日本無機
Iochemix ECSL 循環空気用イオン交換樹脂フィルター
製品概要
日本無機Iochemixシリーズ循環空気処理用イオン交換樹脂フィルターは、イオン交換樹脂技術により循環空気中の酸性・アルカリ性AMCを除去します。半導体クリーンルームの循環空気浄化に特に適しています。
特長・仕様
型番：Iochemix ECSL
タイプ：イオン交換樹脂ケミカルフィルター
用途：クリーンルーム循環空気（FFU/RCU）
機能：酸性・アルカリ性AMC除去
製造元：日本無機株式会社（NIPPON MUKI）
詳細説明
Iochemix ECSLイオン交換樹脂フィルターは、イオン交換メカニズムによりクリーンルーム循環空気中の酸性（MA）およびアルカリ性（MB）AMCを精密に除去します。
半導体先端プロセスにおけるAMC管理で重要な役割を果たします。
