「高温フィルター」と聞くと一つの製品に思えますが、ろ材は少なくとも4つのファミリーに分かれ、温度上限は3倍、価格は10倍もの差があります。
4大高温ろ材の比較
| 項目 | ガラス繊維 | 石英繊維 | 金属繊維（SUS/Ni合金） | セラミック繊維 |
|---|---|---|---|---|
| 連続使用上限 | 350 °C（特殊配合 400 °C） | 1000 °C | 600 °C（Ni合金 800 °C） | 1200 °C |
| 瞬間耐熱 | 400 °C | 1200 °C | 800 °C | 1400 °C |
| ろ過効率 | H14まで可能 | 通常 E10–H12 | E10–H12 | E10–E11 |
| 初期圧損 | 低（120–250 Pa） | 中（200–400 Pa） | 高（300–600 Pa） | 高（400–800 Pa） |
| 洗浄再利用 | 使い捨て | 使い捨て | パルスジェット/超音波 | 一部可能 |
| 相対価格 | 1x | 3–5x | 5–8x | 8–12x |
| 寿命 | 6–18ヶ月 | 6–12ヶ月 | 3–5年 | 2–5年 |
各ろ材の詳細
ガラス繊維——「コスパの王様」
HEPA/ULPAフィルター で最も一般的。通常のホウケイ酸ガラス繊維は約 250 °C、無ホウ素配合は 350–400 °C まで対応。
メリット： ろ過効率最高（ULPAまで可能）、圧損最低、最も手頃な価格
デメリット： 温度超過で脆化・破砕、洗浄不可、耐熱衝撃性が低い
適用： 半導体拡散炉排気、CVD後段、クリーンオーブン
石英繊維——「最高温度・最高純度」
SiO2純度99.9%以上、耐熱 1000 °C。
メリット： 極めて高い温度上限、化学的に不活性、金属汚染ゼロ
デメリット： 効率はH12が上限、脆い、価格3–5倍
適用： 高温酸化炉、アニール炉、超高純度半導体排気
金属繊維——「洗って再使用できるタフガイ」
316Lまたはニッケル合金を2–20 umに引き焼結。洗浄して繰り返し使用可能。
メリット： 機械的強度が極めて高い、3–5年使用可能、耐食性優秀
デメリット： 効率H12が限界、圧損がやや高い、初期コスト高い
適用： 焼却炉、アルミ溶解炉、セメントキルン、高温集塵
セラミック繊維——「極限環境の最終防衛線」
アルミナまたは炭化ケイ素ベース、耐熱 1200 °C。
メリット： 温度上限最高、強酸・強アルカリに耐える
デメリット： 効率E11が限界、圧損最高、最も高価、脆い
適用： 製鉄炉、ガラス窯、超高温焼却炉
選定フロー
Step 1：連続使用温度
- ▸350 °C以下 → ガラス繊維
- ▸350–600 °C → 金属繊維
- ▸600–1000 °C → 石英繊維またはNi合金
- ▸1000 °C以上 → セラミック
Step 2：ろ過効率
- ▸H13/H14必要 → ガラス繊維のみ
- ▸E10–H12で十分 → 温度と予算で判断
Step 3：TCO
- ▸ダウンタイムコスト高い → 金属繊維（洗浄可能）
- ▸ダウンタイムコスト低い → ガラス繊維（使い捨て）
よくある質問
Q：ガラス繊維HEPAが350 °C定格で、300 °C連続は安全？
「連続」か「瞬間」かを確認。瞬間値なら300 °C連続で半年で脆化する可能性があります。
Q：金属繊維は洗浄後に効率低下する？
わずかに（通常2%未満）。パルスジェットが最も影響少なく、化学洗浄は薬品適合性に注意。洗浄後毎回DOP/PAOで確認を推奨。
Q：セラミックはいつ必要？
温度が800 °C超、または強酸・強アルカリ排気の場合。それ以外は金属繊維がTCO的に有利。
Q：2種類のろ材を混用できる？
はい。例：第1段で金属繊維（粗い粉塵）→ 第2段でガラス繊維HEPA（微粒子）。段間温度がガラス繊維の許容範囲まで下がっていることが条件。
Q：ろ材が脆化したかの判断方法は？
ガラス/石英：表面を軽く押すと「サラサラ」音、重症時は白い粉末。金属繊維は脆化しませんが酸化で変色。圧損が急に低下したら破損の可能性大。
