日本無機
Nouvelle TGMML 低有機物/低ホウ素ULPAフィルター
製品概要
日本無機Nouvelleシリーズ低有機物/低ホウ素ULPAフィルターは、有機物放出とホウ素含有量の両方を大幅に低減します。半導体先端プロセスにおいて最も厳格なAMC管理が要求されるエリアに最適な選択肢です。
特長・仕様
型番：Nouvelle TGMML
効率：ULPAグレード（≥99.9995% @MPPS）
特長：Low Organic（低有機物）＋ Low Boron（低ホウ素）
ろ材：超低放出ガス 超極細ガラス繊維
製造元：日本無機株式会社（NIPPON MUKI）
詳細説明
Nouvelle TGMMLは日本無機の最高グレードULPAフィルターで、有機物放出（TOC）とホウ素放出量の両方を業界最低レベルに制御します。
EUVリソグラフィエリアなど、化学的清浄度に対する要求がゼロに近づく超清浄環境向けに設計されています。
