GCV 無接着剤・低発塵 350°C 耐熱 Semi-HEPA フィルター

製品概要

GCV は連続使用 350°C の耐熱 Semi-HEPA フィルターで、効率 90% @ 0.5-1.0 μm。ATMCU/ATMV の前段フィルターとして、または HEPA 未満で十分な高温用途に独立使用されます。主な特長・連続使用 350°C ・90% @ 0.5-1.0 μm（Semi-HEPA クラス）・全無機構造、アウトガスなし・350°C HEPA 前段フィルターとして常用・無接着剤構造：濾材・シールとも有機接着剤不使用、低発塵でシロキサン放出なし対象業界：医療、医薬、電子、発電、原子力

特長・仕様

No.	型式	捕集効率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期圧損 (Pa)
1	GCV-Z-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	305	305	150	3.0	180	245
2	GCV-Z-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	305	610	150	7.5	450	245
3	GCV-Z-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	457	457	150	8.5	510	245
4	GCV-17-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	610	610	150	17.0	1020	245
5	GCV-Z-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	762	610	150	21.5	1290	245
6	GCV-Z-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	915	610	150	26.0	1560	245
7	GCV-Z-Q-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	915	760	150	33.5	2010	245
8	GCV-Z-P-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	305	305	290	5.5	330	245
9	GCV-Z-P-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	305	610	290	13.5	810	245
10	GCV-Z-P-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	457	610	290	22.0	1320	245
11	GCV-31-P-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	610	610	290	31.0	1860	245
12	GCV-Z-P-L-FS4	90%@0.5-1.0μm	760	760	290	50.0	3000	245

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詳細説明

GCV は 350°C 環境向けの Semi-HEPA オプションで、主として HEPA 主フィルターの寿命延長用に使用。構造が簡素で圧損・コストが低く抑えられます。

材質と構造

項目	仕様
フレーム	STAINLESS STEEL
濾材	GLASS FIBER (Held by wire net)
最高使用温度	350°C (Max. 400°C/1h)
セパレーター	STAINLESS STEEL
ガスケット	GLASS PAPER
グリル（下流）	-
グリル（上流）	-
シール剤	GLASS FIBER
最大風量	Can be calculated on request
最大終期圧損 (Pa)	490

風量 vs 圧力損失（代表値）

610×610 mm 代表曲線。HEPA より圧損が低い。

無接着剤・低発塵構造

一般的な HEPA は濾材とフレームの接着・封止にポリウレタン（PU）やシリコーンを使用しており、これらのシール材の長期使用温度はおおむね 100〜200°C 級です。それを超えると接着層はまず軟化・分解して有機分子を放出し、続いて繰返し熱サイクルで脆化・剥離します——フィルター自体が発塵源になるということです。GCV は有機接着剤を一切使用せず、封止はガラス繊維、フレームとセパレーターはステンレスで、組立全体が金属とガラスのみで構成されます。

部位	一般的な接着剤使用 HEPA	GCV（無接着剤）
シール材	ポリウレタン / シリコーン	GLASS FIBER
濾材の接着	有機バインダー	なし（ガラス繊維（ワイヤーネット保持））
セパレーター	アルミ箔＋ホットメルト	STAINLESS STEEL
高温時のアウトガス	有機分子、シロキサン	なし
熱サイクル後の発塵	接着層の劣化とともに増加	安定を維持

有機接着剤がなければ、熱分解する対象そのものが存在しません。実務上、次の 2 点の差が生じます。 - 低発塵 — 接着層の劣化・剥離は高温フィルターにおける自己発塵の最も一般的な原因です。無接着剤構造では、昇降温を繰返してもフィルターの経年により下流の粒子数が再上昇することがありません。 - シロキサン汚染なし — シリコーンシールは高温でシロキサンを放出し、ウェハー・光学面・成膜表面に付着するとヘイズと歩留り低下を招きます。半導体、光学コーティング、OLED プロセスは特にこの影響を受けやすい工程です。前段フィルターの無接着剤は見落とされがちですが、実は最も効く箇所です。前段自身に有機接着剤が含まれていると、そのアウトガスと剥離片が気流に乗って下流の主 HEPA とプロセスへ直接運ばれ、系内で最も清浄な地点の直前に汚染源を置くことになります。GCV は ATMCU/ATMV と同じ全無機構造のため、気流経路上に有機物の切れ目がありません。