활성탄 케미컬 필터
nikon 노광기용 필터 / PCDA 케미컬 필터
제품 개요
케미컬 필터는 주로 염기성 물질(암모니아, 아민류 등), 산성 물질(염화수소, 황화수소, 이산화황 등), 유기 물질(고비점 물질, 실록산 등)의 여과에 사용합니다.
제품 특성
제조 장치 내부나 설비 배관 내부를 청정화할 수 있으며, 급배기 시스템에 쓰는 압축공기 속의 미량 가스를 제거하고 제품 포장 시의 분진을 제거하며 N2Pure 계열 가스의 대체품이 됩니다.
상세 설명
PCDA 케미컬 필터는 주로 다음에 사용합니다:
반도체, 액정 노광 장치, 계측기 주변, 검사 공정.
본딩 장비, 레이저 가공기 등.
태양전지 유리 기판 가공, 식품 가공, 재생 의료, 분석 기기.
다음과 같은 장점이 있습니다:
설치 작업이 간단하며 압축공기 배관에 바로 직렬로 연결할 수 있습니다.
산성 가스, 염기성 가스, 유기계 가스를 제거할 수 있습니다.
유량과 제거 대상 가스를 자유롭게 설계할 수 있습니다.
제품 사양:
| 풍량 | 형식 | 치수 | 접속부 | 본체 | 중량 |
|---|---|---|---|---|---|
| 30^/mim | PG-F32A38S158TS | 080x158mm | Rc 3/8in | SUS304 | 약 2kg |
| 50^/mim | PG-F50A38S258TS | 0100x258mm | Rc 3/8in | SUS304 | 약 4kg |
| 100^/mim | PG-F100A12S258TS | 0170x258mm | Rc 1/2in | SUS304 | 약 10kg |
