EN 1822 試験方法」＋「効率値」＋「全体か局所か」の 3 点を必ず明示。
よくある質問
Q：H13 と H14 はどのくらい違う？
A：透過率で見ると、H13 は最大 0.05%（効率 99.95%）、H14 は最大 0.005%（効率 99.995%）—— 漏れ率で 10 倍の差。クリーンルームでは、この 10 倍が ISO Class 6 と ISO Class 5 の境界線になることが多い。
Q：米国は HEPA を 99.97%、欧州は 99.95% と言うが、どちらが正しい？
A：どちらも正しいが試験方法が異なる。米国 IEST は固定 0.3 μm DOP 試験で閾値 99.97%。EN 1822 H13 は MPPS 試験で閾値 99.95%。MPPS は最も困難な粒径のため、99.95%@MPPS と 99.97%@0.3 μm は実質的にほぼ同等の難易度。
Q：MPPS は常に 0.3 μm か？
A：違う。MPPS は濾材により異なり、通常 0.05〜0.3 μm。0.3 μm という数字は初期の研究で「大半のガラス繊維濾材の MPPS が 0.3 μm 付近」と判明した結果。現代の濾材（特に PTFE 膜）は MPPS がより小さいことが多い。EN 1822 は各フィルターの実際の MPPS をまず測定し、それを効率試験の挑戦粒径に使う。
Q：EPA（E10〜E12）は HEPA に含まれるか？
A：厳密には含まれない。EN 1822 は EPA と HEPA を明確に分類。EPA は効率閾値が低く（E10 は ≥ 85%）、スキャン試験不要。市場では E11・E12 を「準 HEPA」と称する例もあるが、規格文書上は H13 が HEPA の始まり。
Q：フィルター交換時に H14 から H13 に格下げできるか？
A：クリーンルームバリデーションプロトコル次第。プロトコルに「末端濾過 H14」と記載されている場合、格下げすると ISO Class 逸脱の可能性があり、交換後に気流バランスとパーティクルカウント再検証が必要。コスト削減目的で格下げする場合は、交換後に粒子計数器で実際の濃度が ISO Class 許容範囲内であることを確認し、品質保証部門またはエンドユーザーの書面承認を得ること。
