สำนักงานที่ตกแต่งเสร็จใหม่มีกลิ่น「บ้านใหม่」ส่วนในโรงงานก็มีกลิ่นตัวทำละลายฉุนลอยมาเป็นครั้งคราว —— ก๊าซเคมีที่ได้กลิ่น (หรือไม่ได้กลิ่น) เหล่านี้เรียกรวมกันว่า VOC แผ่นกรอง HEPA ทั่วไปต่อให้เก่งแค่ไหนก็จับได้แต่อนุภาค ทำอะไร「โมเลกุลในรูปก๊าซ」เหล่านี้ไม่ได้เลย บทความนี้จะพาคุณเข้าใจว่า TVOC คืออะไร มาจากไหน และจะใช้แผ่นกรองให้ถูกเพื่อดักมันไว้ได้อย่างไร

TVOC คืออะไร ทำไมแผ่นกรองทั่วไปจับมันไม่อยู่

TVOC (Total Volatile Organic Compounds สารประกอบอินทรีย์ระเหยง่ายรวม) คือผลรวมความเข้มข้นของสารอินทรีย์ระเหยง่ายทั้งหมดในอากาศ พูดง่าย ๆ คือ สารเคมีอินทรีย์ใดก็ตามที่「ระเหย」ขึ้นสู่อากาศได้ที่อุณหภูมิห้อง ล้วนนับเป็น VOC —— ฟอร์มาลดีไฮด์ โทลูอีน ไซลีน เอทิลอะซิเตต อะซิโตน… รวมกันก็คือ TVOC

ลองนึกภาพ VOC เป็น「หมึกล่องหนในอากาศ」:เส้นผ่านศูนย์กลางโมเลกุลมีแค่ 0.3~1 นาโนเมตร (nm) เล็กกว่าอนุภาคที่เล็กที่สุดที่แผ่นกรอง HEPA ดักได้คือ 0.3 ไมครอน (μm) ถึง 300~1,000 เท่า ตาข่ายใยแก้วของ HEPA ออกแบบมาเพื่อกัน「ฝุ่น」โมเลกุล VOC จึงทะลุช่องว่างระหว่างเส้นใยไปตรง ๆ เหมือนยุงลอดตาข่ายประตูฟุตบอล

แนวคิดสำคัญ:HEPA/ULPA กัน「อนุภาค」(สถานะอนุภาค) ส่วนแผ่นกรองเคมีกัน「ก๊าซ」(สถานะโมเลกุล) ขอบเขตการรับผิดชอบของทั้งสองต่างกันโดยสิ้นเชิงและแทนกันไม่ได้

VOC มาจากไหน ดูสี่สถานการณ์ในทีเดียว

สถานการณ์แหล่ง VOC หลักสารที่พบบ่อยระดับความเข้มข้น
สำนักงาน / ที่อยู่อาศัยแผ่นวัสดุตกแต่ง สี กาวติดพรม เครื่องถ่ายเอกสารฟอร์มาลดีไฮด์ (HCHO) โทลูอีน TVOC0.1~1 ppm
โรงพิมพ์ / โรงพ่นสีตัวทำละลายของหมึก สีพ่น เตาอบโทลูอีน ไซลีน เอทิลอะซิเตต MEK10~500 ppm
โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ / แผงจอตัวทำละลายโฟโตรีซิสต์ น้ำยาล้าง ก๊าซของกระบวนการ CVDNMP, PGMEA, IPA, HMDSระดับ ppb~ppm ต่ำ
ปิโตรเคมี / ยาลมทิ้งของถังปฏิกรณ์ วาล์วหายใจของถังเก็บเบนซีน คลอโรฟอร์ม ไดคลอโรมีเทน1~100 ppm

TVOC ในสำนักงานทั่วไปที่เกิน 0.56 ppm (ขีดบนที่ WHO แนะนำ) ก็อาจก่อให้เกิดอาการปวดหัว คลื่นไส้ และการระคายเคืองทางเดินหายใจ ที่เรียกกันว่า「กลุ่มอาการอาคารป่วย (SBS)」ส่วนโรงงานเซมิคอนดักเตอร์กำหนดเข้มกว่าเป็นพันเท่า —— AMC อินทรีย์ในโซนโฟโตรีซิสต์ต้องกดลงต่ำกว่า 1 ppb ไม่อย่างนั้นจะทำให้ความหนาฟิล์มโฟโตรีซิสต์ไม่สม่ำเสมอและลวดลายบิดเบี้ยว


แผ่นกรองเคมีจับ VOC อย่างไร สองกลไกหลัก

การดูดซับเชิงกายภาพ (Physical Adsorption)

ผิวของคาร์บอนกัมมันต์เต็มไปด้วยรูพรุนขนาดเล็กนับไม่ถ้วน —— คาร์บอนกัมมันต์ 1 กรัมมีพื้นที่ผิวรวมได้ถึง 800~1,200 m² เทียบเท่าสนามบาสเกตบอล 3 สนาม โมเลกุล VOC ที่ลอยเข้าไปในรูพรุนเหล่านี้จะถูก「แรงแวนเดอร์วาลส์」(แรงดึงดูดระหว่างโมเลกุล) ที่ผิวคาร์บอนดูดไว้ เหมือนลูกเหล็กเล็ก ๆ กลิ้งเข้าไปในช่องรังผึ้งแล้วออกไม่ได้

  • ▸ข้อดี:ได้ผลดีมากกับสารอินทรีย์โมเลกุลใหญ่ (โทลูอีน ไซลีน NMP)
  • ▸ข้อจำกัด:จับโมเลกุลเล็ก (ฟอร์มาลดีไฮด์ เมทานอล) ไม่แน่น และอุณหภูมิที่สูงขึ้นจะทำให้คายซับออกมา

การดูดซับเชิงเคมี (Chemical Adsorption / Chemisorption)

แช่สารเคมีไว้ในรูพรุนของคาร์บอนกัมมันต์ล่วงหน้า (การชุบสาร) ให้สารนั้นเกิดปฏิกิริยาเคมีที่ผันกลับไม่ได้กับ VOC เป้าหมาย แล้ว「ล็อกตาย」โมเลกุลไว้บนคาร์บอน

  • ▸คาร์บอนสำหรับฟอร์มาลดีไฮด์โดยเฉพาะ:ชุบ KMnO₄ (โพแทสเซียมเปอร์แมงกาเนต) ออกซิไดซ์ HCHO เป็น CO₂ + H₂O
  • ▸คาร์บอนสำหรับ VOC ที่เป็นกรดโดยเฉพาะ:ชุบ KOH สะเทินสารอินทรีย์ที่เป็นกรด
ถ้าอยากเข้าใจหลักการของสูตรสารชุบให้ลึกขึ้น ดูได้ที่คู่มือสูตรสารชุบของแผ่นกรองเคมีฉบับสมบูรณ์

การดูดซับเชิงกายภาพเหมือนใช้เทปกาวติดของ (อุณหภูมิสูงแล้วหลุด) ส่วนการดูดซับเชิงเคมีเหมือนใช้การเชื่อมยึด (พันธะเคมี ผันกลับไม่ได้) ในทางปฏิบัติ แผ่นกรอง TVOC มักใช้ทั้งสองกลไกควบคู่กัน —— ตัวคาร์บอนทำการดูดซับเชิงกายภาพ ส่วนสารชุบทำการดูดซับเชิงเคมี จึงจะครอบคลุม VOC ที่มวลโมเลกุลต่างกันได้


เปรียบเทียบวัสดุกรอง VOC สามแบบหลัก

<!--CHART:VocFilterMediaComparison-->

หัวข้อเปรียบเทียบคาร์บอนกัมมันต์ชนิดเม็ด (GAC)คาร์บอนกัมมันต์รังผึ้งคาร์บอนดัดแปรด้วยการชุบสาร
โครงสร้างเม็ดคาร์บอนบรรจุในกรอบผงคาร์บอนกับสารยึดเกาะอัดขึ้นรูปเป็นรังผึ้งเม็ดคาร์บอน / แผ่นคาร์บอนแช่สารเคมี
พื้นที่ผิวจำเพาะ800~1,200 m²/g400~600 m²/g (สารยึดเกาะกินพื้นที่)600~1,000 m²/g
ความดันตกคร่อมปานกลาง (50~150 Pa)ต่ำ (20~80 Pa)ปานกลาง (50~150 Pa)
ต่อ VOC โมเลกุลใหญ่ยอดเยี่ยม (โทลูอีน ไซลีน NMP)ดีดี~ยอดเยี่ยม
ต่อฟอร์มาลดีไฮด์แย่ (โมเลกุลเล็กเกินไป จับไม่แน่น)แย่~ปานกลางยอดเยี่ยม (ต้องใช้คู่กับการชุบ KMnO₄)
ความจุฝุ่น / ความจุก๊าซสูง (คาร์บอนมาก)ปานกลางปานกลาง~สูง (ดูสัดส่วนสารชุบ)
สถานการณ์ที่เหมาะVOC ความเข้มข้นสูงในโรงงาน ระบบ VOC removalระบบปรับอากาศสำนักงาน เครื่องฟอกอากาศในบ้านAMC ของเซมิคอนดักเตอร์ แผ่นกรองฟอร์มาลดีไฮด์ แผ่นกรองกำจัดกลิ่น
ต้นทุนปานกลางต่ำ~ปานกลางสูง (มีค่าแปรรูปจากกระบวนการชุบ)

หลักคิดในการเลือก:

  • ▸ต้องจับฟอร์มาลดีไฮด์ → ต้องใช้คาร์บอนดัดแปรด้วยการชุบสารเท่านั้น (คาร์บอนกัมมันต์ล้วนแทบไม่ได้ผลกับฟอร์มาลดีไฮด์)
  • ▸ต้องการความดันตกคร่อมต่ำ → คาร์บอนรังผึ้ง (แต่ความจุน้อยกว่า จึงเปลี่ยนบ่อยกว่า)
  • ▸ต้องจับ VOC โมเลกุลใหญ่ความเข้มข้นสูง → คาร์บอนกัมมันต์ชนิดเม็ด (คาร์บอนมากที่สุด ความจุการดูดซับสูงสุด)

คู่มือเลือกรุ่น:เลือกแผ่นกรอง TVOC ให้ถูกตามสถานการณ์

สถานการณ์VOC เป้าหมายวัสดุกรองที่แนะนำโครงสร้างที่แนะนำตัวชี้วัดประสิทธิภาพ
สำนักงาน / กำจัดกลิ่นจากการตกแต่งฟอร์มาลดีไฮด์ TVOC ผสมคาร์บอนดัดแปรด้วยการชุบสาร (KMnO₄ + GAC ผสมกัน)แบบแผ่นในกรอบหรือ V-Bankอัตราการกำจัด TVOC > 90% (ช่วงแรก)
โรงพิมพ์ / โรงพ่นสีโทลูอีน ไซลีน MEKคาร์บอนกัมมันต์ชนิดเม็ด (คาร์บอนกะลามะพร้าวหรือคาร์บอนจากถ่านหิน)แบบเบดลึก (ความหนาเบดคาร์บอน ≥ 25 mm)ขาออก < ค่ามาตรฐานการปล่อย
โซนแสงสีเหลืองของเซมิคอนดักเตอร์PGMEA, NMP, HMDSGAC พื้นที่ผิวจำเพาะสูง + คาร์บอนชุบสาร ผสมกันกรอบแผ่นกรองเคมี V-BankAMC < 1 ppb
โซนกัดผิวของเซมิคอนดักเตอร์HF, HCl (ก๊าซกรดอนินทรีย์) + VOC ปริมาณน้อยคาร์บอนชุบ KOH + GAC ผสมกันต่ออนุกรมหลายช่วงMA + MC ถึงเกณฑ์ทั้งคู่
โรงพยาบาล / ห้องปฏิบัติการฟอร์มาลดีไฮด์ กลิ่นน้ำยาฆ่าเชื้อคาร์บอนชุบ KMnO₄แบบแผ่นในกรอบHCHO < 0.08 ppm
โรงงานเซมิคอนดักเตอร์มักติดแผ่นกรองเคมีไว้ใน MAU (ตู้ปรับอากาศภายนอก) หรือ RC (ตู้ปรับอากาศหมุนเวียน) โดยใช้คู่กับ HEPA ที่อยู่ช่วงหน้า HEPA กันอนุภาค ส่วนแผ่นกรองเคมีกันก๊าซ สองแนวป้องกันนี้ขาดอย่างใดอย่างหนึ่งไม่ได้

ตัดสินอายุของแผ่นกรอง TVOC อย่างไร

แผ่นกรองคาร์บอนกัมมันต์ไม่เหมือน HEPA ที่ตัดสินอายุจากความดันต่างได้ —— ตอนคาร์บอนอิ่มตัว ความดันตกคร่อมแทบไม่เปลี่ยน แต่ VOC ทะลุผ่านไปแล้ว ต่อไปนี้คือวิธีตัดสินสามแบบในทางปฏิบัติ:

วิธีตัดสินหลักการความแม่นยำต้นทุน
เปลี่ยนตามรอบเปลี่ยนทุก 3/6/12 เดือนตามที่ผู้ผลิตแนะนำหรือตามประสบการณ์ต่ำ (อาจเปลี่ยนเร็วไปหรือช้าไป)ต่ำ
เครื่องตรวจจับด้านท้ายลมติด PID หรือเซนเซอร์ TVOC ไว้ท้ายลมของแผ่นกรอง ความเข้มข้นสูงขึ้น = ทะลุผ่านสูงปานกลาง (เซนเซอร์ราว NT$30,000~80,000)
เก็บตัวอย่างด้วยท่อคาร์บอนไปวิเคราะห์ดูดอากาศผ่านท่อคาร์บอนตามรอบ แล้วส่งห้องปฏิบัติการวิเคราะห์ด้วย GC-MSสูงที่สุดสูง (ครั้งละ NT$3,000~8,000)

ข้อแนะนำจากงานจริง:

  • ▸สำนักงาน / สถานการณ์ทั่วไป:เปลี่ยนตามรอบก็พอ (ครึ่งปีถึงหนึ่งปี) โดยใช้คู่กับการรายงานจากประสาทรับกลิ่นของคน
  • ▸การควบคุมการปล่อยของโรงงาน:ติด PID ตรวจวัดต่อเนื่องที่ด้านท้ายลม ตั้งการแจ้งเตือนการทะลุผ่านไว้ที่ 80% ของค่ามาตรฐานการปล่อย
  • ▸การควบคุม AMC ของเซมิคอนดักเตอร์:ระบบตรวจวัด AMC ออนไลน์ (IMS หรือ CRDS) ตรวจพบว่าสูงขึ้นในระดับ ppb ก็เปลี่ยน
อายุแผ่นกรองคาร์บอนแปรผกผันกับ「ความเข้มข้นลมขาเข้า × อัตราลม × เวลา」แผ่นกรองแผ่นเดียวกันวางในสำนักงานที่ฟอร์มาลดีไฮด์ 0.1 ppm อาจอยู่ได้หนึ่งปี แต่ถ้าวางในโรงงานที่ 10 ppm อาจอิ่มตัวใน 2 สัปดาห์

ประเด็นสำคัญของการติดตั้งและบำรุงรักษา

  • ▸การกรองช่วงหน้าขาดไม่ได้:คาร์บอนกัมมันต์กลัวฝุ่นอุดรูพรุน ด้านหน้าต้องติดแผ่นกรองขั้นต้นระดับ G4 ขึ้นไปเสมอ ไม่อย่างนั้นผิวคาร์บอนถูกฝุ่นคลุม ประสิทธิภาพการดูดซับ VOC ก็จะเสื่อมลงอย่างรวดเร็ว
  • ▸ระวังทิศทางลม:บนกรอบแผ่นกรองคาร์บอนมีลูกศรบอกทิศทางลม ใส่กลับด้านจะทำให้ซีลไม่ดีและเกิดการลัดวงจรของลม
  • ▸ควบคุมอุณหภูมิ:เมื่ออุณหภูมิสภาพแวดล้อมเกิน 40°C VOC ที่ถูกดูดซับเชิงกายภาพจะเริ่มคายกลับสู่อากาศ งานที่อุณหภูมิสูงต้องเลือกแบบดูดซับเชิงเคมี (คาร์บอนชุบสาร) หรือเพิ่มช่วงระบายความร้อน
  • ▸ผลของความชื้น:เมื่อความชื้นสัมพัทธ์ > 70% โมเลกุลน้ำจะแย่งตำแหน่งดูดซับบนผิวคาร์บอนกับ VOC ประสิทธิภาพจะลดลง 20~40% ในทางกลับกัน คาร์บอนชุบ KOH ที่ RH < 40% ก็จะมีอัตราปฏิกิริยาไม่พอเช่นกัน

คำถามที่พบบ่อย

Q:แผ่นกรอง TVOC กับแผ่นกรองฟอร์มาลดีไฮด์เป็นชนิดเดียวกันไหม

ไม่เหมือนกันทั้งหมด「แผ่นกรองฟอร์มาลดีไฮด์」มักหมายถึงคาร์บอนกัมมันต์ดัดแปรที่ชุบ KMnO₄ ซึ่งมุ่งไปที่ฟอร์มาลดีไฮด์ (HCHO) โดยเฉพาะ ส่วน「แผ่นกรอง TVOC」หมายถึงแผ่นกรองเคมีทั้งหมดที่จัดการสารประกอบอินทรีย์ระเหยง่ายได้ โดยฟอร์มาลดีไฮด์เป็นเพียงหนึ่งใน TVOC ถ้าความต้องการของคุณคือกำจัดฟอร์มาลดีไฮด์ในสำนักงาน คาร์บอนชุบสารคือตัวเลือกแรก แต่ถ้าต้องจัดการ VOC ผสมหลายชนิด (โทลูอีน + ไซลีน + ฟอร์มาลดีไฮด์) ก็ต้องใช้สูตรผสมหรือโครงสร้างหลายชั้น

Q:แผ่นกรอง VOC แบบคาร์บอนกัมมันต์ล้างน้ำใช้ซ้ำได้ไหม

ไม่ได้ การดูดซับของคาร์บอนกัมมันต์อาศัยโครงสร้างรูพรุนและสมบัติทางเคมีที่ผิว การล้างน้ำชะ VOC ที่ดูดซับไว้ออกมาไม่ได้ แต่กลับทำลายโครงสร้างรูพรุนและสารชุบของคาร์บอน อิ่มตัวแล้วจึงได้แต่เปลี่ยนทั้งแผ่น คาร์บอนเกรดอุตสาหกรรมส่งให้ผู้ผลิตมืออาชีพ「ฟื้นสภาพ」ได้ (ให้ความร้อนสูงเพื่อคายซับ) แต่เกรดใช้ในบ้านและเกรดปรับอากาศมักเปลี่ยนใหม่ไปเลยคุ้มกว่า

Q:แผ่นกรองคาร์บอนกัมมันต์ของเครื่องฟอกอากาศทั่วไปกัน VOC ได้ไหม

ได้ แต่ได้ผลจำกัด ชั้นคาร์บอนของเครื่องฟอกใช้ในบ้านมักหนาแค่ 2~5 mm คาร์บอนน้อยและเวลาสัมผัสสั้น จึงพอมีผลดูดซับ TVOC ความเข้มข้นต่ำได้บ้าง แต่อัตราการกำจัดฟอร์มาลดีไฮด์มักไม่ถึง 50% (เพราะไม่ได้ผ่านการชุบสาร) ถ้าบ้านที่ตกแต่งใหม่มีฟอร์มาลดีไฮด์เกินเกณฑ์รุนแรง แนะนำให้ใช้แผ่นกรองคาร์บอนชุบสารเกรดอุตสาหกรรมคู่กับอัตราลมที่เพียงพอ แทนที่จะพึ่งเครื่องฟอกใช้ในบ้าน

Q:แผ่นกรอง VOC เปลี่ยนบ่อยแค่ไหน

ไม่มีคำตอบเดียว ขึ้นอยู่กับความเข้มข้น VOC ขาเข้า อัตราลม และปริมาณคาร์บอน สำนักงานทั่วไปครึ่งปีถึงหนึ่งปี โรงพิมพ์อาจ 1~3 เดือน ส่วนโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ตัดสินตามข้อมูลการตรวจวัดออนไลน์ บางแห่งถึงกับเปลี่ยนทุกเดือน วิธีตัดสินที่เชื่อถือได้ที่สุดคือติดเครื่องตรวจจับ TVOC ที่ด้านท้ายลม ความเข้มข้นขึ้นถึงค่าเกณฑ์ที่ตั้งไว้ก็เปลี่ยน

Q:VOC กับ AMC เกี่ยวข้องกันอย่างไร

AMC (Airborne Molecular Contamination สารปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ) เป็นคำรวมที่วงการเซมิคอนดักเตอร์ใช้เรียกสารมลพิษในรูปก๊าซทั้งหมดในอากาศ ตามมาตรฐาน SEMI F21แบ่งเป็นสี่หมวดใหญ่คือ MA (กลุ่มกรด) MB (กลุ่มด่าง) MC (สารอินทรีย์ที่ควบแน่นได้) และ MD (สารโดป) ซึ่ง VOC ตกอยู่ในหมวด MC เป็นหลัก ดังนั้นในบริบทของเซมิคอนดักเตอร์「แผ่นกรอง VOC」ก็คือช่วงแผ่นกรองเคมีในระบบ AMC ที่รับผิดชอบจัดการสารมลพิษหมวด MC นั่นเอง