クリーンルーム等級規格 ISO 14644 完全解説

ISO 14644-1は、世界で最も広く採用されているクリーンルーム分類規格であり、1999年の初版発行以来、米国連邦規格FED-STD-209E（2001年に廃止）を完全に置き換えました。現行版は2015年に改定されたISO 14644-1:2015であり、クリーンルームを空気中の浮遊粒子濃度に基づいてISO Class 1からISO Class 9までの9つの等級に分類しています。数字が小さいほど、より清浄であることを意味します。

各等級の粒子濃度上限は、Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08の公式で計算されます。ここでNは等級数、Dは粒径（μm）です。最も一般的なISO Class 5を例にとると、0.5μmの粒径において最大許容濃度は3,520個/m³であり、これは旧米国規格のClass 100（1立方フィートあたり100個@0.5μm）に相当します。ISO Class 7は旧規格のClass 10,000に、ISO Class 8はClass 100,000に相当します。

等級の検証はISO 14644-3に基づいて実施されます。主な試験項目には、粒子濃度試験（光学パーティクルカウンターOPCを使用）、気流速度および換気回数試験、差圧試験、気流可視化試験などが含まれます。試験は「竣工時」（As-built）、「静止時」（At-rest）、「稼働時」（Operational）の3つの状態のいずれかを指定して実施する必要があります。半導体産業では通常、稼働時条件での適合が要求されており、難度は静止時試験よりはるかに高くなります。

異なる等級は、それぞれ異なる空気フィルタリング構成を必要とします。ISO Class 1〜3ではULPAフィルターと層流（一方向気流）設計が必要で、天井カバー率は80〜100%が求められます。ISO Class 4〜5ではHEPA H14フィルターと層流設計を使用し、カバー率は約40〜80%です。ISO Class 6〜7ではHEPA H13フィルターを採用でき、気流方式は乱流（非一方向気流）も可能で、カバー率は約15〜40%です。ISO Class 8〜9では高効率中効フィルターで要件を満たすことができます。

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