日本無機
BGMML 低ホウ素ULPAフィルター
製品概要
日本無機の低ホウ素ULPAフィルターは、ろ材中のホウ素含有量を大幅に低減し、ホウ素汚染による半導体プロセスへの影響を回避します。ホウ素（Boron）に敏感な先端ウェハ製造環境に特に適しています。
特長・仕様
型番：BGMML
効率：ULPAグレード（≥99.9995% @MPPS）
特長：Low Boron（低ホウ素）設計
ろ材：低ホウ素超極細ガラス繊維
製造元：日本無機株式会社（NIPPON MUKI）
詳細説明
BGMML低ホウ素ULPAフィルターは、特殊な低ホウ素ガラス繊維配合を採用し、ろ材からのホウ素放出量を極めて低いレベルに抑制します。
半導体拡散・イオン注入など、ホウ素汚染に極めて敏感なプロセスエリア向けに設計されています。
