クリーンルーム設備
二段式エアシャワーパスボックス
製品概要
二段式エアシャワーパスボックスは、2 つの受渡し室を上下に重ね、筐体と制御を共用します。上下の室で異なるロットや異なる搬送方向を扱えるため、同じ壁開口幅のまま受渡し能力を倍にできます。
天面に HEPA フィルターとノズルを備え、搬入物の表面を清浄気流で払ってから通過させます。両扉はインターロックのままで、上下室は独立して動作するため、一方の使用が他方のエアロック状態に影響しません。
主要仕様
- 制御方式
- 電子インターロック、上下チャンバー独立
- 構造形式
- 上部に高効率フィルタとノズル、上下チャンバーは独立
- 本体材質
- 冷延鋼板の静電粉体塗装、オールステンレス仕様も選択可
- 特注寸法
- 開口と搬入物の寸法に合わせて製作
仕様一覧
- 本体材質
- 冷延鋼板の静電粉体塗装、オールステンレス仕様も選択可
- 構造形式
- 上部に高効率フィルタとノズル、上下チャンバーは独立
- 制御方式
- 電子インターロック、上下チャンバー独立
- 装備
- 標準装備は両側扉の専用シール材と観察窓。オプションで紫外線殺菌灯、差圧計、DOP 検査口、インターホン
- 特注寸法
- 開口と搬入物の寸法に合わせて製作
型式対照
| 内径コード | 長さ 外/内 mm | 幅 外/内 mm | 高さ 外/内 mm |
|---|---|---|---|
| 555 | 700/500 | 570/500 | 1700/500・500 |








