日本無機
BGML 低ホウ素HEPAフィルター
製品概要
日本無機の低ホウ素HEPAフィルターは、低ホウ素ガラス繊維ろ材を採用し、ホウ素(Boron)放出量を効果的に低減します。ホウ素汚染に敏感な半導体プロセス環境に適しています。
特長・仕様
型番:BGML
効率:HEPAグレード(≥99.97% @0.3μm)
特長:Low Boron(低ホウ素)設計
ろ材:低ホウ素超極細ガラス繊維
製造元:日本無機株式会社(NIPPON MUKI)
詳細説明
BGML低ホウ素HEPAフィルターは、ホウ素に敏感なプロセス向けに標準サイズの低ホウ素ろ過ソリューションを提供します。





