ATMV/ATMVC 無接着剤・低発塵 350°C 耐熱 HEPA フィルター

製品概要

ATMV/ATMVC は連続使用 350°C（ピーク 400°C × 1h）の耐熱 HEPA フィルターで、捕集効率 99.99% @ 0.3 μm。ステンレス製セパレーター型フレームにステンレスメッシュ補強を施し、ATMCU より機械強度が高く、高面風速や振動がある場所に最適です。主な特長・連続使用 350°C、ピーク 400°C × 1h ・捕集効率 99.99% @ 0.3 μm ・高強度仕様（ガラス繊維＋ステンレスメッシュ）・オールステンレス・セパレーター型・無接着剤構造：濾材・シールとも有機接着剤不使用、低発塵でシロキサン放出なし対象業界：医療、医薬、電子、発電、原子力

特長・仕様

No.	型式	捕集効率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期圧損 (Pa)
1	ATMV-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	305	305	150	1.0	60	245
2	ATMV-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	305	610	150	3.0	180	245
3	ATMV-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	457	457	150	3.5	210	245
4	ATMV-7-Q-FS4	99.97%@0.3μm	610	610	150	7.0	420	245
5	ATMV-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	762	610	150	9.0	540	245
6	ATMV-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	915	610	150	11.0	660	245
7	ATMV-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	915	760	150	14.0	840	245
8	ATMV-Z-P-FS4	99.97%@0.3μm	305	305	290	1.5	90	245
9	ATMV-Z-P-FS5	99.97%@0.3μm	305	610	290	4.0	240	245
10	ATMV-Z-P-FS6	99.97%@0.3μm	457	610	290	7.0	420	245
11	ATMV-10-P-FS7	99.97%@0.3μm	610	610	290	10.0	599	245
12	ATMV-Z-P-FS8	99.97%@0.3μm	760	760	290	16.0	960	245
ATMVC-1	ATMVC-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	305	305	150	2.5	150	300
ATMVC-2	ATMVC-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	305	610	150	6.0	360	300
ATMVC-3	ATMVC-Z-Q-FS4	99.97%@0.3μm	457	457	150	7.0	420	300
ATMVC-4	ATMVC-14-Q-FS4	99.99%@0.3μm	610	610	150	14.0	840	300
ATMVC-5	ATMVC-Z-Q-FS4	99.99%@0.3μm	762	610	150	18.0	1080	300
ATMVC-6	ATMVC-Z-Q-FS4	99.99%@0.3μm	915	610	150	22.0	1320	300
ATMVC-7	ATMVC-Z-Q-FS4	99.99%@0.3μm	915	762	150	28.0	1680	350
ATMVC-8	ATMVC-Z-P-FS4	99.99%@0.3μm	305	305	290	3.5	210	350
ATMVC-9	ATMVC-Z-P-FS4	99.99%@0.3μm	305	610	290	9.0	540	350
ATMVC-10	ATMVC-Z-P-FS4	99.99%@0.3μm	457	610	290	14.5	870	350
ATMVC-11	ATMVC-20-P-FS4	99.99%@0.3μm	610	610	290	20.0	1200	350
ATMVC-12	ATMVC-Z-P-FS4	99.99%@0.3μm	762	610	290	25.5	1530	350

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詳細説明

ATMV/ATMVC は ATMCU 型にステンレスメッシュ補強を追加した強化版。原子力換気のブロワ下流など、振動や高風速が伴う用途に推奨されます。

材質と構造

項目	仕様
フレーム	STAINLESS STEEL
濾材	GLASS FIBER (Held by wire net)
最高使用温度	350°C (Max. 400°C/1h)
セパレーター	STAINLESS STEEL
ガスケット	GLASS PAPER
グリル（下流）	-
グリル（上流）	-
シール剤	GLASS FIBER
最大風量	Can be calculated on request
最大終期圧損 (Pa)	490 / 500

風量 vs 圧力損失（代表値）

610×610 mm 代表曲線。強化版も ATMCU と同程度の圧損。

無接着剤・低発塵構造

一般的な HEPA は濾材とフレームの接着・封止にポリウレタン（PU）やシリコーンを使用しており、これらのシール材の長期使用温度はおおむね 100〜200°C 級です。それを超えると接着層はまず軟化・分解して有機分子を放出し、続いて繰返し熱サイクルで脆化・剥離します——フィルター自体が発塵源になるということです。ATMV/ATMVC は有機接着剤を一切使用せず、封止はガラス繊維、フレームとセパレーターはステンレスで、組立全体が金属とガラスのみで構成されます。

部位	一般的な接着剤使用 HEPA	ATMV/ATMVC（無接着剤）
シール材	ポリウレタン / シリコーン	GLASS FIBER
濾材の接着	有機バインダー	なし（ガラス繊維（ワイヤーネット保持））
セパレーター	アルミ箔＋ホットメルト	STAINLESS STEEL
高温時のアウトガス	有機分子、シロキサン	なし
熱サイクル後の発塵	接着層の劣化とともに増加	安定を維持

有機接着剤がなければ、熱分解する対象そのものが存在しません。実務上、次の 2 点の差が生じます。 - 低発塵 — 接着層の劣化・剥離は高温フィルターにおける自己発塵の最も一般的な原因です。無接着剤構造では、昇降温を繰返してもフィルターの経年により下流の粒子数が再上昇することがありません。 - シロキサン汚染なし — シリコーンシールは高温でシロキサンを放出し、ウェハー・光学面・成膜表面に付着するとヘイズと歩留り低下を招きます。半導体、光学コーティング、OLED プロセスは特にこの影響を受けやすい工程です。 ATMV/ATMVC は振動のある場所（ブロワ下流、高風速ダクト）に設置されることが多く、振動は接着層の疲労剥離を加速させるため、静置設置より発塵が早く顕在化します。強化型機種ほど無接着剤構造が効いてくる理由がここにあります——機械強度はワイヤーネット補強が、清浄度は無接着剤構造が担い、どちらも犠牲になりません。