日本無機
ATMCU 350°C 耐高温HEPAフィルター
製品概要
日本無機350°C耐高温HEPAフィルター。低発塵設計を採用し、350°Cの高温環境下でもHEPA効率を維持しながら自己発塵量を最小限に抑えます。半導体拡散炉、オーブン、CVDプロセスで広く使用されています。
特長・仕様
型番:ATMCU
耐温:350°C(連続使用)
効率:HEPA等級(≥99.97% @0.3μm)
濾材:低発塵耐高温グラスファイバー
枠体:ステンレス鋼
製造元:日本無機株式会社(NIPPON MUKI)
詳細説明
ATMCUシリーズは日本無機の定番350°C耐高温HEPAフィルターです。
新世代の低発塵技術により、高温状態でも発塵量を一桁以下にまで低減でき、長時間にわたりHEPA等級の濾過効率を維持します。
