내열 필터
NIPPON MUKI 니폰무키 ULPA/HEPA 저발진 내열 필터(350℃)
제품 개요
당사는 일본 NIPPON MUKI(니폰무키)의 내열 HEPA 필터를 대리 판매하며, 대만에서 자체 제작한 저발진 내열 필터도 함께 취급합니다. 대만산 일반 내열 필터는 오븐 온도가 300도를 넘어가면 자체 발진(필터의 유리섬유가 떨어져 나오는 현상)이 생겨 공정 전체를 오염시키는데, 요구 조건이 까다로운 반도체 공정에서는 이 때문에 웨이퍼 수율이 지나치게 낮아지는 일이 흔합니다.
제품 특성
NIPPON MUKI(니폰무키)는 새로운 세대의 저발진 내열 필터를 개발하여 고온 상태에서도 발진량을 한 자릿수 이하까지 낮췄습니다. 그래서 350도 고온에서 장시간 HEPA 등급의 여과 효율을 유지할 수 있고, 400도에서도 두 시간 정도는 낮은 발진을 유지합니다.
상세 설명
고효율 350℃ 내열 필터
HEPA 99.97%:
HEPA 99.97% 고성능 필터는 0.3마이크로미터 분진을 99.97%까지 걸러내며, 고온 베이킹 상태에서도 0.3um에서 99.97% 효율을 유지합니다. HEPA 99.97%의 여과 효율은 HEPA 95%보다 높아 오븐 내부 청정도도 크게 올라갑니다.
HEPA 95%:
효율은 HEPA 99.97%와 미디엄 95% 사이에 있습니다. 효율 등급은 HEPA 99.97%보다 낮지만 압력손실이 훨씬 작아 수명이 더 깁니다. 압력손실이 낮아지면서 풍량은 늘고 장비 부하는 줄어 절전 효과도 얻습니다.
주요 취급 모델: GCW, GCV, ATMV, ATMVC, ATMCU, GCV, ATMH, ATMCH 등.
특수 저발진 설계를 채택했습니다.
실링재를 쓰지 않고 특수 실링 방식을 채택하여 실링재가 부서지는 일이 없습니다.
특수 내열 개스킷을 써서 고온에서도 케이싱에 들러붙지 않아 장시간 사용에 적합합니다.
치수는 모두 주문제작으로 생산할 수 있습니다.
LCD 공장, 패키징·테스트 공장, 반도체 공장의 무진 오븐 전용 필터입니다.
