日本無機
BGMC 低ホウ素大風量HEPAフィルター
製品概要
日本無機の低ホウ素大風量HEPAフィルターは、低ホウ素ろ材技術と大風量設計を組み合わせています。ホウ素汚染に敏感でかつ大風量処理を必要とする半導体プロセスエリアに適しています。
特長・仕様
型番：BGMC
効率：HEPAグレード（≥99.97% @0.3μm）
特長：Low Boron（低ホウ素）＋大風量
ろ材：低ホウ素超極細ガラス繊維
製造元：日本無機株式会社（NIPPON MUKI）
詳細説明
BGMC低ホウ素大風量HEPAフィルターは、ホウ素管理と大風量処理の両立が求められるプロセス環境に最適なソリューションを提供します。
