日本無機
GCW 無接着剤・低発塵 500°C 耐熱 Semi-HEPA フィルター
製品概要
GCW は連続使用 500°C の耐熱 Semi-HEPA フィルターで、効率 90% @ 0.5-1.0 μm。ガラス繊維濾材にステンレスメッシュ補強を施しており、ATMWC などの高温 HEPA の前段フィルターとして、また HEPA 未満で十分な高温用途に最適です。
主な特長
・連続使用 500°C
・90% @ 0.5-1.0 μm（Semi-HEPA クラス）
・高強度仕様（ガラス繊維＋ステンレスメッシュ）
・ATMWC 前段フィルターとして主フィルター寿命を延長
・無接着剤構造：濾材・シールとも有機接着剤不使用、低発塵でシロキサン放出なし
対象業界：医療、医薬、電子、発電、原子力
特長・仕様
| No. | 型式 | 捕集効率 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 風量 (CMM) | 風量 (CMH) | 初期圧損 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GCW-Z-Q-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 305 | 305 | 150 | 3.0 | 180 | 245 |
| 2 | GCW-Z-Q-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 305 | 610 | 150 | 7.5 | 450 | 245 |
| 3 | GCW-Z-Q-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 457 | 457 | 150 | 8.5 | 510 | 245 |
| 4 | GCW-Z-17-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 610 | 610 | 150 | 17.0 | 1020 | 245 |
| 5 | GCW-Z-Q-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 762 | 610 | 150 | 21.5 | 1290 | 245 |
| 6 | GCW-Z-Q-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 915 | 610 | 150 | 26.0 | 1560 | 245 |
| 7 | GCW-Z-Q-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 915 | 760 | 150 | 33.5 | 2010 | 245 |
| 8 | GCW-Z-P-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 305 | 305 | 290 | 5.5 | 330 | 245 |
| 9 | GCW-Z-P-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 305 | 610 | 290 | 13.5 | 810 | 245 |
| 10 | GCW-Z-P-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 457 | 610 | 290 | 22.0 | 1320 | 245 |
| 11 | GCW-31-P-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 610 | 610 | 290 | 31.0 | 1860 | 245 |
| 12 | GCW-Z-P-L-F | 90%@0.5-1.0μm | 760 | 760 | 290 | 50.0 | 3000 | 245 |
詳細説明
GCW は ATMWC 主フィルターの上流保護を担い、大粒径の塵埃を事前に捕集することで主フィルターの寿命を延ばします。全無機構造で高温システムの温度定格を維持。
材質と構造
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| フレーム | STAINLESS STEEL |
| 濾材 | GLASS FIBER (Held by wire net) |
| 最高使用温度 | 500°C |
| セパレーター | STAINLESS STEEL |
| ガスケット | GLASS PAPER |
| グリル（下流） | - |
| グリル（上流） | - |
| シール剤 | GLASS FIBER |
| 最大風量 | Can be calculated on request |
| 最大終期圧損 (Pa) | 400 |
風量 vs 圧力損失（代表値）
無接着剤・低発塵構造
一般的な HEPA は濾材とフレームの接着・封止にポリウレタン（PU）やシリコーンを使用しており、これらのシール材の長期使用温度はおおむね 100〜200°C 級です。それを超えると接着層はまず軟化・分解して有機分子を放出し、続いて繰返し熱サイクルで脆化・剥離します——フィルター自体が発塵源になるということです。GCW は有機接着剤を一切使用せず、封止はガラス繊維、フレームとセパレーターはステンレスで、組立全体が金属とガラスのみで構成されます。| 部位 | 一般的な接着剤使用 HEPA | GCW（無接着剤） |
|---|---|---|
| シール材 | ポリウレタン / シリコーン | GLASS FIBER |
| 濾材の接着 | 有機バインダー | なし（ガラス繊維（ワイヤーネット保持）） |
| セパレーター | アルミ箔＋ホットメルト | STAINLESS STEEL |
| 高温時のアウトガス | 有機分子、シロキサン | なし |
| 熱サイクル後の発塵 | 接着層の劣化とともに増加 | 安定を維持 |
有機接着剤がなければ、熱分解する対象そのものが存在しません。実務上、次の 2 点の差が生じます。
- 低発塵 — 接着層の劣化・剥離は高温フィルターにおける自己発塵の最も一般的な原因です。無接着剤構造では、昇降温を繰返してもフィルターの経年により下流の粒子数が再上昇することがありません。
- シロキサン汚染なし — シリコーンシールは高温でシロキサンを放出し、ウェハー・光学面・成膜表面に付着するとヘイズと歩留り低下を招きます。半導体、光学コーティング、OLED プロセスは特にこの影響を受けやすい工程です。
GCW は通常 ATMWC の前段に設置されます。前後段がともに全無機でなければ、組合せ全体として本当に 500°C に耐えることはできません。前段に有機接着剤が使われていれば、それが先に分解し、剥離片とアウトガスをそのまま下流の主 HEPA へ送り込むため、システム全体の温度上限が実質的にその接着剤の耐熱温度まで引き下げられてしまいます。
