日本無機
ATMCH-SL 250°C 無シリコン耐高温大風量HEPAフィルター
Tổng quan sản phẩm
日本無機250°C耐高温大風量HEPAフィルター(無シリコンタイプ)。シリコン成分を完全に含まず、高温下でのシロキサン揮発によるプロセス汚染を回避します。シリコン汚染に敏感な半導体および光学プロセスに特に適しています。
Tính năng & Thông số kỹ thuật
型番:ATMCH-SL
耐温:250°C(連続使用)
効率:HEPA等級(≥99.97% @0.3μm)
特徴:無シリコン(Silicone-free)、大風量
濾材:耐高温グラスファイバー
シール:非シリコンシール材
枠体:ステンレス鋼
製造元:日本無機株式会社(NIPPON MUKI)
Mô tả chi tiết
ATMCH-SLはATMCHの無シリコン版で、シリコン成分を完全に排除しています。
高温環境下でシロキサン等の揮発性シリコン化合物を放出せず、シリコン汚染ゼロトレランスの半導体先進プロセスおよび光学コーティング装置の理想的な選択肢です。
