"Bộ lọc chịu nhiệt" nghe như chỉ có một loại — nhưng vật liệu lọc bên trong có ít nhất 4 họ, giới hạn nhiệt chênh 3 lần và giá chênh 10 lần.
Tổng quan 4 loại vật liệu lọc chịu nhiệt
| Thông số | Sợi thủy tinh | Sợi thạch anh | Sợi kim loại | Sợi gốm sứ |
|---|---|---|---|---|
| Liên tục | 350 °C (đặc biệt 400 °C) | 1000 °C | 600 °C (Ni: 800 °C) | 1200 °C |
| Đỉnh | 400 °C | 1200 °C | 800 °C | 1400 °C |
| Hiệu suất | Đến H14 | Thường E10–H12 | E10–H12 | E10–E11 |
| Tổn thất áp suất | Thấp (120–250 Pa) | TB (200–400 Pa) | Cao (300–600 Pa) | Cao (400–800 Pa) |
| Rửa được | Không | Không | Xung khí/siêu âm | Một số |
| Giá | 1x | 3–5x | 5–8x | 8–12x |
| Tuổi thọ | 6–18 tháng | 6–12 tháng | 3–5 năm | 2–5 năm |
Chi tiết từng loại
Sợi thủy tinh — "Vua tính giá"
Vật liệu phổ biến nhất trong bộ lọc HEPA/ULPA. Borosilicate thường chịu 250 °C, không bo đạt 350–400 °C.
Ưu: Hiệu suất lọc cao nhất (ULPA), áp suất thấp nhất, giá rẻ nhất
Nhược: Giòn vỡ khi quá nhiệt, dùng một lần, nhạy sốc nhiệt
Phù hợp: Lò khuếch tán bán dẫn, sau CVD, lò sấy sạch
Sợi thạch anh — "Trần nhiệt độ cao nhất"
SiO2 99.9%+, chịu 1000 °C.
Ưu: Nhiệt độ cực cao, trơ hóa học, không ô nhiễm kim loại
Nhược: Hiệu suất tối đa H12, giòn, giá 3–5x
Phù hợp: Lò oxy hóa, lò ủ, front-end bán dẫn
Sợi kim loại — "Chiến binh có thể rửa"
316L hoặc Ni, 2–20 um thiêu kết. Rửa tái sử dụng được.
Ưu: Bền cơ học cực cao, 3–5 năm, chống ăn mòn
Nhược: Hiệu suất tối đa H12, áp suất cao, chi phí ban đầu cao
Phù hợp: Lò đốt, lò nhôm, lò xi măng, thu hồi bụi
Sợi gốm sứ — "Phòng tuyến cuối"
Alumina hoặc SiC, chịu 1200 °C.
Ưu: Nhiệt độ cao nhất, chịu axit/kiềm mạnh
Nhược: Hiệu suất thấp nhất (E11), áp suất cao nhất, đắt nhất
Phù hợp: Lò luyện thép, lò thủy tinh, lò đốt siêu nhiệt
Quy trình chọn
Bước 1 — Nhiệt độ liên tục
- ▸Dưới 350 °C → Sợi thủy tinh
- ▸350–600 °C → Sợi kim loại
- ▸600–1000 °C → Thạch anh hoặc Ni
- ▸Trên 1000 °C → Gốm sứ
Bước 2 — Hiệu suất lọc
- ▸Cần H13/H14 → Chỉ sợi thủy tinh
- ▸E10–H12 đủ → Cả bốn, tùy nhiệt và ngân sách
Bước 3 — TCO
- ▸Ngừng máy tốn kém → Sợi kim loại (rửa được)
- ▸Bộ lọc rẻ → Sợi thủy tinh (dùng một lần)
Câu hỏi thường gặp
Q: HEPA sợi thủy tinh 350 °C, dùng 300 °C liên tục an toàn không?
Kiểm tra là "liên tục" hay "đỉnh". Nếu là đỉnh, 300 °C liên tục có thể giòn hóa trong sáu tháng.
Q: Sợi kim loại rửa xong hiệu suất giảm không?
Giảm nhẹ (< 2%). Xung khí ít ảnh hưởng nhất. Nên kiểm tra bằng DOP/PAO sau mỗi lần rửa.
Q: Khi nào bắt buộc dùng gốm sứ?
Nhiệt trên 800 °C hoặc khí có axit/kiềm mạnh. Ngoài ra sợi kim loại thường tốt hơn.
Q: Có thể dùng hai loại trong cùng hệ thống?
Có. Ví dụ: tầng 1 sợi kim loại lọc bụi thô, tầng 2 HEPA sợi thủy tinh lọc mịn. Nhiệt giữa hai tầng phải đủ thấp cho sợi thủy tinh.
Q: Làm sao biết vật liệu giòn hóa?
Sợi thủy tinh/thạch anh: nhấn nhẹ nghe tiếng sột soạt, nặng thì bột trắng. Sợi kim loại đổi màu (bạc→nâu). Áp suất đột ngột giảm = có thể vỡ.



