日本無機
Nouvelle TGML 低有機物/低ホウ素HEPAフィルター
製品概要
日本無機Nouvelleシリーズ低有機物/低ホウ素HEPAフィルターは、有機物放出とホウ素含有量の両方を極めて低いレベルまで低減します。AMC管理が厳しく要求される先端プロセスに最適な選択肢です。
特長・仕様
型番：Nouvelle TGML
効率：HEPAグレード（≥99.97% @0.3μm）
特長：低有機物 ＋ 低ホウ素
ろ材：超低放出ガス ガラス繊維
製造元：日本無機株式会社（NIPPON MUKI）
詳細説明
Nouvelle TGML低有機物/低ホウ素HEPAフィルターは、最高水準の化学的清浄度で、AMCに対してゼロトレランスが求められる半導体先端プロセスの清浄環境に貢献します。
