AMC及PTFE過濾器案例探討

在高科技無塵室中，傳統的玻璃纖維（Glass Fiber）HEPA/ULPA濾網長期暴露於含有AMC的環境下，可能產生纖維劣化甚至釋放硼（Boron）等摻雜物，反而成為潔淨度的隱患。PTFE（聚四氟乙烯）濾材因其優異的化學惰性與低釋氣特性，逐漸成為先進製程無塵室的首選方案。

某國內半導體封測廠在進行製程升級時，發現原有的玻纖ULPA濾網在酸性蝕刻區（Wet Etch Bay）使用僅8個月即出現效率衰減，粒子計數器測得0.1μm粒子數由設計值的每立方英尺1顆上升至5顆以上。經佰聖科技協助分析，確認係因HF及HCl等酸性氣體侵蝕玻纖黏合劑所致。

我們建議客戶將該區域FFU濾網全面更換為PTFE膜濾網。PTFE濾網採用微孔薄膜結構，與傳統深層過濾的玻纖濾網不同，其過濾機制為表面過濾，具備以下優勢：一、化學惰性極佳，耐酸鹼及有機溶劑；二、低壓損設計，相同效率下壓損較玻纖濾網低約20-30%，可降低風機能耗；三、不含黏合劑，不會釋放硼或矽等摻雜物（MD類AMC）。

更換後追蹤數據顯示，該區域粒子數穩定維持在每立方英尺0.5顆以下（ISO Class 3等級），且運行18個月後壓損僅增加12 Pa，遠低於玻纖濾網同期增加35 Pa的水準。以該廠120組FFU計算，年度電費節省約新台幣45萬元。此案例充分說明，在化學環境較嚴苛的製程區域，PTFE濾網雖然初期投資較高，但從使用壽命、能耗與潔淨度穩定性綜合評估，長期總持有成本（TCO）反而更具優勢。