"Bộ lọc chịu nhiệt" nghe như chỉ có một loại — nhưng vật liệu lọc bên trong có ít nhất 4 họ, giới hạn nhiệt chênh 3 lần và giá chênh 10 lần.

Tổng quan 4 loại vật liệu lọc chịu nhiệt

Thông sốSợi thủy tinhSợi thạch anhSợi kim loạiSợi gốm sứ
Liên tục350 °C (đặc biệt 400 °C)1000 °C600 °C (Ni: 800 °C)1200 °C
Đỉnh400 °C1200 °C800 °C1400 °C
Hiệu suấtĐến H14Thường E10–H12E10–H12E10–E11
Tổn thất áp suấtThấp (120–250 Pa)TB (200–400 Pa)Cao (300–600 Pa)Cao (400–800 Pa)
Rửa đượcKhôngKhôngXung khí/siêu âmMột số
Giá1x3–5x5–8x8–12x
Tuổi thọ6–18 tháng6–12 tháng3–5 năm2–5 năm

Chi tiết từng loại

Sợi thủy tinh — "Vua tính giá"

Vật liệu phổ biến nhất trong bộ lọc HEPA/ULPA. Borosilicate thường chịu 250 °C, không bo đạt 350–400 °C.

Ưu: Hiệu suất lọc cao nhất (ULPA), áp suất thấp nhất, giá rẻ nhất

Nhược: Giòn vỡ khi quá nhiệt, dùng một lần, nhạy sốc nhiệt

Phù hợp: Lò khuếch tán bán dẫn, sau CVD, lò sấy sạch

Sợi thạch anh — "Trần nhiệt độ cao nhất"

SiO2 99.9%+, chịu 1000 °C.

Ưu: Nhiệt độ cực cao, trơ hóa học, không ô nhiễm kim loại

Nhược: Hiệu suất tối đa H12, giòn, giá 3–5x

Phù hợp: Lò oxy hóa, lò ủ, front-end bán dẫn

Sợi kim loại — "Chiến binh có thể rửa"

316L hoặc Ni, 2–20 um thiêu kết. Rửa tái sử dụng được.

Ưu: Bền cơ học cực cao, 3–5 năm, chống ăn mòn

Nhược: Hiệu suất tối đa H12, áp suất cao, chi phí ban đầu cao

Phù hợp: Lò đốt, lò nhôm, lò xi măng, thu hồi bụi

Sợi gốm sứ — "Phòng tuyến cuối"

Alumina hoặc SiC, chịu 1200 °C.

Ưu: Nhiệt độ cao nhất, chịu axit/kiềm mạnh

Nhược: Hiệu suất thấp nhất (E11), áp suất cao nhất, đắt nhất

Phù hợp: Lò luyện thép, lò thủy tinh, lò đốt siêu nhiệt


Quy trình chọn

Bước 1 — Nhiệt độ liên tục

  • Dưới 350 °C → Sợi thủy tinh
  • 350–600 °C → Sợi kim loại
  • 600–1000 °C → Thạch anh hoặc Ni
  • Trên 1000 °C → Gốm sứ

Bước 2 — Hiệu suất lọc

  • Cần H13/H14 → Chỉ sợi thủy tinh
  • E10–H12 đủ → Cả bốn, tùy nhiệt và ngân sách

Bước 3 — TCO

  • Ngừng máy tốn kém → Sợi kim loại (rửa được)
  • Bộ lọc rẻ → Sợi thủy tinh (dùng một lần)

Câu hỏi thường gặp

Q: HEPA sợi thủy tinh 350 °C, dùng 300 °C liên tục an toàn không?

Kiểm tra là "liên tục" hay "đỉnh". Nếu là đỉnh, 300 °C liên tục có thể giòn hóa trong sáu tháng.

Q: Sợi kim loại rửa xong hiệu suất giảm không?

Giảm nhẹ (< 2%). Xung khí ít ảnh hưởng nhất. Nên kiểm tra bằng DOP/PAO sau mỗi lần rửa.

Q: Khi nào bắt buộc dùng gốm sứ?

Nhiệt trên 800 °C hoặc khí có axit/kiềm mạnh. Ngoài ra sợi kim loại thường tốt hơn.

Q: Có thể dùng hai loại trong cùng hệ thống?

Có. Ví dụ: tầng 1 sợi kim loại lọc bụi thô, tầng 2 HEPA sợi thủy tinh lọc mịn. Nhiệt giữa hai tầng phải đủ thấp cho sợi thủy tinh.

Q: Làm sao biết vật liệu giòn hóa?

Sợi thủy tinh/thạch anh: nhấn nhẹ nghe tiếng sột soạt, nặng thì bột trắng. Sợi kim loại đổi màu (bạc→nâu). Áp suất đột ngột giảm = có thể vỡ.